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国際特許分類[H01S5/18]の内容

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【課題】上下方向へのビームの射出割合を制御する、上下非対称な大きさを持つ構造体を製造する際に、このような構造体を精度良く容易に製造することが可能となるフォトニック結晶面発光レーザの製造方法を提供する。
【解決手段】窒化物半導体基板101として、窒化物半導体基板のC軸が窒化物半導体基板の法線と窒化物半導体基板の主面112との双方から傾いた構造を有する窒化物半導体基板を用い、窒化物半導体基板の上に、活性層103を含む窒化物半導体層を成長させる成長工程と、窒化物半導体層104に、2次元フォトニック結晶を形成するための細孔106をエッチングにより形成するエッチング工程と、細孔が形成された窒化物半導体層を、窒素を含む原料雰囲気下で窒化物半導体層を構成する原子を輸送させる熱処理を行い、熱処理によって細孔の深さ方向の形状を上下非対称に変化させる熱処理工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 高効率なレーザビームを出力可能な半導体レーザ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 この半導体レーザ素子は、半導体からなる下部クラッド層Bと、半導体からなる上部クラッド層Cと、下部クラッド層Bと上部クラッド層Aとにより挟まれ、積層された複数の半導体層からなり、下部クラッド層B及び上部クラッド層Cのいずれよりも平均屈折率が高いコア層Aとを備えている。コア層Aは、量子井戸層からなる活性層3Bと、フォトニック結晶層4とを含み、動作時におけるコア層A内の厚み方向の電界強度分布が、2つのピークを有しており、ピーク間の谷の位置は、活性層3Bとフォトニック結晶層4との間の領域内に設定されている。 (もっと読む)


【課題】光導波路を高速光伝送に適した長さにすることが可能で、かつモノリシックに集積することができる半導体光素子及びそれを用いた光送受信装置を提供すること。
【解決手段】半導体基板1上に形成した少なくとも2種類の屈折率の異なる半導体層からなる反射器7と、反射器7の上に形成した下部クラッド層3と上部クラッド層4に挟持された光導波路2と、光導波路2の少なくとも一方の端面に基板1面に対して45°の角度をもって配置された反射鏡5と、反射鏡5に対向した位置の基板1の裏面に形成した反射防止膜6とを備える。 (もっと読む)


【課題】2次元フォトニック結晶と、これと同一周期の網目構造を有する放熱層との位置合わせをすることなく同時に形成することができ、放熱特性が良く、光学特性を損なうことを抑制することが可能となるフォトニック結晶面発光レーザ等を提供する。
【解決手段】フォトニック結晶面発光レーザであって、基板101上の活性層104で発光した光を面内で共振させる、第1の半導体106a及び第1の半導体よりも低屈折率の低屈折率媒質106bとが2次元的に配置された2次元フォトニック結晶層106と、2次元フォトニック結晶層上の第2の半導体を有する層107と、第2の半導体を有する層上の放熱層108と、を有し、放熱層は、第2の半導体よりも熱伝導率の高い材料からなる放熱部108aと、第3の半導体108bとで構成され、放熱部は第1の半導体の上部に形成される。 (もっと読む)


【課題】低コストで、小型化可能であって、精度の高い光量モニタをすることのできる面発光レーザユニットを提供する。
【解決手段】複数の面発光レーザが形成されている面発光レーザ素子10と、前記面発光レーザより出射されたレーザ光の一部を受光する受光素子20と、前記面発光レーザ素子及び前記受光素子を覆うパッケージ部30及びキャップ部40と、前記受光素子により得られた出力に基づき前記面発光レーザ素子を制御する制御部と、を有し、前記キャップ部には、前記面発光レーザより出射されたレーザ光を透過する透明部材41が設けられており、前記面発光レーザより出射されたレーザ光の一部は、前記透明部材において反射され前記受光素子に入射するものであって、前記面発光レーザ素子には、前記複数の面発光レーザの一部を含む面発光レーザの群が複数設けられている。 (もっと読む)


【課題】本願発明は、ディスク状の光共振器を備えた発光素子において、発光のメカニズムを解明することによって、新たな構造を提案してレーザ発振の可能な発光素子を実現することを目的とする。
【解決手段】本願発明は、基板上に積層されたディスク状の光共振器を備える発光素子であって、前記光共振器は光を伝搬させる半導体からなるコアと前記コアに対して積層方向の前記基板側又はその反対側のうち少なくとも前記基板側に積層されたクラッドとを有し、前記コアは少なくともディスク外周側が空間又は前記クラッドよりも屈折率の低い透明体で覆われており、前記クラッドはディスク外周側の一部が空間又は前記クラッドよりも屈折率の低い透明体で覆われていることを特徴とする発光素子である。 (もっと読む)


【課題】傾斜ビームの出射角が30°以上になるように設計しても、設計通りに出射方向を傾けることができると共に、低閾値で安定してレーザ発振することのできるフォトニック結晶面発光レーザを提供する。
【解決手段】活性層15と、板状のスラブ142に該スラブ142と屈折率の異なる異屈折率領域141が、両対角線が互いに平行であって、一方の対角線についてのみ長さが異なる第1の菱形状格子と第2の菱形状格子の各格子点上に形成されたフォトニック結晶層14と、を有し、前記第1の菱形状格子の前記一方の対角線の長さ及び他方の対角線の長さをそれぞれax1, ay、前記第2の菱形状格子の前記一方の対角線の長さ及び他方の対角線の長さをそれぞれax2(ax2≠ax1), ay、前記フォトニック結晶層に垂直な方向における該フォトニック結晶層の等価屈折率をnとしたとき、ax1, ax2, ay, nが以下の不等式
を満たすことを特徴とする (もっと読む)


【課題】薄膜が機械的に損傷することを回避できる、シリコン薄膜に等電子中心を導入するための方法を提供する。
【解決手段】SOI基板上のシリコン薄膜に等電子中心を導入する方法であって、室温において、不純物原子イオンを高電圧で加速させシリコン薄膜に照射し、ラピッドサーマルアニール法によって窒素雰囲気中において不純物原子イオンを照射したシリコン薄膜をアニールし、ラピッドサーマルアニール法によって窒素雰囲気中においてシリコン薄膜を急冷することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】APCのために必要な受光素子の構成が簡単であり、低価格で安定したAPC制御を実現することができる光源装置を提供する。
【解決手段】複数の光源からなる面発光レーザ1と、面発光レーザ1からの光を反射する光学素子としてのガラス2と、光学素子2からの反射光を受光する受光素子3と、が一体に構成された光源装置6において、光学素子2が面発光レーザ1からの光の放射方向5に対して傾けて配置され、受光素子3の光の傾け方向の最大寸法をC、その直交方向の最大寸法をDとしたとき、C>Dとする。 (もっと読む)


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