【課題】高い解像度を有し、かつ生産性が高い有機ＥＬ発光装置等の装置を製造するための成膜装置を提供する。
【解決手段】マスク部材１１と、マスク部材１１を固定するフレーム１２と、からなるマスクユニット１０と、マスクユニット（１０）１基に対して１組設けられるアライメント機構と、を備え、マスク部材１１が、複数組の開孔パターン１３ａが並列して設けられてなる開孔部１３を有し、前記アライメント機構により、複数の成膜領域がマトリクス状に設けられている一枚の基板１に対して複数のマスクユニットが互いに干渉されることなく配置され、成膜時においてマスクユニット１０を交換し又は移動することなく、一括して薄膜を成膜することを特徴とする、成膜装置。 （もっと読む）

【課題】光出射側にレンズを配置して損出光を向上させた表示装置において、隔壁に起因する凹レンズ効果を低減させて、上記レンズによる集光効果を高める。
【解決手段】光出射側の第２電極５と、レンズ８との間に、平坦化層７を配置して、隔壁３によって第２電極５の表面に形成された凹形状による凹レンズ効果を低減する。 （もっと読む）

【課題】有機材料からなる有機層に対してレーザーダメージを与えないで電極間短絡部分を解消する有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス素子１の製造方法は、陽極１１、発光層１３を含む有機層３０、透明材料からなる陰極１６の順に積層され、短絡欠陥部を有する有機ＥＬ素子１Ａを準備する準備ステップと、強度分布を有するレーザー光のうち、陰極１６を透過して有機層３０を変性させ、かつ陰極１６を変性させない強度成分を特定する特定ステップと、特定された当該強度成分が除去されたレーザー光を、短絡欠陥部の陰極１６の領域及び当該領域の周囲のうち少なくとも一方に照射して、短絡欠陥部に起因する不良を解消する照射ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単なプロセスで製造でき、濃淡に富んだ画像を表示することが可能な分散型ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】
分散型ＥＬ素子の製造工程において、連続的に厚みが変化する凸凹が表面に加工された型押し具Ｍを、誘電体層３に押し当てることにより、前記凸凹を反転させた形状の凹凸を誘電体層３に転写する。 （もっと読む）

【課題】接着剤の付着の影響をほとんど受けず、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置を提供する。
【解決手段】第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、前記第２基板に接触する接触面を含む膨張性シートと、該膨張性シートを膨張させ、前記第２基板を前記第１基板に押しつける加圧機構と、前記接触面を前記第２基板に対して変位させ、前記第２基板に対する前記膨張性シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。 （もっと読む）

【課題】焼成によるコンタクトホールにおけるコンタクト抵抗値の増加を抑制して、良好な品質を備えた有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属から成る配線部を含むＴＦＴ層が上面に形成された基板を準備する第１の工程と、前記ＴＦＴ層の上に絶縁膜用材料の層を積層する第２の工程と、前記配線部の一部が露出するように、前記絶縁膜用材料の層にコンタクトホールを形成する第３の工程と、前記絶縁膜用材料の層を、酸素を含む雰囲気で加熱焼成して絶縁膜層を形成する第４の工程と、前記第４の工程において前記配線部の表面の金属が酸化して形成された金属酸化物をエッチャントに溶解させて除去する第５の工程と、前記コンタクトホールにおいて前記配線部の一部に電気的に接続するように画素電極を形成し、前記画素電極の上方に有機発光層を形成し、前記有機発光層の上方に対向電極を形成する第６の工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の蒸着材料を被蒸着体に共蒸着するインライン型蒸着装置において、膜厚の蒸着膜を均一に製膜し、信頼性の高い被蒸着体を生産する。
【解決手段】蒸着装置１は、蒸着材料２０，３０を夫々蒸発させる蒸発源２，３と、蒸発源２，３から被蒸着体４へ向かう蒸着材料２０，３０の流路を囲うように配置されるホットウォール５と、を備える。蒸発源２，３は、蒸着材料２０，３０を被蒸着体４側へ放出する放出口２２，３１を有し、蒸発温度が高い蒸着材料３０を蒸発させる蒸発源３の放出口３２がホットウォール５の上端縁よりも上方に設けられている。この構成によれば、蒸発した蒸着材料３０がホットウォール５に付着することなく被蒸着体４に蒸着される。従って、蒸着材料３０がホットウォール５によって再蒸発しながら被蒸着体４に付着することがなく、膜厚の蒸着膜を均一に製膜でき、信頼性の高い被蒸着体４を生産することができる。 （もっと読む）

【課題】電子注入層の形成に際し、ウェットプロセスを用いることで製造に際しての煩雑さを回避しながら、輝度ムラの発生が抑制された有機ＥＬデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイス１の製造では、基板１０上に、アノード１１、ホール注入層１２、ホール輸送層１３、有機発光層１４、電子注入層１５、およびカソード１６を、順に積層する。ここで、電子注入層１５の形成は、ＴｉＯ_ＸゾルまたはＴｉＯ_Ｘゲルと、炭酸セシウムとの混合溶液を、有機発光層１４上に塗布し、大気雰囲気下でベークした後、さらに、窒素雰囲気下でベークすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、坩堝の冷却時において、リフレクターなどの追加部材なしに、坩堝の蒸着出口部や坩堝内壁に材料が付着することを防止できる、或いは、坩堝の冷却時において、坩堝の蒸着出口部や坩堝内壁に材料が付着する事を防ぎ、冷却時間を短縮できる蒸着装置又は蒸着装置の運転方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、蒸着源内の坩堝に存在する蒸着材料を加熱して蒸発し基板に蒸着し、真空蒸着チャンバ内を開く際には前記坩堝冷却する蒸着装置又は蒸着装置の運転方法において、前記冷却は、単位時間当たりに、前記蒸着物出口から出る前記蒸着材料の量が予め定めた量になるように蒸発レート制御する。 （もっと読む）

【課題】溶液塗布法による正孔注入輸送層の形成が可能で、デバイスの寿命の向上が可能な正孔注入輸送層用材料及びその製造方法、溶液塗布法により正孔注入輸送層を形成可能で、且つ、デバイスの寿命の向上が可能な正孔注入輸送層形成用インク及びその製造方法、高寿命なデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】モリブデン錯体と下記化学式（１）で表される化合物との反応生成物である、正孔注入輸送層用材料である。


（化学式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｘ^１及びＸ^２は、酸素原子、硫黄原子、または直接結合を表す。） （もっと読む）