圧力過度現象試験装置

【課題】動的破壊力学において、破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊に至る過程を精密かつ、細かく事象をとらえる圧力過渡現象試験装置を提供する。
【解決手段】試料１０５に圧力を加えるときに、レーザー距離測定装置１０７にてピストンロッド１０４の伸長を測定することで加速度を精密に計測できる。従来の圧力破壊試験においては細かな数値をもちいるようなことはなかった。そこで、正確かつ精密な試験データを掲示できることであたらな分野を開拓できる。半導体の製造にスパッタリング装置がある、免震機構を装備しており、正確な露光が可能であることを本発明に適用した。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力試験装置に関する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
従来、試料（材料）に圧力を加えて座屈や破壊試験を行う測定において、試料にかかる圧力を測定しながら、試料にひずみセンサー（ひずみゲージ）などを付与して試験データを得ていた。しかし、試料のひずみと圧力を加える方向の伸長には関連性を得たためしがない。圧力を加える方向の伸長を精密に測定すれば、ひずみとの関連性が導きだされて、より細かい事象の座屈や破壊試験を行うことができる。試料に圧力を加えることで、破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊を経るが、それに至る過程を細かくとらえられていなかった。
【発明の効果】
【０００３】
圧力を加える方向の伸長を精密に測定すれば、試料のひずみとの関連性が導きだされて、試料のより細かい事象の座屈や破壊試験を行うことができて、強度設計や構造設計に適用できるような試験データを得ることができる。また、圧力を加える経過時間とともに伸長を精密に測定すれば、圧力を加える加速度から、試料の座屈や破壊に至る時間を正確に予測するようなことが応用可能であって、試料の信頼性を数値化できる。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】圧力過度現象試験装置の側面図の概要
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
なし
【実施例】
【０００６】
本発明は、試料の信頼性を測定する分野で適用可能である。ＡＳＴＭ（米国試験材料学会）の発表する信頼性における評価を、より高精度に行える。日本近海のプレート表層の岩石類を本発明の測定装置にかけることで、地震発生のしくみの解析や、予知・予測がより正確に行える可能性がある。試料に圧力を加えるときに、レーザー距離測定装置にてピストンロッドの伸長を測定する。レーザー距離測定装置はナノメートルレベルでの測定を可能とし、試料にひずみセンサーを付与しながら測定することで、試料の座屈や破壊段階でのこまかい事象を数値化でき、より詳細な測定ができる。圧力を加える加速度を算出するにあたり、原子時計を併用するなどして、より細かな時間と加速度を算出することも応用できる。
【符号の説明】
【０００７】

１００圧力ゲージ
１０１ばね
１０２免震機構
１０３油圧シリンダー
１０４ピストンロッド
１０５試料
１０６反射板兼押板
１０７レーザー距離測定装置（レーザー干渉計）

【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を加圧するときにピストンロッドの伸長を測定して、免震機構の上で稼動する圧力過度現象試験装置。

【図１】