搬送装置
【課題】 搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送するときに、被搬送物が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合でも、簡易な構成で位置ずれを解消して、所定の位置に被搬送物を搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 下地板２を搬送レール３で支持した状態で、下地板２の受渡しが行われる受渡し部４に向けて、搬送レール３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送する。このとき、搬送レール３は、下地板２を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レール３１と、搬送方向下流側に配設される第２搬送レール３２とで構成されている。そして、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能に構成されている。
【解決手段】 下地板２を搬送レール３で支持した状態で、下地板２の受渡しが行われる受渡し部４に向けて、搬送レール３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送する。このとき、搬送レール３は、下地板２を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レール３１と、搬送方向下流側に配設される第２搬送レール３２とで構成されている。そして、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能に構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被搬送物である搬送台を、搬送レールの延在方向に沿って走行させて、搬送台を搬送する搬送装置が、たとえば特許文献１に開示されている。図９は、従来技術の搬送装置５１において、下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、搬送レール５３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。この搬送装置５１は、特許文献１に開示される搬送装置を適用したものである。
【０００３】
搬送装置５１においては、下地板５２は板状に形成されており、搬送レール５３は、下地板５２の厚み方向一方の面を鉛直方向下方から上方に向けて支持する。このように下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、所定の受渡し部５４に向けて、搬送レール５３の矢符Ａで示される延在方向に沿って下地板５２を走行させて搬送する。搬送レール５３で支持された状態で搬送される下地板５２は、走行時に搬送レール５３との間に発生する摩擦によって、搬送レール５３で支持された面が摩耗する。このように下地板５２の搬送レール５３で支持された面が摩耗すると、下地板５２は、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、搬送レール５３に支持されることになる。そうすると、下地板５２が受渡し部５４の所定の位置に正確に搬送されなくなる。
【０００４】
以上のような位置ずれの問題を解決する搬送装置が、たとえば特許文献２に開示されている。特許文献２に開示される搬送装置では、検出手段が、被搬送物を搬送する搬送部と、被搬送物の受渡しが行われる部位との位置ずれを検出する。そして、検出手段が出力する検出結果に基づいて、搬送部と受渡し部位とが、位置ずれが解消するように相対移動する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３２４０４号公報
【特許文献２】特開２００６−３２５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
下地板５２の搬送レール５３で支持された面が摩耗して、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、下地板５２が搬送レール５３に支持されるような場合であっても、特許文献２に開示される検出手段を適用することによって、位置ずれを解消することができる。しかしながら、位置ずれを検出する検出手段と、検出結果に基づいて位置ずれが解消するような制御を行うように構成される制御機構とが必要となり、搬送装置が複雑化してしまうという問題が生じる。
【０００７】
したがって本発明の目的は、搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送するときに、被搬送物が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、簡易な構成で位置ずれを解消して、所定の位置に被搬送物を搬送することが可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとで構成され、
前記第２搬送レールは、前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置である。
【０００９】
また本発明は、前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きいことを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置に配設されることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
前記第１搬送レールと接続される接続位置で低く、搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する斜面部と、
前記斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する平坦部とを含んで構成されることを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有することを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部を有することを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、前記第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有することを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとが接続される接続位置には、下地板を前記第１搬送レールから前記第２搬送レールに向けて案内する案内部材が配置され、
前記案内部材は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する部材斜面部を含んで構成されることを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とで構成され、
前記第２搬送レール部は、前記第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、板状に形成される下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する。このとき、搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとに分割されている。そして、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されている。第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。そのため、複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、摩耗量に対応した位置ずれを解消して、所定の受渡し部に下地板を搬送することができる。
【００１８】
また本発明によれば、第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きい。そのため、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能となる。したがって、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。
【００１９】
