【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】磨耗等の影響が少なく、効率よく移動子を移動あるいは駆動でき、配線の耐久性が向上し、断線することが防止され長期間にわたり安定した駆動を行うことができる慣性駆動アクチュエータを提供すること。
【解決手段】変位手段と、振動基板と、移動子と、移動子に対向した向きに磁気吸引力又は反発力が働くように磁界を発生する第１の磁界発生手段と、移動子の振動基板に対向した面に第１の磁界発生手段が発生する磁束が集中するように、移動子は第１の磁界発生手段が発生する磁束を誘導する第１のヨークを有し、振動基板の移動子に対向した向きと反対側に第２のヨークと、を有し、第２のヨークは、第１の磁界発生手段が発生する磁束が、固定子側の面にＮ極、Ｓ極が集中するように、第１の磁界発生手段から発生する磁界を制御することによって、移動子と振動基板の間に働く摩擦力を制御し、移動子を駆動する。 （もっと読む）

【課題】磨耗等の影響が少なく、効率よく移動体を移動あるいは駆動でき、配線の耐久性が向上し、断線することが防止され長期間にわたり安定した駆動を行うことができる慣性駆動アクチュエータを提供すること。
【解決手段】変位手段と、振動基板と、磁界を発生する第１の磁界発生手段と、振動基板の平面上に配置され、第１の磁界発生手段が発生するＮ極とＳ極の磁束を所定の位置に集中させる第１のヨークを有する移動子と、振動基板の移動子に対向した向きと反対側に第２のヨークと、を有し、振動基板よりも外側で第１のヨークと、第２のヨークの端部が対向することで、移動子の駆動方向に垂直な方向の動きを機械的に規制し、
第１の磁界発生手段から発生する磁界を制御することによって、移動子と振動基板の間に働く摩擦力を制御し、移動子を駆動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の応力の制御による結晶配向性の制御が困難になるのを回避するとともに圧電薄膜の結晶の配向比率を任意の比率に設定することができる圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子は、基板１に対して圧電薄膜４とは反対側に成膜される応力制御膜６を備えており、応力制御膜６による基板１の曲げ変形の度合いを調整することで、圧電薄膜４の応力を任意の応力に制御することができる。 （もっと読む）

【課題】移動子と固定子との接触面積が摩耗の進行に伴って増大することを抑制し、駆動力の変動を小さくすることを実現した超音波モータを提供することを目的とする。
【解決手段】超音波モータ１のロータ２がステータ３の一対の支持部１１、１２に加圧接触されている。支持部１１、１２の上部には、ロータ２の外周面２ｂの形状に沿って接触面２１、２２がそれぞれ形成されている。接触面２１に段差部２３、２５が形成されるとともに、接触面２２に段差部２４、２５が形成されることにより、ロータ２とステータ３との接触距離が規制される。 （もっと読む）

【課題】ピエゾインジェクタの駆動装置において、選択スイッチが設けられるピエゾインジェクタのグランド側で発生するグランドショートをより確実に検出できるようにする。
【解決手段】噴射指令（ＴＱ信号）が入力されると、気筒選択制御部２６が、選択スイッチＳＷｓの一つをオンし、駆動制御部２４が充電スイッチＳＷｃをオン・オフさせることで、駆動対象となるピエゾインジェクタＩＮＪに所定量の電荷を充電し（充電フェーズ）、ＴＱ信号の入力が停止すると、放電制御部２８が放電スイッチＳＷｄをオン・オフさせることでピエゾインジェクタＩＮＪに蓄積された電荷を放電させ（放電フェーズ）、その後、放電スイッチＳＷｄをオン状態に保持する（強制放電フェーズ）、駆動装置において、強制放電フェーズで、放電スイッチＳＷｄを介して流れる電流（又は電荷量）が閾値を越えると、グランドショートの発生を検出するグランドショート判定部３４を設ける。 （もっと読む）

【課題】異音の発生が抑えられた状態で保持トルクを維持しつつ駆動停止可能な振動波モータ装置を提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ装置３０，４０は、第１電気機械エネルギー変換素子３１２Ｌにより振動される第１弾性体３１１Ｌ、第２電気機械エネルギー変換素子３１２Ｕにより振動される第２弾性体３１１Ｕ、及び、第１弾性体及び第２弾性体に加圧接触され、それらの少なくとも一方の振動により第１の方向ＣＷ又は第１の方向と逆の第２の方向ＣＣＷのいずれかに駆動される相対運動部材３２、を有する振動波モータ３０と、第１駆動信号Ｃ１，Ｃ２、第２駆動信号Ａ１，Ａ２、及び、第２駆動信号Ｂ１，Ｂ２を発生させる信号発生部４２と、それらの駆動信号のいずれを第１電気機械エネルギー変換素子及び第２電気機械エネルギー変換素子に与えるかを切り替え可能な切替部４３と、切替部を制御する制御部４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１つのドライブ回路で圧電型と電磁型のどちらでも対応することのできるアクチュエータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電磁型アクチュエータを駆動させるための電磁型制御信号を出力する前置回路３０と、この前置回路３０から出力される電磁型制御信号によって前記電磁型アクチュエータを駆動させるドライブ回路２０とを備えたアクチュエータ駆動システムであって、前置回路３０は、圧電型アクチュエータを駆動させるための圧電型制御信号に基づいてドライブ回路２０を動作させて、ドライブ回路２０から圧電型アクチュエータを駆動させる圧電型駆動電圧を出力させる。 （もっと読む）

【課題】電歪材料からなるフィルムを積層した後に巻き回して円筒状の筒体に形成し、巻き回して形成された筒体の表面に複数の山部、谷部を有しているアクチュエータ素子を提供する。
【解決手段】電歪材料からなり、片面又は両面に内部電極を形成した複数のフィルム１１を積層して、巻き回して円筒状の筒体に形成されたアクチュエータ素子１０である。筒体の表面に複数の山部１５及び谷部１６が交互に形成され、山部１５に拘束層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】安定性を向上させた圧電駆動式のアクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、ベース部２と、ベース部２に支持されたアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３を傾動させる圧電素子４と、アクチュエータ本体３のうちベース部２に支持された端部に対向して設けられた対向電極５とを備えている。アクチュエータ１の製造方法においては、ＳＯＩ基板２００の第１シリコン層２１０のうちアクチュエータ本体３となる部分と第２シリコン層２３０のうち対向電極５となる部分との間の酸化膜層２２０を犠牲層エッチングにより部分的に予め除去し、その際に、対向電極５となる部分２３１のうち後の工程で除去される部分２３２と隣接する端部５１に設けられた酸化膜層２２０を除去せずに残しておく。 （もっと読む）