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国際特許分類[H05H1/00]の内容

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【課題】 高周波測定装置によって検出された電圧と電流を高い精度で校正する方法を提供する。
【解決手段】 第1の3つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータXを算出し(S1,2)、校正パラメータXを用いて校正した電圧信号と電流信号とに基づいて、プラズマ処理装置のインピーダンスを算出し(S3)、スミスチャート上で、S3で算出されたインピーダンスを含み、第1の3つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる3つのインピーダンスを決定し(S4)、当該3つのインピーダンスをそれぞれ有する第2の3つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータX’を算出し(S5,6)、検出された電圧信号と電流信号とを校正パラメータX、X’を用いて校正する(S7)。 (もっと読む)


【課題】正確な終点検出を行うことができる終点検出装置および終点検出方法を提供する。
【解決手段】プラズマ処理を実行した際に発生した光を分光分析する分光分析部3と、前記分光分析部3から提供された複数の波長に対する発光強度に関する情報に基づいて主成分得点または残差を求める主成分演算部4と、前記求められた主成分得点または残差に基づいてプラズマ処理の終点を判定する終点判定部5とを備えた終点検出装置およびそれを用いた終点検出方法である。 (もっと読む)


【課題】 特性インピーダンス以外の負荷に使用される電力測定装置の電力測定値の信頼性を評価する方法を提供する。
【解決手段】 複素インピーダンスを有する負荷に供給される高周波電力を測定するための電力測定装置5を、基準となる基準電力測定装置4とともに、高周波電源装置1と前記負荷を擬似的に再現するインピーダンス変換装置6および基準負荷8との間に配置した評価システムA’において、基準電力測定装置4によって測定される電力測定値から所定の演算式により当該電力測定値の不確かさの範囲を算出し(S24)、電力測定装置5によって測定される電力測定値が当該不確かさの範囲内であるか否かを判別する(S25)。不確かさの範囲内にあれば(S25:YES)、当該電力測定装置5が信頼できると評価し(S26)、不確かさの範囲内になければ(S25:NO)、信頼できないと評価する(S27)。 (もっと読む)


【課題】位相制御にとって最適な信号を用いる機能を備えたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】第1の高周波電源4からの第1の高周波電圧が供給されるコイル状アンテナ61と、ウエハ12が載置され第2の高周波電源21からの第2の高周波電圧が供給される電極14と、第3の高周波電源25からの第3の高周波電圧が供給されるファラデーシールド62と、前記第2の高周波電圧と前記第3の高周波電圧の位相差を制御する位相制御器29とを備え、真空容器1の内壁面のプラズマ中を伝播してくる高周波の電位を検出する電圧検出手段と、真空容器1内のプラズマの発光状態を検出するプラズマ発光検出手段52とを具備し、前記電圧検出手段により検出された高周波電圧とプラズマ発光検出手段52により検出されたプラズマ光の組み合わせである信号源を用いて、同一周波数である前記第2の高周波電圧および前記第3の高周波電圧の位相差を制御する。 (もっと読む)


【課題】オートマッチング動作において不必要な速度低下やハンチングを招くことなく短時間で効率よく実質的な整合状態を確立できるようにする。
【解決手段】第2の整合アルゴリズムでは、インピーダンス座標上で、第1または第2基準線C1S,C2Sと直交する第3の基準線TC1SまたはTC2Sを動作点移動制御の目標にして、C1座標軸またはC2座標軸上で動作点ZpをたとえばZp(7)→Zp(8)→Zp(9)と移動させる。動作点Zp(9)の座標位置は原点O(整合点ZS)に非常に近い実現可能なベストの擬似的整合点ZBであり、この位置で動作点Zpの移動を止める。 (もっと読む)


