例示的な音響変換器を提供する。モノリシック半導体層は、プレート、２以上の可撓性伸長部、及び支持構造の少なくとも一部を規定する。プレートに伝達される音圧により、可撓性伸長部に引っ張り歪みが発生する。可撓性伸長部は、引っ張り歪みに応じて変化する電気特性を示す。音圧に対応する電気信号は、変化する電気特性から導出することができ、さらなる目的のために処理される。 （もっと読む）

【課題】半導体センサチップを囲む電磁シールドを簡便に形成することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】上面３ａに半導体センサチップ５を固定する基板３と、基板３の上方を覆って中空空間Ｓ２を形成する導電性の上部蓋体９と、半導体センサチップ５の下方に配される導電性の下部シールド部１１とを備え、上部蓋体９が前記上面３ａに対向して配される天板部９ａと、天板部９ａの周縁略全体から前記基板３の厚さ方向に延出すると共に基板３の側面３ｃに隣り合って配される側壁部９ｃとを備え、該側壁部９ｃと前記下部シールド部１１とが基板３の側面３ｃにおいて接触し、下部シールド部１１が基板３の外側に突出するシールド用接続端子に接続されていることを特徴とする半導体装置１を提供する。 （もっと読む）