【課題】ピンチングにより高エネルギーのプラズマ・電子ビームを発生できるプラズマ・電子ビーム発生装置、薄膜製造装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造装置は、パルス生成器２でパルストリガーが付与される予備室１と、予備室１の下流域に取り付けられ、かつ高電圧が印加され、真空下及び減圧下でプラズマを発生させる中空カソード４と、中空カソードから延びるキャピラリー状放電管３と、前記電圧を印加する印加手段６と、前記放電管３を収容する真空チャンバー７と、真空手段８と、放電管３からのプラズマ・電子ビームが照射されるターゲット９と、ターゲットの構成元素を蒸着させるための基板１０とを備えている。さらに、前記放電管３をアノードと同電位に接地するためのアース手段１１を備え、前記放電管３は、比誘電率が３．５以上を越え、二次電子放電係数γが１以上であり、かつ沿面放電によりプラズマを発生可能な材料で形成されている。この装置は、基板に硬質炭素膜などを形成するのに有用である。 （もっと読む）

【課題】微粉炭着火用としてプラズマトーチを具備する微粉炭バーナに於いて、安定した着火性能が得られる様にした。
【解決手段】ノズル本体６の内部に該ノズル本体と同心に内筒ノズル９が設けられ、該内筒ノズルと前記ノズル本体との間に円筒状の燃料導通空間１０が形成され、該燃料導通空間を介して微粉炭混合流１４が噴出され、前記ノズル本体の先端部を囲繞する様に二次空気調整装置７が設けられ、該二次空気調整装置を介して前記ノズル本体の周囲より二次空気１６が噴出される微粉炭バーナ５であり、前記内筒ノズルの中心にプラズマトーチ１１を備え、該プラズマトーチは前記ノズル本体の前方にプラズマ２７を形成し、前記ノズル本体より噴出された微粉炭混合流は前記プラズマと交差する。 （もっと読む）

【課題】高温ガスの流量及び温度の制御範囲を拡大できるようにする。
【解決手段】高温ガスを生成するためのプラズマガス生成装置であって、内管２の先端に設けられ中心に陰極開口７を有する陰極３と、陰極３の後方に接触配置されて陰極３に電子を供給する浮遊電極４と、内管２と浮遊電極４との間を介して陰極開口７に陰極ガス５を導く陰極ガス流路６と、陰極３及び内管２の外側に設けられ陰極開口７の下流に陽極開口１１を有する陽極８と、内管２と陽極８との間を介して陽極開口１１に陽極ガス９を供給する陽極ガス流路１０と、陽極８の外側に設けた外側部材１２と、外側部材１２と陽極８との間を介して希釈ガス供給装置１３からの希釈ガス１４を供給する希釈ガス流路１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】誘導プラズマを安定化させ、有機ハロゲン化合物の安定した分解が可能な有機ハロゲン化合物の分解装置を提供する。
【解決手段】放電管１３内に供給した有機ハロゲン化合物を誘導プラズマを用いて分解する分解装置１０は、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が内周面に形成された第１のガス吹込みリング１９と、第１のガス吹込みリング１９の上方に配置され、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔２０が内周面に形成された第２のガス吹込みリング２１と、第２のガス吹込みリング２１の上方に配置され第２のガス吹込みリング２１の上端をシールすると共に、第２のガス吹込みリング２１内を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２を備えたシール部材２３とを有する。 （もっと読む）

本発明は、装置（１０）から放出されるガスプラズマ柱の形でのガスプラズマの流れであろう非熱性ガスプラズマを発生させるための装置（１０）を提供する。この装置は、加圧下で（単一または複数の）ガス（１４）を保持するためのガスカプセル、すなわち圧力容器（１２）を有し、またそのカプセルは、カプセルから放出されるときにプラズマ発生器（１６）を介してアプリケーター（１８）へのガスの流れを形成するためのものである。ガスカプセルから放出されたガスはプラズマ発生器において活性化され、それによりガスプラズマが形成される。装置は、プラズマ発生器（１６）、電池（１１６）およびプラズマ発生器を活性化するための信号発生器（５８）のためのハウジング（２８）を有する。ガスカプセル（１２）はハウジング（２８）に装着される。装置は、（典型的にはガスカプセル（１２）によって）手で持つように改造され、そして例えば歯の清掃や白化のために用いられるように操作される。 （もっと読む）