【課題】プラズマを内包する気泡(1次気泡)を安定に維持することのできるプラズマ診断装置およびソリューションプラズマ放電装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ診断装置は、貯留部2が、ソリューションプラズマ放電装置に設けられた1対の放電電極1・1と離間して上部に設けられ、かつ、貯留部2の下方に形成される2次気泡7の表面が、1次気泡6の表面に接触する位置に配置されている。これにより、2次気泡7が、1次気泡6の振動を抑制するので、不安定な1次気泡6を、2次気泡7によって、安定に維持することができる。 (もっと読む)


【課題】数値拡散が少ない高精度の移流方程式の数値解法を提供すること。
【解決手段】離散化された空間上で定義された物理量と速度場とから、この物理量の移流を求める移流方程式を数値計算によって解く。記憶手段には、物理量f(x、t0)及びその0からmmax次までのモーメント積分量Mm(x、t0)を記憶する。空間プロファイル算出ステップでは、f(x、tn)及びMm(x、tn)の束縛条件を課して、f(x、tn)及びMm(x、tn)の空間プロファイルF(x、tn)及びGm(x、tn)を決定する。移流項計算ステップでは、f(x、t*)=F(x−u×dt、tn)及びMm(x、t*)=Gm(x−u×dt、tn)により中間時間ステップでの物理量f及びMmを求める(ここでuは移流速度ベクトル)。非移流項加算ステップでは、非移流項をf(x、t*)及びMm(x、t*)から算出し、これを用いて次の時間ステップでの物理量f(x、tn+1)及びモーメント積分量Mm(x、tn+1)を求める。 (もっと読む)


工作物を処理するためのプラズマチャンバ内のプラズマプロセスパラメータを測定する検知デバイスは、基板に埋め込まれた1つまたは複数のセンサを有する基板を含む。基板は、プラズマチャンバ内でプラズマ処理される工作物と実質的に同じ材料である材料から作られた基板を有しうる。各センサは、基板表面と実質的に同じ材料から作られたコレクタ部分を含みうる。コレクタ部分は、基板の表面と同一平面上にある表面を含む。センサエレクトロニクスは、基板に埋め込まれ、コレクタ部分に結合される。基板表面がプラズマに暴露されると、プラズマによってもたらされる1つまたは複数の信号は、センサ(複数可)によって測定されうる。
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【課題】電極上の付着物に加え、電極の外周近傍に設けられた部材上の付着物を速やかに除去することができる成膜装置のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】プラズマ状態の変化に対応して、第1の条件でプラズマを発生させる工程から第2の条件でプラズマを発生させる工程への移行が行われる。第2の条件は、第1の条件に比して、第1の対の電極11、12間において外周方向へプラズマを拡げる条件である。第1の対の電極11、12に接続されたインピーダンス整合回路41の回路定数の変化に対応して、第1の条件でプラズマを発生させる工程から第2の条件でプラズマを発生させる工程への移行が行われる。第1および第2の条件の各々はArガスとNF3ガスとの混合ガスを用いるものである。第2の条件は、NF3ガス流量に対するArガス流量の比率である流量比が高い条件である。 (もっと読む)


【課題】 スパッタリング中におけるアーク放電抑制の失敗を無くすことができるスパッタリング用電源装置を提供すること。
【解決手段】 負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリング用電源装置において、スパッタリング用直流電源PS1と、このスパッタリング用直流電源の負極側に設けられた第1のスイッチング手段SW1と、この第1のスイッチング手段に複数直列接続される互いに独立のチョークコイルL1〜L4と、この複数のチョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた逆方向アーク防止回路13と、逆電圧発生用直流電源PS2と、この逆電圧発生用直流電源と前記複数直列接続された互いに独立のチョークコイルと逆方向アーク防止回路との中間位置との間に設けられた第2のスイッチング手段SW2と、前記負極出力端子と前記正極出力端子との間に発生する電圧を検出する電圧検出部R1,R2と、前記第1のスイッチング手段及び第2のスイッチング手段の開閉を制御する制御手段21とから構成される。 (もっと読む)


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