【課題】小型かつ高効率のプラズマを発生できる大気圧プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１は、管軸方向に放電ガスが流れ高周波電源２１からの高周波電力が供給されることによりプラズマを発生する放電管２６と、放電管２６に高周波電力を伝達するアンテナ２５と、高周波電源２１とアンテナ２５との間に配置された整合回路とを備え、当該整合回路は、高周波電源２１の一端とアンテナ２５の一端との間に接続されたインダクタ２３、高周波電源２１の他方の一端とアンテナ２５の他方の一端との間に接続された可変コンデンサ２４を備え、アンテナ２５は、上記整合回路と連続した配線であって放電管２６の近傍に配置され実際に電流の流れる第１のアンテナ部２５１と、放電管２６と接触する部分を有する第２のアンテナ部２５２とで構成される。 （もっと読む）

【課題】誘電体の表面に汚れなどが付着した場合においても汚れを容易に除去することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】実施形態の気流発生装置１０は、固体からなる誘電体２０と、誘電体２０の表面に設けられた第１の電極３０と、第１の電極３０と誘電体２０を介して離間して設けられた第２の電極４０とを備え、第１の電極３０と第２の電極４０との間に電圧を印加して気流を発生させる。第１の電極３０側の誘電体２０の表面２０ａにおける水に対する接触角が８０度以上である。 （もっと読む）

【課題】被処理物の大型化に対応して吹出ノズルが長大化しても、吹出ノズルのメンテナンスを容易に行うことができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１の吹出ノズル２は、吹出口２ｃを有して巾方向Ｗに延びている。吹出ノズル２は、巾方向Ｗの第１側の第１分割ノズル１０と、巾方向Ｗの第２側の第２分割ノズル２０とに分割されている。分割ノズル１０，２０どうしの接合面３０が、巾方向Ｗに互いにずれた一対の当接面３１，３２を有し、これら当接面３１，３２間に段差３３が形成されている。分割ノズル１０，２０が、それぞれ吹出口２ｃを挟んで搬送方向Ｙの両側の一対の分割ノズル部材１１，１２，２３，２４に分割されている。 （もっと読む）

【課題】ファブリック構造電極をプラズマ生成部に用いた新規なプラズマ生成装置の電源回路を提供する。
【解決手段】商用電源（例えばＡＣ１００［Ｖ］、６０［Ｈｚ］）に接続される一つの単巻変圧器２１と複数の電子トランス２２とファブリック構造電極で構成される複数の放電電極２３からなるファブリック構造電極２０を有する。単巻変圧器２１は可変単巻変圧器であってもよい。可変単巻変圧器とすると負荷に応じた最適な電圧に調節できる利点がある。電子トランス２２と一対の放電電極２３は同数設ける。電子トランス２２を一対の放電電極と同数設けたことにより、ファブリック構造電極をプラズマ生成部に有するプラズマ生成装置に安定して電力を供給できる。 （もっと読む）

【課題】 チャージアップの抑制および二次反応の抑制を高いレベルで両立する電子写真感光体の製造方法を提供する。
【解決手段】 電極および円筒状基体の一方の電位に対する他方の電位が交互に正と負になるように、周波数３ｋＨｚ以上３００ｋＨｚ以下の矩形波の交播電圧を電極と円筒状基体の間に印加して、原料ガスを分解し、円筒状基体上に堆積膜を形成して、電子写真感光体を製造するにあたり、基体ホルダーと補助ホルダーとによって円筒状基体を長手方向に加圧した状態で保持し、前記正になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値および前記負になるときの電極と円筒状基体の電位差の絶対値の一方が放電維持電圧の絶対値未満の値であって、他方が放電開始電圧の絶対値以上の値であるようにする。 （もっと読む）

【課題】大気圧下でプラズマ励起して被処理体のうちの表面処理が必要な領域にのみ、局所的に短時間で表面処理を行うことができるプラズマ照射装置及び表面改質方法を提供する。
【解決手段】板状の誘電体３を密着させたプレート電極４と誘電体３を介しての表面近傍に対向設置されたメッシュ電極５とが絶縁性の筐体１０内に格納され、プレート電極４及びメッシュ電極５が交流電源６に接続されたプラズマ生成装置１００であって、筐体１０の一方にガス導入部８を、筐体１０の他方にプラズマ照射部９をそれぞれ具備する。プラズマ生成装置１００によりプラズマ７を被処理体１に照射することで表面改質を行う。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】曲面を持った取り付け面に取り付けることが可能で、且つ、取り付け面の撓みにより破損することがなく、電極間で発生させる放電に対して優れた耐性を持ち長期的な使用が可能な気流発生装置、気流発生装置の製造方法及び風力発電システムを提供する。
【解決手段】マイカ紙にエポキシ樹脂を含浸させ、エポキシ樹脂を硬化することによって形成された絶縁性基体と、絶縁性基体内に埋め込まれた第１の電極と、第１の電極より絶縁性基体の表面側に、かつ、第１の電極との間に絶縁性基体の一部を介在させた状態で配設された第２の電極とを具備し、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加して放電を発生させることにより、気流を発生させる気流発生装置。 （もっと読む）

【課題】放射導体の先端近傍を内包する空間内での放電用ガスの流れをより均一にする。
【解決手段】筒体１１ａの一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞されて筒体１１ａの他方の端部側が開放端に形成された筐体１１と、閉塞板１１ｂに立設された放射器１４とを備え、筐体１１の内部には、閉塞板１１ｂ側の内部空間ＳＢ１と、放射器１４の先端近傍を内包して筒長方向に沿って延び、かつ内部空間ＳＢ１に供給された放電用ガスＧを筒長方向に沿って放射器１４の先端近傍を経由して筐体１１の他方の端部から外方へ放出する内部空間ＳＢ２と、筒体１１ａに設けられたガス放出口２２ｃから放出された放電用ガスＧを筒長方向に沿って内部空間ＳＢ１に誘導する誘導流路ＳＡとが形成されて、放電用ガスＧの供給状態において、内部空間ＳＢ２から放出される放電用ガスＧの気流に乗って放射器１４の先端近傍から筐体１１の開放端を越えて伸びるプラズマＰを発生させる。 （もっと読む）

【課題】２つの同軸状電極内に発生した面状放電を同軸状電極間の管状放電に繋ぎ変える電流路の繋ぎ変えの安定性を高め、プラズマ光源の出力、安定性、信頼性を高めることができるプラズマ光源を提供する。
【解決手段】ガイド電極１４と真空チャンバー２２との間に絶縁板２６が挟持され、ガイド電極１４は真空チャンバー２２から絶縁されている。また１対のガイド電極１４の先端部を電気的に直接結合する連結導電体３２を備え、その中央部のみが接地されている。 （もっと読む）