【課題】放電の安定化と、安定した処理ガス供給を両立する、シート表面に十分な改質効果を与えるシートのプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】放電電極２３と該放電電極に対向して配置される対極電極１１とを有し、前記放電電極と前記対極電極の間を、前記対極電極に密着して連続的に走行するシート２１が通過するシート走行路、および前記シート走行路へガスを供給するガス供給手段２０を有するプラズマ処理装置において、前記放電電極２３および前記ガス供給手段２０が、シート走行方向に沿って交互に配置され、かつ、前記シートの幅方向に延在した構造を有し、また、前記ガス供給手段２０が、該ガス供給手段の前記対極電極１１側の領域に前記ガスを供給する開口部４４を有し、該開口部４４が、前記放電電極の前記対極電極１１から最も離れた面よりも、前記対極電極１１に近い位置に配置された構造を有する、シートのプラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】金属機能物質粒子ガスを生成し、当該生成金属機能物質粒子ガスをＣＶＤチャンバー側に供給することが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置は、電極セルと、当該電極セルを囲繞する筐体とを備えている。前記電極セルは、第一の電極３と、放電空間６と、第二の電極１と、誘電体２ａ，２ｂと、平面視において中央部に形成された貫通口ＰＨとを、有する。円筒形状の絶縁筒部２１が、貫通口ＰＨの内部に配設されており、円筒形状の絶縁筒部２１側面部に噴出孔２１ｘを有する。さらに、プラズマ発生装置は、絶縁筒部２１の空洞部２１Ａに配設される導電性部材を備えている。 （もっと読む）

【課題】高周波プラズマ点火装置に用いられるプラズマ生成システムに関し、誘電損失を燃料の加熱に利用すると共に、共振周波数の変化を利用して、ノッキング等の異常燃焼が発生した際に過剰電流が流れるのを防止して、電極消耗の抑制を可能とするプラズマ生成システムを提供する。
【課題を解決する手段】周波数発生器５から発振された周波数ｆ_１を基本波とし、その高調波成分であって、上記基本波の２以上の整数倍の逓倍波（ｆ_２＝ｎｆ_１）を取り出す周波数逓倍手段として、放電回路部２と電力増強部４との間に磁気共鳴手段３を設けて接続すると共に、電力増強部４と磁気共鳴手段３の第１の共振コイル３１との共振周波数ｆ_２が、逓倍波の周波数（ｎｆ_１）に等しく、かつ、放電電極１０、１１が所定の圧力範囲下におかれたときの放電回路部２と磁気共鳴手段３の第２の共振コイル３０との共振周波数ｆ_０に等しくなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れた放電電極および放電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】従来の電極の部分を導電性の粉体５に替えることで、温度影響による電極剥がれを防止することができる。また、従来の誘電体バリアの部分を、セラミックあるいは石英で形成され、粉体５を収容可能に構成した筒６に替えることで、筒６と粉体５との間に隙間が生じにくいので、放電電圧が上昇しにくく、発熱しにくくなる。また、筒６がセラミックあるいは石英で形成されているので、耐熱性に優れ、ピンホールもなく、非常に長寿命が期待できる。その結果、電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れたプラズマ用電極１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 小径のビア用開口内の樹脂残渣を除去し、接続信頼性の高いビア導体を形成できる環境調和型の多層プリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 2炭素間の２重結合およびフルオロアルキルエーテル基を有するフルオロビニルエーテル系のガスを混合したプロセスガスを用いて、電子密度の高い大気圧プラズマ処理を行なうと、ビア導体用の開口の底の樹脂残渣を化学的反応により除去するFラジカル、CFラジカル、CF2ラジカル、CF3ラジカルが、低い混合比で潤沢に得られ化学的除去が効率的に進み、プラズマ中の粒子による物理的除去との相乗効果によりビアの樹脂残渣が除去される。 （もっと読む）

【課題】プラズマによる劣化を回避しつつ点火機構を簡略化する。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、かつ他方の端部が開放端に形成された筒状の筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、閉塞板１１ｂ側から開放端側に向かう気流を筐体１１内に発生させるように筐体１１内にガス供給部４によって放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から気流に乗って筐体１１の外方へ伸びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、放射器１４との間で放電Ｄを発生させてプラズマＰを点火する点火導体５ａを有する点火機構５を備え、放電電極としての点火導体５ａの先端は、放射器１４の先端よりも気流の上流側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】高純度の多価イオンを取り出すことができるイオン源を提供する。
【解決手段】イオン源１０は、レーザ１３が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ１４を生成するターゲット１２と、このターゲット１２の電位を陽イオンの出射目標（加速チャンネル１８）よりも高く設定する第１電源（第１電圧Ｅ₁）と、この陽イオンがターゲット１２から出射目標（加速チャンネル１８）に至る経路上（フィルタ電極１５）の電位をターゲット１２の電位よりも高く設定する第２電源（第２電圧Ｅ₂）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】元の線材の電気容量及び線材面積を減らすことなく、半田付けや圧着端子等のコネクター類端末処理をスムーズに行うことが出来るようにした電
子反応方法とその装置及びその製品を作ること。
【解決手段】理想は大気中で大気プラズマガスラジカル反応を応用して絶縁被膜を剥離灰化することだが、勿論真空中においてもより可能なのでその方法と装置で商品化したものを技術革新したい。 （もっと読む）

【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、あるいは、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することができるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、全体としてコイルをなす銅棒３が、石英ブロック４に接合された石英管１２内に配置され、石英ブロック４は、石英管１２及び石英管１５内を流れる水によって冷却される。誘導結合型プラズマトーチユニットＴの最下部にプラズマ噴出口８が設けられる。長尺チャンバのチャンバ内部空間７にガスを供給しつつ、銅棒３に高周波電力を供給して、長尺チャンバのチャンバ内部空間７にプラズマを発生させ、基材２に照射する。 （もっと読む）

【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、或いは、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】誘導結合型プラズマトーチユニットＴにおいて、ソレノイドコイル３及び石英管１５が石英ブロック４に接合され、石英ブロック４は、ソレノイドコイル３及び石英管１５内を流れる水によって冷却される。誘導結合型プラズマトーチユニットＴの最下部にプラズマ噴出口８が設けられる。長尺チャンバ内部の空間７にガスを供給しつつ、ソレノイドコイル３に高周波電力を供給して、長尺チャンバ内部の空間７にプラズマを発生させ、基材２に照射する。 （もっと読む）