【課題】エッチング残渣が少なく信頼性が良好であり、かつリーク電流を抑制することができる強誘電体素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板１０の上に順に、振動板１１、下部電極２０、強誘電体層３０、上部電極４０を形成し、強誘電体層３０の側面の傾斜角はθ２＝３０°、上部電極４０の側面の傾斜角はθ１＝３０°としている。これにより、エッチングガスやプラズマ粒子の衝突角度が平面に近づき、傾斜面でのエッチング残渣の除去率が向上する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図るとともに、高品質な気密封止を実現することができる電子デバイス用パッケージおよび電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のパッケージ３は、ベース部材６１と、ベース部材６１との間に電子部品が収納される内部空間を形成しつつ、ベース部材６１に接合された蓋部材６３とを有し、ベース部材６１と蓋部材６３との接合部９０は、ｘ軸方向に沿ってシーム溶接によりベース部材６１と蓋部材６３とを接合した溶接部９１と、ｙ軸方向に沿ってシーム溶接によりベース部材６１と蓋部材６３とを接合した溶接部９３とを有し、平面視で、溶接部９１および溶接部９３は、互いに重ならず、かつ、溶接部９１をｘ軸方向に延長した領域Ａ１と、溶接部９３をｙ軸方向に延長した領域Ａ２とが重なる領域Ａ３は、蓋部材６３の輪郭に対して外側に位置している。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の一端側より所定距離だけ離れた他端側に接続される連結部７３と、前記連結部に接続され、圧電振動片の幅方向に延長される接続部７４と、前記接続部に接続され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、振動腕３５、３６が接続されている基部５１の一端から、圧電振動片の振動腕３５、３６の反対側の一端までの長さ寸法ｈと、前記連結部を介して前記支持用アームが前記基部に接続されている接続部の幅寸法Ｌ３との比率であるＬ３／ｈが、４０％以下とされている、圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】端子配置に関するユーザの要望に好適に応じることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】発振器１は、圧電体１５と、圧電体１５を利用した信号処理を行う半導体部品１７と、圧電体１５及び半導体部品１７を保持する基体３と、基体３に配置され、半導体部品１７に接続された複数の端子５とを有する。複数の端子５は、３つの選択端子５（５Ａ、５Ｂ及び５Ｅ）を含む。半導体部品１７は、端子制御信号Ｓｃ０に基づいて、所定の入出力信号（第２発振信号Ｏｕｔ２若しくは温度信号Ｔ、駆動制御信号Ｅ／Ｄ、又は、周波数調整信号Ｖｃｏｎ）を出力又は受け付ける端子を３つの選択端子５から選択する設定部３７を有する。 （もっと読む）

【課題】厚みおよび幅の寸法の調整に因らずに共振周波数を低くすることが可能な振動子と、その振動子を用いて角速度を高い感度で検出することができる振動ジャイロとを実現する。
【解決手段】振動ジャイロ１１は、振動子１を備えている。振動子１は、複合梁部２Ａ〜２Ｄを備えている。複合梁部２Ａ〜２Ｄは、互いに並行する外周側梁部３Ａ〜３Ｄと、内周側梁部４Ａ〜４Ｄとを両端の剛接部６Ａ〜６Ｄで剛接した構成である。各複合梁部２Ａ〜２Ｄの外周側梁部３Ａ〜３Ｄと内周側梁部４Ａ〜４Ｄとは、互いに反対称に撓んで、両端間隔が変化するように振動する振動モードを有している。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】容器１内に片持ちで支持された水晶板２の中央部にて両面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の先端部の両面側に、励振電極４１に電気的に接続される可動電極５１、５２を夫々設ける。容器１側に可動電極５１、５２に夫々対向する固定電極６１、６２を設ける。上面側の励振電極３１を発振回路１４の一端側に接続し、固定電極６１、６２をスイッチ部８により発振回路１４の他端側に切り替え接続できるようにする。水晶板２が外力により撓むと、固定電極６１、６２のいずれに切り替えたときにも発振周波数が変化する。固定電極６１側に切り替えたときの発振周波数の変化分と、固定電極６２側に切り替えたときの発振周波数の変化分との差分を求めて外力を評価する。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶板の発振周波数の変化として捉える。また水晶板２の先端部の破損を抑えるために、水晶板２が過度に撓んだ際に水晶板２の先端部が容器１の内壁に衝突する前に水晶板２の胴体部にて接触するように突起部７を設ける。 （もっと読む）

【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電アクチュエータに比べて、より大きな駆動力が得られ、製造が容易で、かつ、信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】電歪アクチュエータ２０において、複数の電歪素子１０の各々を、電歪材料層１を基材５より凸側にして湾曲した少なくとも２つの活性領域Ａと、隣接する２つの活性領域Ａ間に位置する不活性領域Ｂとに区画し、第１の電極３ａを、第１の面１ａ内で活性領域Ａおよび不活性領域Ｂを被覆するように設け、第２の電極３ｂを、第２の面１ｂ内で活性領域Ａを被覆し、かつ、不活性領域Ｂを部分的に通って電気的導通を確保するように設け、複数の電歪素子１０の全てを、不活性領域Ｂのうち第２の電極３ｂが設けられていない部分において接合９する。 （もっと読む）