【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することのできる熱プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】内部に不活性ガス５を流す熱プラズマノズル１と基材２との間に配置されたノズルカバー７に線状スリット９が設けられ、熱プラズマノズルに電力を供給して、噴出口Ｆから熱プラズマジェット１０を発生させ、線状スリット９を通過したエネルギー束が基材２の表面に作用し、基材２の表面近傍１１を熱処理する。 （もっと読む）

本発明は、排気することができ、基材３を配置することができる加工室２を含み、且つプロセス・ガスを加熱することによってプラズマ・ビーム５を生成するためのプラズマ・バーナ４を含む、基材３を表面被覆又は表面処理するためのプラズマ被覆システムに関する。プラズマ・バーナ４は、プラズマ・ビーム５がプラズマ・バーナ４から出て行くことができ、加工室２の長手方向軸線Ａに沿って延びるノズル４１を有している。ノズル４１の下流には、機械的制限装置１２が、加工室２内に備えられ、長手方向軸線Ａに沿って延在して、好ましくない粒子の側方浸入からプラズマ・ビーム５を保護している。本発明は、さらに、これに対応する方法に関する。
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【課題】炭素を含むプラズマ作動ガスを用い、カソード表面に炭素が堆積した場合であっても、長期間に亘って安定したプラズマ放電が得られ、また、カソードの劣化を抑制することが可能な、溶接部品質に優れた電縫鋼管の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、陰極点が生成される部位であるカソード先端部２１ａが炭素からなるカソード２１が備えられ、該カソード２１とアノード２３との間にカスケード２２が配設されてなるカスケード型のプラズマトーチ２０を用い、少なくともＣＯ_２ガス及びＣＨ_４ガスを含む混合ガスからなり、これらの合計流量が、プラズマトーチ２０のアノード２３の内径Ｄにおける単位面積あたりで、０．２（ｌｐｍ／ｍｍ^２）超０．８（ｌｐｍ／ｍｍ^２）とされた条件のプラズマ作動ガスを用いて、鋼板の突合せ端面に向けてプラズマジェットを噴射しながら、前記突合せ端面を電縫溶接する。 （もっと読む）

パルスプラズマ生成のためのカソード組立体および方法が開示される。カソード組立体は、長手方向に位置合わせされ、好ましくは、同径であり、長さの異なる複数のカソード（１０、２０、３０）に接続されたカソードホルダー（２）を備える。方法は、所定の大きさのＤＣ電流を通すことにより組立体の中のカソード（１０、２０、３０）とアノード（４）との間に電気アークを形成することによって特徴付けられる。アークが作られると、電流は電気アークを持続するために十分な大きさまたは僅かに大きい大きさに低減され、それによって、アークアタッチメントの領域を単一のカソードに縮小する。アタッチメントの領域が縮小されると、電流はパルスの動作レベルまで増加されるが、アタッチメントの領域は著しく増大しない。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いた接合時にワークに生じる熱ひずみを低減して、高品質な接合を実施する。
【解決手段】プラズマ溶接時、プラズマトーチの中心軸を挟んで対峙する位置から、ワーク１に向けてシールドガス５を噴射供給し、溶接電極の側からワーク１に向けて供給されたプラズマガス４のワーク１上での拡散を規制する。同時に、その拡散を規制されたプラズマガス４の一部を、シールドガス５の対峙供給方向と直交する溶接進行方向に沿って逃がすようにする。 （もっと読む）