【課題】複数の蒸着材料を被蒸着体に共蒸着するインライン型蒸着装置において、膜厚の蒸着膜を均一に製膜し、信頼性の高い被蒸着体を生産する。
【解決手段】蒸着装置１は、蒸着材料２０，３０を夫々蒸発させる蒸発源２，３と、蒸発源２，３から被蒸着体４へ向かう蒸着材料２０，３０の流路を囲うように配置されるホットウォール５と、を備える。蒸発源２，３は、蒸着材料２０，３０を被蒸着体４側へ放出する放出口２２，３１を有し、蒸発温度が高い蒸着材料３０を蒸発させる蒸発源３の放出口３２がホットウォール５の上端縁よりも上方に設けられている。この構成によれば、蒸発した蒸着材料３０がホットウォール５に付着することなく被蒸着体４に蒸着される。従って、蒸着材料３０がホットウォール５によって再蒸発しながら被蒸着体４に付着することがなく、膜厚の蒸着膜を均一に製膜でき、信頼性の高い被蒸着体４を生産することができる。 （もっと読む）

【課題】電子注入層の形成に際し、ウェットプロセスを用いることで製造に際しての煩雑さを回避しながら、輝度ムラの発生が抑制された有機ＥＬデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイス１の製造では、基板１０上に、アノード１１、ホール注入層１２、ホール輸送層１３、有機発光層１４、電子注入層１５、およびカソード１６を、順に積層する。ここで、電子注入層１５の形成は、ＴｉＯ_ＸゾルまたはＴｉＯ_Ｘゲルと、炭酸セシウムとの混合溶液を、有機発光層１４上に塗布し、大気雰囲気下でベークした後、さらに、窒素雰囲気下でベークすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】溶液塗布法による正孔注入輸送層の形成が可能で、デバイスの寿命の向上が可能な正孔注入輸送層用材料及びその製造方法、溶液塗布法により正孔注入輸送層を形成可能で、且つ、デバイスの寿命の向上が可能な正孔注入輸送層形成用インク及びその製造方法、高寿命なデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】モリブデン錯体と下記化学式（１）で表される化合物との反応生成物である、正孔注入輸送層用材料である。


（化学式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｘ^１及びＸ^２は、酸素原子、硫黄原子、または直接結合を表す。） （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、坩堝の冷却時において、リフレクターなどの追加部材なしに、坩堝の蒸着出口部や坩堝内壁に材料が付着することを防止できる、或いは、坩堝の冷却時において、坩堝の蒸着出口部や坩堝内壁に材料が付着する事を防ぎ、冷却時間を短縮できる蒸着装置又は蒸着装置の運転方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、蒸着源内の坩堝に存在する蒸着材料を加熱して蒸発し基板に蒸着し、真空蒸着チャンバ内を開く際には前記坩堝冷却する蒸着装置又は蒸着装置の運転方法において、前記冷却は、単位時間当たりに、前記蒸着物出口から出る前記蒸着材料の量が予め定めた量になるように蒸発レート制御する。 （もっと読む）

【課題】通常発光時における最大輝度よりも高輝度で有機ＥＬ素子を発光させることが可能な表示装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１３と駆動トランジスタ１１８からなる直列回路、容量素子１２３、グラウンド線ｇｎｄおよび電源線１２０を備え、グラウンド線ｇｎｄが直列回路における駆動トランジスタ１１８のソース電極側の端部に電気的に、電源線１２０がドレイン電極側の端部にそれぞれ電気的に接続された表示装置の製造方法において、グラウンド線ｇｎｄの電位を、ゲート電極とソース電極間の電圧が通常発光時よりも高くなるような電位にすることにより、容量素子１２３を通常発光時よりも高い電圧で充電する充電工程と、充電工程において充電された容量素子１２３の充電電圧に基づき、有機ＥＬ素子１３を通常発光時における最高輝度よりも高輝度で発光させる高輝度発光工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って均一な輝度特性を維持することができる表示装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】映像を表示する表示領域を規定する複数の表示画素と、前記複数の表示画素に電流を供給するＴＦＴ層と、を含む表示パネルと、該表示パネルを駆動する駆動部と、を備え、前記表示画素は、前記電流に応じて発光する発光層を含む機能層を含み、前記映像を表示するために前記表示パネルを駆動するときに生ずる熱によって、前記表示領域には、第１領域と該第１領域よりも高温の第２領域とを有する温度分布が生じ、前記第２領域に存する前記表示画素の前記機能層は、前記第１領域に存する前記表示画素の前記機能層よりも厚いことを特徴とする表示装置。 （もっと読む）

【課題】基板に有機物薄膜を蒸着する全体の工程時間を最小化できる平板パネル製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも二つの基板１０が処理される複数の工程チャンバー１１０；第１の方向Ｌ１に沿って複数の工程チャンバーの間に配置され、第１の方向に直交する第２の方向Ｌ２に沿って直線状に往復移動しながら未処理の基板を工程チャンバーに供給したり、処理が完了した基板を工程チャンバーから排出する移送ロボット１２３を備える移送チャンバー１２０；移送チャンバーの一側に結合され、供給される基板を収容するローディングチャンバー１３０；及び移送チャンバーの他側に結合され、排出された基板を収容するアンローディングチャンバー１４０；を含み、工程チャンバーの内部では、第２の方向に沿っていずれか一つの基板に工程ガスが蒸着されると同時に、残りの基板に対する移送及び位置整列が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷法により有機発光層を形成してなる有機ＥＬ素子であって、第一電極間にある隔壁前後に供給されるインキの流れ込みを防ぎ、隔壁近傍の有機発光層の膜厚と電極中央の有機発光層の膜厚を略同等にすることにより、画素内での発光ムラ並びに混色、画素間での発光ムラの無い高光学特性の有機ＥＬ素子の提供を目的とする。
【解決手段】基板上に、第一電極（画素電極）と有機発光体層が順次積層してなる画素が隔壁で区画され、さらに前記有機発光体層側上に前記第一電極と対向するように第二電極を設けた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記隔壁で区画された画素間の中央部に第二の隔壁を設けることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子である。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って均一な輝度特性を維持することができる表示装置の製造方法及び表示装置を提供する。
【解決手段】映像を表示する表示装置の製造方法であって、前記映像を表示する表示領域を規定する複数の表示画素を含む表示パネルを準備する第１工程と、前記表示領域を複数の分割領域に区分けする第２工程と、前記映像を表示するために前記表示パネルを駆動するときに生ずる熱によって発生する前記表示領域中の温度分布に対応して、前記分割領域ごとにエイジング条件を設定する第３工程と、前記エイジング条件の下、前記分割領域ごとに前記表示画素をエイジングする第４工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着法にて有機ＥＬ層を形成する際に点灯不良を回避することができる有機ＥＬ表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に配置された第一電極２と、第一電極２上に形成される有機ＥＬ層５と、有機ＥＬ層５上に形成される第二電極６と、からなる有機ＥＬ素子を複数有し、有機ＥＬ層５を構成する層のうち少なくとも第一層が蒸着法によって形成される有機ＥＬ表示装置の製造方法において、有機ＥＬ層５の形成工程に先立って下記（１）及び（２）の工程を行うことを特徴とする、有機ＥＬ表示装置の製造方法。
（１）導体でない間隙充填材料からなる層４を第一電極２上に成膜する工程
（２）間隙充填材料からなる層４をエッチングして第一電極２を露出させる工程 （もっと読む）