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国際特許分類[H01L47/00]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | バルク負性抵抗効果装置,例.ガン効果装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (14)

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【課題】 発振のS/N比を向上させ、安定した波形の低周波発振を可能とする半導体素子を提供する。
【解決手段】 低周波発振半導体素子10は、半導体基板1と、半導体基板1の裏面に接して配置された裏面電極4と、半導体基板1の表面に接し、平面的に見て裏面電極4と重なるように形成されたパッド電極2とを備えている。パッド電極2の垂直真下の領域Aに存在する半導体基板1の表面のエッチピット密度が0または3×104/cm2以上6×104/cm2以下である。 (もっと読む)


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