【課題】異常放電の判定精度を向上させることが可能な、異常検出装置及び異常検出方法を提供する。
【解決手段】処理室内に載置されたウエハであってプラズマ処理後のウエハの脱離開始から搬送ゲートバルブが開くまでの動作を監視し、動作をウエハ脱離時の動作として特定する監視部７２と、特定されたウエハ脱離時の動作中、処理室内に高周波電力を印加する高周波電源と整合器との間もしくは被処理体を載置する載置台として機能する下部電極と整合器との間に設けられた方向性結合器から出力される進行波または反射波の少なくともいずれかの高周波信号を取得する取得部７３と、取得された高周波信号の波形パターンを解析する解析部７４と、高周波信号の波形パターンの解析結果に基づき異常放電の有無を判定する取得部７３と、を備えることを特徴とする異常検出装置７０が提供される。 （もっと読む）

【課題】流通ガスに含まれる種々の測定対象物質の濃度、量等を高い応答性で高精度に計測すること。
【解決手段】計測領域にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、計測領域にプラズマによって励起された測定対象物質の励起波長を含むレーザ光を照射するレーザ照射手段と、計測領域で発生するプラズマに起因する電気的特性を電流で検出する電流検出手段と、電流検出手段で検出した電流値に基づいて流通ガスに含まれる測定対象物質を検出する解析装置とプラズマ発生手段、レーザ照射手段および解析装置の動作を制御する制御装置と、を有し、計測領域に設定した強度のプラズマが発生しており、かつ、プラズマによって励起された測定対象物質の励起波長のレーザ光が照射されている状態で電流検出手段が検出した電流値と、それ以外の状態で電流検出手段が検出した電流値とを比較して、流通ガスに含まれる測定対象物質を検出すること。 （もっと読む）

【課題】制御された融合用のプラズマを含む高密度高温プラズマの安定状態を形成する方法を得る。
【解決手段】本方法は、パルス大電流放電内において高密度高温プラズマを生成する段階と、これに続いて、帯状エネルギースペクトルを有する電子の重力放射の条件に対応したパラメータを有する磁場エリアからプラズマを注入する段階と、スペクトルに沿った（ｅＶエネルギーの）長波長領域内への後続のエネルギー移動（カスケード遷移）段階を有しており、これは、流体静力学的平衡状態へのその同時圧縮と共に、プラズマ内における重力放射のロッキング及び増幅状態に結びついており、適切な重力場内における電子の基底エネルギーレベル（ｋｅＶの領域）からの自発重力放射をクエンチングするべく、作動ガスの成分内において、不可欠な要素として、多電子原子を使用している。 （もっと読む）

【課題】レーザービームをより効果的に終端させ、戻り光による迷光を著しく低減させることができるビームダンプを提供する。
【解決手段】本ビームダンプ１は、使用済みのレーザービームの終端処理を行うものであり、レーザービームの入射側の前段のレーザー吸収板５ａが、終端処理するレーザービームの入射方向に対して一定角度傾斜して設けられ、後段のレーザー吸収板５ｂが前段のレーザー吸収板５ａに対し前段のレーザー吸収板５ａとは反対の方向に一定角度傾斜するように設けられてなるレーザー吸収材４を複数枚、ヒートシンク３の上にレーザービーム入射方向とは直角な方向に一定間隔を隔てて、レーザービームの終端部がレーザービーム入射方向から見て隠れるように配設して構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エッチングの終点を精度良く制御する。
【解決手段】エッチング装置１は、処理ユニット２と制御ユニット３とを有する。処理ユニット内のプラズマの発光強度は、ＯＥＳ検出器２１で取得され、エッチング制御装置３１が非線形回帰分析して回帰式を決定する。非線形回帰分析は、プラズマの発光強度がピークを超えた第１の時間までに取得したプラズマの発光強度を用いて行われ、回帰式を用いてエッチング終点となる第２の時間が算出される。エッチング終点は、第１の時間から発光強度が所定値だけ減少する時間として算出される。エッチング装置１は、エッチング終点に達したら、エッチングを終了する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ反応器のチャンバ内におけるプラズマパラメータデータを測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】プラズマと接触する単一の平面ラングミュアプローブの表面でプラズマパラメータデータを測定すするために、プラズマと接触する単一の平面ラングミュアプローブ１の表面でバイアスコンデンサ２が単一の平面ラングミュアプローブ１とＤＣバイアス電源３との間で接続されている。続いて、ＤＣバイアスが測定される結果として、バイアスコンデンサ２の放電電流が測定され、放電の間に単一のプローブでのプローブ電位が測定され、プローブ表面上の誘電体膜の存在及び／又は厚さを検出する。 （もっと読む）

