【課題】被処理体以外の部位への成膜を抑制した大気圧プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置は、誘電体内にアンテナとアースが形成された面放電型の誘電体バリア放電方式のプラズマ源において、被処理体を前記プラズマ源に略接触させ、被処理体に対してプラズマ源を設置した面とは反対の面にプラズマを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波放電装置において、放電空間に対する構造的な制約を増すことなく、大気圧プラズマによって活性化した粒子に流速を付与可能とする。
【解決手段】マイクロ波放電装置１は、マイクロ波を導波する第１および第２の導体２１，２２と、各導体２１，２２の終端部２１ａ，２２ａに形成された放電空間２３と、放電空間２３に生成されるプラズマ中の荷電粒子に作用させる電界を生成する電圧源３とを備えている。プラズマＰは、両導体２１，２２により導波されるマイクロ波によって生成される。電圧源３が印加する電界は、プラズマ中の荷電粒子に電磁気力を作用させて荷電粒子を含む気体の流れを発生させる。電界は、終端部２１ａ，２２ａを電極として印加することができ、放電空間２３に対する構造的な制約を増すことがない。流速を付与された気体中には、プラズマに起因する活性化した粒子が含まれる。 （もっと読む）

【課題】ジェット噴流ノズルの開口周りに騒音低減構造を備えるジェットエンジンにおいて、騒音を低減させつつ燃費の向上を図る。
【解決手段】騒音低減構造１の設置位置に配置されると共に当該騒音低減構造１がおこすジェット噴流の流れ場の変化を助長する体積力を発生するプラズマアクチュエータ７０を備える。 （もっと読む）

【課題】 反応性プラズマエッチング加工など加工時に発生する熱量が大きな局所加工において、被加工物の温度プロファイルが変化し、それに依って単位加工形状が変化する場合においても、高精度かつ低コストで加工を行えるようにする。
【解決手段】 上述の課題を解決するために、
温度測定器（１１１）によって被加工物（１０３）の表面の複数の点の温度を測定することで被加工物の温度プロファイルを計測する工程と、その温度プロファイルと局所加工ツール（１０１）の単位加工形状とに基づき被加工物に対する局所加工ツールの滞留時間分布を算出する工程と、この滞留時間分布に基づき局所加工ツールを制御して被加工物を加工する工程と、を有する局所加工方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波放電装置において、プラズマの自発放電が可能であり、安定持続放電ための放電空間をより自由に設計可能とする。
【解決手段】マイクロストリップ線路の１つの終端にはプラズマを励起する励起用電極３ａを備え、他の終端にはプラズマを安定して生成する放電用電極４ａを備え、放電空間３ｂ，４ｂが形成される。放電空間３ｂは大気圧下でプラズマの自発放電が容易となるように電極３ａ，２ａ間距離が短い。放電空間３ｂ，４ｂは励起用電極３ａに励起された励起用プラズマによって安定放電プラズマが誘発されるように互いに近接配置されている。放電素子２の回路インピーダンスは、プラズマ励起前は励起用電極３ａに電力が流入し、放電用電極４ａにプラズマが誘発されたときは放電用電極４ａに電力が流入するように設定されている。電極の役割分担により、プラズマの自発放電が容易となると共に、安定持続放電ための放電空間をより広くできる。 （もっと読む）

【課題】霧化装置において、効率良く帯電微粒子を生成可能とする。
【解決手段】霧化装置１は、液体を霧化する霧化部２と、マイクロ波によって大気圧プラズマを生成するプラズマ生成部３と、を備える。霧化部２とプラズマ生成部３とは、霧化部２によって生成される霧２ａが滞在する空間とプラズマ生成部３によって生成されるプラズマ３ａが滞在する空間とが互いに重なるように配置する。大気圧プラズマと霧を、それぞれ専用の手段で別個に生成し、互いの共通空間に滞在させるので、それぞれを制御性良く効率的に生成でき、帯電微粒子を効率良く生成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バリや切削くずなどの不要変形部が発生する被処理材料に対して、プラズマ処理、放電処理および衝撃波処理の少なくとも１つを施すことにより、被処理材料の表面を洗浄して、被処理材料表面に対する加工油のぬれ性を向上させ、加工油を薄く均一に塗布して、剪断加工または曲げ加工による金型および被処理材料の摩耗を抑制することができたり、加工後に生じたバリや切削くずなどを除去して、不要変形部の無い高品質な製品を得ることを可能とする加工方法および加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】不要変形部が発生する被処理材料に対して加工を施す加工方法において、前記被処理材料にプラズマ処理、放電処理および衝撃波処理の少なくとも１つを施すことを特徴とする加工方法。 （もっと読む）

【課題】 質量が大きい粒子であってもレーザー航跡場加速法により充分加速することができる粒子加速装置を提供する。
【解決手段】 レーザー航跡場加速法によりミュオンμを加速する粒子加速装置であって、ミュオンμの入射側を基準にプラズマ電子密度が高い高圧ガス３Ｃを噴射させる領域からプラズマ電子密度が低い低圧ガス３Ｄを噴射させる領域に向け、ミュオンμの進行方向に沿って順に高圧ガス噴射領域３Ａおよび低圧ガス噴射領域３Ｂを並設したガスジェット発生装置１００と、高圧および低圧ガス３Ｃ，３Ｄをプラズマ化するレーザー光Ｌを照射するためのレーザー装置１と、ミュオンμの進行方向にレーザー装置１から照射するレーザー光Ｌの光軸が一致するようにレーザー光Ｌの光路を調整するミラー２とを有する。 （もっと読む）

【課題】活性種の生成量を増やすとともに、プラズマの発生を安定化させることで活性種の生成量を安定化させるプラズマ発生装置及びプラズマ発生方法の提供。
【解決手段】対向面に誘電体膜２１ａ、２２ａを設けた一対の電極２１、２２を有するプラズマ電極部を備え、一対の電極２１、２２間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものにおいて、一対の電極２１、２２の対応する箇所にそれぞれ流体流通孔２１ｂ、２２ｂを設けてこれらが貫通するように構成するとともに、一対の電極２１、２２を保持する筐体２５を備え、筐体２５が、一対の電極２１、２２により形成される側辺開口２Ｍの少なくとも一部を開放して、誘電体膜２１ａ、２２ａの乾燥性能を向上させる。 （もっと読む）

【課題】気体中において安定してオゾンやラジカル等を生成し、その生成されたオゾンやラジカル等をこれらが消滅する前に微細な気泡として液体中へ拡散させるプラズマ発生装置と洗浄浄化装置等を提供する。
【解決手段】円筒状の多孔質セラミックス部材６の内側の領域１４に線状電極２１が配設され、多孔質セラミックス部材６の液体に臨む外側表面６ａ上に円筒状電極２２が配設されている。円筒状電極２２は、多孔質セラミックス部材６の液体に臨む外側表面６ａに密着するように形成されている。また、円筒状電極２２は、多孔質セラミックス部材６の微細孔を塞がないように網目状に形成されている。微細孔の開口端では、開口端縁から開口部内へ向って突出する部分が形成される。 （もっと読む）