【課題】パルス化された電力を負荷に供給するためのパルス電力システムを提供する。
【解決手段】パルス電力システムは、電流源(43)とプラズマ開放スイッチ(44)とを含む誘導性エネルギー蓄積回路(42)を有する。このプラズマ開放スイッチは、負荷(41)に電流源を接続する伝送線(51,52)を有する。プラズマ開放スイッチにおけるプラズマ放電が第１の領域(45)から第２の領域へ伝送線に沿って負荷の方向へ磁気力によって駆動されるときに、このプラズマ開放スイッチは閉止状態から開放状態に切り替わる。誘導性エネルギー蓄積回路の充電時に第１の領域においてプラズマ放電を磁気的にラッチするために第１の領域に安定化磁界構成を与えるように、電気導体(47,48)が配置されており、電流源から負荷へ伝送線に沿って流れる電流は、安定化磁界構成を分断し、プラズマ放電を第１の領域からラッチ解除し、このプラズマ放電を第２の領域の方へ駆動する。 （もっと読む）

【課題】 被処理物の特定の部分にのみプラズマ処理を行いやすく、しかも被処理物を連続的に処理することができて処理時間を短くすることができるプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】 外側電極１を備えた筒状の反応管２、及び反応管２の内部に配置される内側電極３を具備して構成される。外側電極１と内側電極３の少なくとも一方に冷却手段を設けて構成される。反応管２に不活性ガスまたは不活性ガスと反応ガスの混合気体を導入すると共に外側電極１と内側電極３の間に交流電界を印加することにより大気圧下で反応管２の内部にグロー放電を発生させ、反応管２からプラズマジェット６５を吹き出すプラズマ処理装置。プラズマジェット６５が吹き出される位置に被処理物７を搬送する搬送装置２３とを備える。大気圧下で周波数の高い交流でプラズマを生成しても、外側電極１あるいは内側電極３の温度上昇を抑えることができる。 （もっと読む）