【課題】放電負荷の異常放電を、簡単な構成で、高速且つ精度良く検出する。
【解決手段】電源装置は、コンバータ２０と、ＬＣ共振回路３０と、ＣＴ５９と、異常放電検出回路６０とを備えている。コンバータ２０は、ＤＣ入力電圧をスイッチングして一定レベルのＤＣ電圧に変換し、ＤＣ出力電圧を出力する。ＬＣ共振回路３０は、コンバータ２０の出力電圧を入力し、その出力電圧を放電負荷４０へ供給すると共に、放電負荷４０における異常放電の発生時に共振電流を発生して放電負荷４０に逆電圧を印加する。ＣＴ５９は、前記共振電流のＡＣ成分を検出して電流検出結果を出力する。更に、異常放電検出回路６０は、前記電流検出結果を電圧レベルに変換し、変換された電圧レベルが閾値を超えた回数をカウントして前記異常放電の発生回数を検出する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理室内の付着物の堆積を取り除く処理のタイミングをより適切にすることで、プラズマ処理装置の非稼働時間を低減し、処理の効率向上させるプラズマ処理装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】真空容器の内部に配置された処理室内にウエハを配置してこの処理室内にプラズマを形成して処理するプラズマ処理装置の運転方法であって、予め定められた間隔で前記処理室内にプラズマを形成してこの処理室内側の壁面の付着物を除去するクリーニング動作を行うクリーニング用モードを有し、このモードにおいて検出した前記プラズマを用いたクリーニングの際の付着物の量と前記プラズマを用いたクリーニング後の前記処理室のリーク量との各々が所定の値以下である場合に前記クリーニング用モードを終了する。 （もっと読む）

【課題】ガス処理を継続して行わせながら、水分量の過多による異常放電を抑制する。
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ（ＧＵ１，ＧＵ２）毎に異常放電を検知する異常放電検知部１９（１９−１，１９−２）を設ける。制御部１８は、異常放電検知部１９によって異常放電の発生が検知された場合、加湿装置１７の加湿量を低下させる。なお、加湿装置１７の加湿量を低下させるとともに、異常放電の発生が検知されたガス処理ユニットＧＵの高電圧源１５が印加する高電圧の値を低下させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】
電極の開口部にプラズマを形成するプラズマ処理において、開口部のプラズマの正確な発光スペクトルが測定可能なプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】
内部を減圧に保持する真空排気装置を備えた真空容器内に、カソード電極と、該カソード電極に対向して配置された被成膜基板と、前記基板を保持する基板保持機構とを備え、前記カソード電極は前記被成膜基板側に開口したプラズマ保持部を持ち、該プラズマ保持部は前記被処理基板側の空間から気体を排気する排気機構を有しているプラズマ処理装置であって、前記カソード電極側面から少なくとも1つの前記プラズマ保持部を見通せる覗き孔と、該覗き孔からプラズマ光を集光するためのレンズと、集光した光を取り出す光ファイバと、取り出した光を分光して解析する分光器ユニットを備えたプラズマ処理装置を提供する。 （もっと読む）