【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、あるいは、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、スパイラルコイル３が第一石英板４に接合され、誘導結合型プラズマトーチユニットＴの最下部にプラズマ噴出口８が設けられる。第二石英板５及び第三石英板６に囲まれた長尺チャンバ内部の空間７にガスを供給しつつ、スパイラルコイル３に高周波電力を供給して、長尺チャンバ内部の空間７にプラズマを発生させ、基材２に照射する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、あるいは、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、スパイラルコイル３が第一石英板４、第二石英板５、及び、冷媒ケース１６によって囲まれた冷媒流路内に配置され、最下部にプラズマ噴出口８が設けられる。第二石英板５と冷媒ケース１６とは、ボルト１９をタップ１８にねじ込むことにより、固定される。第二石英板５及び第三石英板６に囲まれた長尺チャンバ内部の空間７にガスを供給しつつ、スパイラルコイル３に高周波電力を供給して、長尺チャンバ内部の空間７にプラズマを発生させ、基材２に照射する。 （もっと読む）

【課題】対象物に対する最適なプラズマの照射状態を得ることができるプラズマ制御方法およびこの制御方法を用いてコストパフォーマンスに優れ、所望の照射条件で対象物に対して高精度で再現性よくプラズマ照射することができるプラズマ制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマを対象物に対して照射する場合に、前記プラズマの状態を制御するプラズマ制御方法において、前記対象物の状態を検出して前記対象物の状態の情報を取得し、前記対象物の状態の情報をフィードバックするとともに、前記対象物の状態の情報に基づいて前記プラズマの状態を制御するプラズマ制御方法およびこれを用いたプラズマ制御装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ放電部を複数並べて任意の大きさの試料に対応できるように放電面積を拡大する場合であっても、単位あたりの電力コストを増加することなく、均一なプラズマ生成が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 高周波信号回路１３及び高周波電力回路１１を有する高周波電源と筐体２１と放電電極２とを備えたプラズマ処理装置において、筐体２１内に設置された放電電極２と高周波電力回路１１とでプラズマモジュールを構成し、複数個並列接続されたプラズマモジュールに高周波信号回路１３からの周波数信号を入力する。 （もっと読む）

【課題】誘電体バリア放電方式で被処理体に効率良くプラズマを照射する。
【解決手段】複数のアンテナ電極２と複数のアース電極３とを電極軸の径方向に誘電体４を介して交互に配置して形成されるプラズマ電極１と、前記アンテナ電極に電圧を印加する高周波印加電源５とを備え、前記プラズマ電極と対向するように配置された導電性の被処理体７にプラズマを照射するプラズマ処理装置において、前記アース電極はアースに接続されると共に前記被処理体と電気的に接続され、前記被処理体と前記アースとの間の抵抗がプラズマの浮遊電位に基づき定められる値よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】誘電体３の貫通孔９は、放電空間９ａと、放電空間９ａとは反対側を拡径させる傾斜面３ｅを内周面の一部とする導入空間９ｂとを含む。第１対向電極５Ａは、ｚ方向の正側から放電空間９ａに面し、放電空間９ａ側が誘電体３により覆われている。第２対向電極５Ｂは、第１対向電極５Ａと放電空間９ａを挟んで対向している。第１イオン風用電極７Ａは、第１対向電極５Ａ側の傾斜面３ｅに位置している。プラズマ発生体１は、第１対向電極５Ａ及び第２対向電極５Ｂの間に電圧が印加されることにより放電空間９ａにプラズマを発生可能であり、第１対向電極５Ａ及び第１イオン風用電極７Ａの間に電圧が印加されることにより導入空間９ｂから放電空間９ａへ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】被窒化処理物が持つ靭性等の特性を維持しつつ、表面の硬度を高めることができるとともに、耐久性を向上させることができる窒化処理方法を提供する。
【解決手段】窒化処理方法は、被窒化処理物１６の表面に窒素プラズマを照射して窒化処理を行い、被窒化処理物１６の表面に窒素原子の薄い拡散層を形成するものである。例えば、アルゴンプラズマ２１から電子ビームを引き出し、該電子ビームにより窒素ガスから窒素プラズマ２４を生成させ、該窒素プラズマ２４により被窒化処理物１６の表面から内部へ窒素原子を拡散させ、厚さが１０μｍ以下の窒素原子の拡散層を形成する。窒化処理の温度は３５０〜６００℃であることが好ましく、窒化処理の時間は１〜８時間であることが好ましい。また、被窒化処理物１６に印加されるバイアス電圧は−５０Ｖ〜−５Ｖであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体１は、共用電極５と、共用電極５と放電空間１１を挟んで対向するプラズマ用電極７と、放電空間１１に対して共用電極５側に位置するイオン風用電極９とを有する。共用電極５は、イオン風用電極９に対して共用電極５とプラズマ用電極７との対向方向に交差する方向の一方側（ｘ方向の正側）に位置する。プラズマ発生体１は、共用電極５及びプラズマ用電極７の間に電圧が印加されることにより放電空間１１にプラズマを発生可能であり、共用電極５及びイオン風用電極９の間に電圧が印加されることによりｘ方向の正側へ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】効率よく排ガスを処理し、長期間安定してＣＯ_２を供給する装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理対象のガスが流れる流路と、前記流路内に配置される、第１の電極と第２の電極と誘電体とを少なくとも備え、前記第１の電極と前記第２の電極の間に電圧を印加して放電を発生させることによりプラズマを発生させるプラズマ発生部と、前記処理対象のガスの反応を促進する触媒であって、前記流路内において前記プラズマ発生部によって発生したプラズマが存在する位置に配置され、無機材料上に固定された金粒子を含む触媒を有する触媒部と、を備えることを特徴とする燃焼排ガス処理ユニット。 （もっと読む）