【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の電源がある場合にベース放電および最大注入電力を短時間で調整する。
【解決手段】複数の放電管（２１、２２）と対応する複数の電極（２３、２４）とを有するガスレーザ発振器における複数のレーザ電源（１１、１２）の指令装置（１０）は、複数のレーザ電源の指令を作成する指令作成部（５）と、作成された指令をバイアス指令、出力指令、オフセット指令およびゲイン指令とに分離する分離部（３６）とを具備し、バイアス指令および出力指令は複数のレーザ電源に対して共通であり、オフセット指令およびゲイン指令は複数のレーザ電源のそれぞれの放電管に少なくとも応じて定まり、さらに、複数のレーザ電源に対して共通のバイアス指令および出力指令を複数のレーザ電源に送信すると共に、複数のレーザ電源の放電管に少なくとも応じて定まるオフセット指令およびゲイン指令を複数のレーザ電源に対応してシリアルで送信する送信部（３７）とを含む。 （もっと読む）

【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも１つのＣＯ_２レーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、ＣＯ_２レーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも１つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でレーザ管からのＨｅガスの透過・散逸を防止する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器を有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、発振器（リングレーザ発振器）１０をＨｅガス非透過性の気密筐体６１に収納し、気密筐体６１内部の発振器１０を取り囲む空間にレーザ管（ブロック１１内の通路１２）に封入されたＨｅ−ＮｅガスのＨｅ分圧と等しい分圧を有するＨｅガスを成分に持つ混合気体を充填する。Ｈｅガスの透過自体が発生しない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、循環ポンプを使用せず、厚板切断に優れ、メンテナンス性にも優れたガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した少なくとも２つの放電管２５，２６と、放電管２５，２６に設けた電極２１〜２４と、電極２１〜２４に放電の電力を供給する高圧電源３１，３２を備え、放電管２５，２６をレーザ光の進行方向に並列に並べ、放電管２５，２６の間にレーザガスを通す流路として平行平板４１を設け、平行平板４１の内部に冷媒を配置するとともに高圧電源３１，３２は放電管２５，２６の電極２１〜２４を交互に放電する。 （もっと読む）

【課題】高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】このドライバレーザシステムは、ＭＯＰＡ（master oscillator power amplifier）方式に従って構成されたレーザシステム３であって、単一のレーザ発振器３０１においてレーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数の放電励起式ガスレーザ増幅系３０４（１）及び３０４（２）並びに３０５（１）及び３０５（２）において該レーザ光を増幅するレーザシステム３と、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステム３の動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置４とを含む。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。
【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。 （もっと読む）