【課題】電子衝撃による加熱時に、加熱プレート２の温度勾配を無くし、均一な温度分布が形成されるようにし、これにより加熱物７の全面を均一な温度で加熱する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱プレート２の背後に設けられたフィラメント９と、このフィラメント９を加熱する加熱電源１２と、このフィラメント９に加速電圧を印加する加速電源１１と、前記フィラメント９から放出され、加速電源１１による加速電圧で加速された電子を加熱プレート２に向けて反射するリフレクタ３とを有する。リフレクタ３の反射面は、その加熱プレート２の中央部に対向する部分が加熱プレート２の周辺部に対向する部分より加熱プレート２に近くなるような勾配を有する。 （もっと読む）

【課題】加熱と冷却を繰り返した時のフィラメント支柱１７を固定しているナット２０、２０の緩みを防止し、これにより長期にわたって安定してフィラメント９を定位置に保持する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、フィラメント９で発生した熱電子を加速してこれを加熱容器１の天板となる加熱プレート２にその背面から衝突させて加熱プレート２を発熱させるものである。この背面電子衝撃加熱装置のフィラメント９は、ホルダ１２に立設されたフィラメント支柱１７に支持されていると共に、ホルダ１２の長穴取付孔２１とフィラメント支柱１７との間に、同フィラメント支柱１７の回転を阻止する回り止め用の回止チップ１９が挿入されている。 （もっと読む）

【課題】大きなサイズのウエハであっても均一なアニール処理が可能な、加熱プレート内の温度均一性が高い電子衝撃加熱装置を提供する。
【解決手段】天板２ａを有するヒーター容器２内に、螺旋状のフィラメント４と、該フィラメント４の螺旋で囲まれた領域内に反射板３を備え、該反射板３が、フィラメント４の天板２ａに最も近い位置Ｄに上面を有し、直径がフィラメント４の螺旋の直径Ｒの１０％以上の円板３ａと、該３円板３ａの外径と同じ内径を有し、外径がフィラメント４の螺旋の直径よりも大きいリング板３ｂと、円板３ａの外周とリング板３ｂの内周とを連結する円筒板３ｂとから構成され、フィラメント４から発生した熱電子を、天板２ａの外周部に優先的に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】真空熱処理装置のシーリング用Ｏリングの劣化を防止する。
【解決手段】加熱容器（３）を排気ポンプへ結合し且つ真空処理チャンバ内に収容する接合チャンバの開口周囲フランジ（１３）と加熱容器（３）の開口周囲フランジ（１５）との接合面はＯリング（２１）でシーリングされる。接合チャンバの開口フランジ（１３）の開口縁にひさし状の突起部（２４）を設け、約１μ程の接合面の隙間から輻射熱が入りＯリングを加熱しないような構成によって、Ｏリングの劣化を防止している。 （もっと読む）

【課題】常に一定の温度制御と、１８５０度以上の高温領域における温度制御が可能な加熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理室と、処理室内に設けられた加熱物支持部材と、加熱物支持部材内に配置された加熱手段と、加熱物支持部材の温度を測定する温度測定手段とを有する加熱処理装置であって、温度測定手段が、処理室の周壁に設けられた加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを透過可能な透過窓の外部に配置されており、温度測定手段が、加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを集光する集光部と、赤外線内の２波長の強度比に基づいて温度を算出する算出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 凹版印刷機のインキ硬化乾燥用放射線照射装置として、印刷済みシートの積載量に見合った放射線を照射することで、確実な乾燥を行うとともに、シート基材への影響排除、電力費用の低廉化及び作業負荷の低減を図る。
【解決手段】 印刷後のシート上のインキを乾燥する凹版印刷機のインキ硬化乾燥用放射線照射装置において、放射線照射装置は、印刷機のデリバリに積層されたシートの積層状態に応じて放射線照射量の出力を可変制御する制御装置を付設している凹版印刷機のインキ硬化乾燥用放射線照射装置とした。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム溶解中に生起される不純物混入を効果的に回避する装置構成を有する電子ビーム溶解炉およびこの溶解炉を用いた金属の溶解方法を提供する。
【解決手段】原料を供給する原料供給フィーダーと、原料を溶湯として保持するハースと、ハースの下流側に設けられた鋳型と、溶解炉本体の天井壁に設けられハースおよび鋳型内の原料を溶融させる電子銃とを備えた金属の電子ビーム溶解炉において、平面配置において、ハース領域、鋳型領域および原料供給フィーダー領域外に電子銃を配置する。また、この電子ビーム溶解炉を用いて、原料金属の溶解およびインゴットの製造を行う金属の電子ビーム溶解方法。 （もっと読む）

【課題】高周波焼入れ用の加熱コイルを１個の銅塊から切削加工と補助的に電子ビーム溶接することにより製作する。
【解決手段】１加熱コイルの外寸法を包括する大きさの銅塊から切削加工により加熱コイルを形成すること。２加熱コイルの外寸法を包括する大きさの銅塊とするため数個の小銅塊を切削加工に先立ち電子ビーム溶接により１個の銅塊とすること。３加熱コイルの冷却の目的で加熱コイル内に水路を設けるため切削加工により溝、穴を形成し必要な箇所に蓋、ホース口を電子ビーム溶接で固着すること。４電子ビーム溶接を行うことによる温度上昇を所定の範囲に収めるために加熱コイル以外の部材を接触させておくこと。 （もっと読む）

【課題】高温下での加熱プレートの温度勾配を小さくし、加熱物を均一な温度で加熱する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後からフィラメント９で発生した電子を加速して衝突させて同加熱プレート２を加熱するものである。そして前記加熱プレート２の背後であって、フィラメント９に囲まれた位置に、前記加熱プレート２に向けて飛翔する電子を遮蔽する電子遮蔽体４を設けている。この電子遮蔽体４はフィラメント９と同電位とする。 （もっと読む）

【課題】加熱容器１とテーブル６との熱膨張率の違いに起因する熱応力をより効果的に緩和する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後に設けられたフィラメント９と、このフィラメント９を加熱する加熱電源１２と、このフィラメント９に加速電圧を印加する加速電源７とを有する。そして加熱容器１を載せるテーブル６の上面と加熱容器１の側壁１３の下端フランジ部１８との間に真空シール１４を挟み、さらにこの下端フランジ部１８を軟質金属からなる緩衝部材１７を介して止め金具４で押さえ、この止め金具４をねじ１９でテーブル６に締め付けて固定した。 （もっと読む）