【課題】 振動子の中心周波数のばらつきを低減する微小共振器を提供するものである。
【解決手段】 ビーム長によって共振周波数ｆ１，ｆ２が異なる複数のビーム型の振動子素子２５，２６を有し、 内側から外側に向ってビーム長が大きくなる順に前記複数の振動子素子２５，２６が配置されて成る。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動型の振動子群からなる微小振動子において、振動子群の境界からの弾性波の反射に起因する不要出力を抑制する。
【解決手段】 基板３２上に複数の振動子素子３３を配列してなる振動子群３４１、３４２が配置され、各振動子素子３３は、両端が基板３２に支持され静電力で基板３２と対向する方向に振動する梁４７を有してなり、振動子群３４１、３４２の境界線３５１、３５２が非方形な形状を成す。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、振動子群の基板内からの弾性波に起因する不要出力を抑制し、またウエハーの利用効率を向上できるようにした微小振動子、この微小振動子を備えた半導体装置、及びこの微小振動子を信号フィルターとして備えた通信装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の微小振動子は、基板上に複数の振動子素子を格子状に規則的に配列してなる振動子群が配置され、各振動子素子が、アンカーにより前記基板に支持され、静電気力で前記基板と対向する方向に駆動される梁を有し、前記各振動子素子の隣接する４つの梁はアンカーを共用していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 隣り合う微小共振素子間における振動により生じる相互作用による基板への影響をなくし、信頼性の高い微小共振器及び通信装置を提供する。
【解決手段】 微小共振素子が、同一基板上に微小機械振動を用いた複数の微小共振素子を有し、第１の位相で振動する微小共振素子と、この第１の位相と逆位相である第２の位相で振動する微小共振素子とが対をなすように配置されるように構成される。 （もっと読む）

縦モード共振器は、基板と、基板に対してつり下げられたバーを備える。バーは、バーの厚みを横切る電界の印加に応答して、長手方向に自由に膨張及び収縮するようにつり下げられる。バーの膨張と収縮により、バーの基本周波数にほぼ等しい周波数を有する電界に応答して共振が生じる。 （もっと読む）

【課題】 設計に柔軟性があり、質量負荷の影響を無視することのできるＭＥＭＳフィルタの連結体を提供する。
【解決手段】 本発明は、カーボンナノチューブ（Carbon Nanotube;ＣＮＴ）など、マイクロサイズＭＥＭＳ共振器に比べて質量が非常に小さい、ナノサイズの連結体を連結部に使用することにより、質量負荷の影響がＭＥＭＳフィルタの特性に反映されない構造を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高周波素子を構成する静電駆動型の振動子に印加する直流バイアス電圧の安定化を図る。
【解決手段】 直流バイアス電圧を印加して動作される静電駆動型の振動子を含む高周波信号素子を有し、直流バイアス電圧を供給するパッド２２と振動子２１との間に、直流バイアス電圧を安定化される機能を有する回路１０が付加されて成る。 （もっと読む）

従来技術の不利な点を取り除き、特性（１）高い長期安定性、（２）低位相雑音、（３）高耐熱性、（４）その基準発振器の周波数についての正確な値、を改善したＭＥＭＳ基準発振器を提供することが、本発明の目的である。
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【課題】ＭＥＭＳ共振器を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ共振器は、内側半径および外側半径によって定義される環状共振器体、内側半径内に配置され、共振器体から間隔を置かれた第１電極、および環状共振器体の周りに配置され、外側半径から間隔を置かれた第２電極を含む。第１電極および前記第２電極は、共振器体の駆動および検出を提供する。ピエゾ抵抗検出およびピエゾ電気駆動／検出技術も利用されえる。全体の面積は１ｃｍ²よりも小さく、複数のアンカーによって支持基板上に配置される。基板は、駆動電極および検出電極を集積回路に接続するアンカーを持つＲＦトランシーバ集積回路を備えうる。共振器は、従来の半導体集積回路製造技術を用いて容易に製造される。 （もっと読む）