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国際特許分類[H05H1/46]の内容

電気 (1,674,590) | 他に分類されない電気技術 (122,472) | プラズマ技術 (5,423) | プラズマの生成;プラズマの取扱い (4,622) | プラズマの発生 (4,176) | 電磁界を用いるもの,例.高周波またはマイクロ波エネルギー (2,260)

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【課題】シャワープレート上部に設置された誘電体窓の温度を制御することにより、シャワープレートの温度変動を抑制し、固定時間でのプラズマ加熱によるシーズニングを行うことがを可能にする。
【解決手段】シャワープレートと誘電体窓間に形成された空隙および前記貫通孔を介して処理ガスが供給される真空容器と、前記真空処理容器に高周波エネルギーを供給して、磁界との相互作用によりプラズマを生成するプラズマ生成装置と、真空容器内を目標温度範囲に制御する制御装置を備え、前記制御装置は、処理停止期間中においてプラズマ処理を開始するに際して、予め定めた、シャワープレートを制御範囲の中央Tbから上限Tdまで昇温するに要する時間よりも短い固定時間、プラズマを生成して前記誘電体窓およびシャワープレートを前記制御装置による目標温度制御範囲まで加熱する。 (もっと読む)


【課題】紫外線の膜へのダメージ量の正確な予測が行えるようにするシミュレーション方法を提供する。
【解決手段】可視領域の発光スペクトルに関連付けした、紫外領域の各波長の発光強度の予測式を、多変量解析によって算出し、算出した予測式と、実際に検出された可視領域の発光スペクトルと、を用いて、紫外領域の発光スペクトルを予測し、予測した紫外領域の発光スペクトルから、半導体装置の製造における、紫外線によるダメージ量を予測するシミュレーション方法を実行する。 (もっと読む)


【課題】照射されるイオンに金属不純物の混入することのない荷電粒子引出照射機構を提供する。
【解決手段】誘導結合プラズマ型のプラズマ発生手段により、プラズマ生成室200内に誘導結合プラズマを励起し、被処理体120にイオンでプラズマ処理を施す荷電粒子引出照射機構1であって、誘導結合プラズマから被処理体に向けて、誘導結合プラズマを引出し制御する複数の多孔電極10、20、30、40が、相互に離隔して平行に配置されており、かつ、全ての多孔電極がカーボン材料で構成されている。 (もっと読む)


【課題】アーキングへの感度が増加されないが積載量の調和(load matching)が改善されているところの、プレアンブルに従う装置を提供する。
【解決手段】主に円筒状である共鳴体2を備えているプラズマ化学蒸着法を行うための装置であって、該共鳴体は、円筒軸Cに関して実質的に回転対称な形状を有する共鳴空洞5を取り囲む、外側円筒状壁4を備えており、該共鳴体は向き合う円筒軸方向において共鳴空洞の境界を定める複数の側壁部分をさらに備えている該装置において、該装置は、該外側円筒状壁を通って共鳴空洞へと延在している端を有するマイクロ波のガイド3をさらに備えており、かつ円筒方向における共鳴空洞の長さは円筒軸までの半径方向の距離の関数として変化する。 (もっと読む)


【課題】 一つの低圧チャンバー内で、基材の表面の改質と該表面への成膜とを連続して行うことができるプラズマ改質成膜装置を提供する。
【解決手段】 プラズマ改質成膜装置1は、チャンバー10と、基材Fを搬送する搬送手段20、200、201と、基材Fの表面を改質するECRプラズマ生成装置3と、基材Fの該表面に薄膜を形成する成膜装置6と、を備える。ECRプラズマ生成装置3は、マイクロ波を伝送する矩形導波管31と、該マイクロ波が通過するスロット320を有するスロットアンテナ32と、スロット320を覆うように配置され、プラズマ生成領域側の表面330はスロット320から入射する該マイクロ波の入射方向に平行である誘電体部33と、誘電体部33の裏面に配置される支持板34と、支持板34の裏面に配置される永久磁石35と、を備え、ECRプラズマP1を生成する。 (もっと読む)


【課題】プラズマの逆流を抑制して冷却板の損傷を防ぐことができるとともに、被処理基板に面内均一なプラズマ処理を行わせることができるプラズマ処理装置用電極板を提供する。
【解決手段】電極板3は、プラズマ処理装置1内においてウエハ8(被処理基板)と対向配置されるプラズマ処理装置用電極板であって、厚さ方向に貫通する通気孔11が複数設けられてなり、その通気孔11は、ウエハ8と対向する放電面30a側に、厚さ方向に対して斜めに形成された傾斜孔部21を有し、放電面30aには、傾斜孔部21の開口端部を切り欠く凹部23が形成されており、傾斜孔部21の傾斜方向に沿う断面において、その傾斜孔部21の180°対向する二つの周縁21A,21Bと傾斜孔部21に交差する凹部23の切欠面24とのなす角度が、両周縁部で同じ角度に設定されている。 (もっと読む)


【課題】所望厚さの被膜を形成する。
【解決手段】直流電源装置1がその一次巻線2に接続されるフライバック変圧器と、フライバック変圧器と直流電源装置に接続される第1半導体スイッチング素子4と、二次巻線3に接続されるダイオード5と、ダイオードに接続するコンデンサ6及び第2半導体スイッチング素子7と、第2半導体スイッチング素子に接続され、回転手段9に連結されて回転駆動する被覆材電極10と、コンデンサの他端に接続され、また被覆材電極に接触することで電気的に導通する被金属加工体11と、第1半導体スイッチング素子、コンデンサ、第2半導体スイッチング素子に制御パルスを印加する制御装置12と、を備える。コンデンサの電圧と所定値とを比較して第1半導体スイッチング素子に対してオン・オフ制御を行い、また第2半導体スイッチング素子に対する印加動作制御をパルス信号の印加終了後に行うことで、火花放電被覆を実現する。 (もっと読む)


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