また本発明によれば、第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成されて、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置に配設される。そのため、第２搬送レールは、支持面の幅が同じであるにもかかわらず、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能となる。したがって、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。
【００２０】
また本発明によれば、第２搬送レールは、斜面部と平坦部とを含んで構成される。斜面部は、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置で低く、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、斜面部の傾斜面に案内されて、第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２１】
そして、平坦部は、斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する。そのため、斜面部に案内されて平坦部に移動してきた下地板は、第１搬送レールの支持面と同等位置で、平坦部によって支持される。したがって、下地板は、平坦部から所定の受渡し部に向けてスムーズに移動することができる。
【００２２】
また本発明によれば、第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールの幅変化部上を走行する下地板は、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００２３】
また本発明によれば、第２搬送レールの位置変化部は、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールの位置変化部上を走行する下地板は、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００２４】
また本発明によれば、下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、傾斜部に案内されて第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２５】
また本発明によれば、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置には、案内部材が配置され、該案内部材は、部材斜面部を含んで構成される。部材斜面部は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、部材斜面部の傾斜面に案内されて、第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２６】
また本発明によれば、板状に形成される下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する。このとき、搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とが連続している。そして、第２搬送レール部は、第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されている。第１搬送レール部の延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール部は、第１搬送レール部に対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。そのため、複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、摩耗量に対応した位置ずれを解消して、所定の受渡し部に下地板を搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は、本発明の第１実施形態である搬送装置１の構成を示す図である。図１（ａ）は搬送装置１の構成を示す上面図であり、図１（ｂ）は側面図である。搬送装置１は、金属または半導体から成る固体原料が溶融された融液から薄板状の基板を製造する基板製造装置に用いられる。基板製造装置では、搬送装置１によって搬送された下地板２を融液に浸漬して、下地板２の表面に結晶を凝固成長させて薄板状の基板を製造する。このような基板製造装置においては、高温雰囲気下であるとともに、純度および結晶性において質の高い結晶を成長させるために、水分などの不純成分の含有量が極めて少ない高純度の不活性ガスであるアルゴンガスなどで装置内を充填している。そのため、基板製造装置に用いられる搬送装置１においても、その設置環境は、２００〜２５０℃の高温雰囲気であるとともに、高純度のアルゴンガスなどで充填された環境である。
【００２８】
搬送装置１は、下地板２と、搬送レール３と、受渡し部４とを含んで構成される。搬送装置１は、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、受渡し部４に向けて、水平方向に延びる搬送レール３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送する。
【００２９】
下地板２は、前述のように、凝固成長された結晶から成る薄板状の基板を製造するときの下地となる。下地板２は、板状に形成される板状部２ａと、断面が台形に形成される突出部２ｂとを有する。下地板２は、板状部２ａの厚み方向一方の面に突出部２ｂが接続された構造となっている。板状部２ａの厚み方向両面のうち、突出部２ｂが接続された面である下面が、後述する搬送レール３に支持される面となり、他方の面が、結晶が凝固成長される面となる。突出部２ｂは、後述する受渡し部４が有するあり溝部４ｂと嵌合する部位である。また、下地板２を構成する材料は、前述した融液に混交するコンタミネーションを防ぐような材料から選ばれる必要があり、本実施の形態ではカーボンが選ばれる。下地板２は、搬送レール３に支持された状態で、所定の受渡し部４に向けて、搬送レール３の延在方向に沿って走行して搬送される。
【００３０】
受渡し部４は、後述する搬送レール３に支持された状態で搬送される下地板２の受渡しが行われる部位である。受渡し部４は、搬送レール３に支持された状態で搬送されてきた下地板２を、後工程である結晶成長処理を行う処理部へと水平方向および鉛直方向に移動して運搬する。受渡し部４は、支持部４ａとあり溝部４ｂとを有する。支持部４ａは、搬送レール３上を走行して搬送された下地板２の下面を支持する。受渡し部４は、支持部４ａの下地板２を支持する支持面が、搬送レール３の下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。あり溝部４ｂは、支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して凹んだ凹所となって、下地板２の突出部２ｂと嵌合可能に形成されている。
【００３１】
搬送レール３は、受渡し部４に向けて水平方向に延びる一対のレールであり、下地板２の厚み方向一方の面を支持した状態で、搬送される下地板２を受渡し部４に案内する。搬送レール３を構成する材料は、前述した下地板２と同様に、融液に混交するコンタミネーションを防ぐような材料から選ばれる必要があり、本実施の形態ではカーボンが選ばれる。搬送レール３は、第１搬送レール３１と第２搬送レール３２とを有する。第１搬送レール３１は、下地板２を支持する支持面が、受渡し部４の支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。第１搬送レール３１は、下地板２が搬送される搬送方向Ａの上流側に配設されて、下地板２を支持した状態で、搬送される下地板２を第２搬送レール３２に向けて案内する。
【００３２】
図２は、搬送装置１において、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、搬送レール３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。図２（ａ）は下地板２を走行させる様子を側面側から見た図であり、図２（ｂ）は正面側から見た図である。第１搬送レール３１で支持された状態で搬送される下地板２の下面は、走行時に第１搬送レール３１との間に発生する摩擦によって、第１搬送レール３１との接触位置が摩耗して、摩耗部２ｃが形成される。このとき、搬送装置１の設置環境は、前述したように、高温雰囲気であるとともに、水分が少ない高純度のアルゴンガスなどで充填された環境であるので、より摩耗しやすい。このように、下地板２の下面が第１搬送レール３１との接触位置において摩耗して摩耗部２ｃが形成されると、下地板２は、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、第１搬送レール３１に支持されることになる。このように摩耗部２ｃが形成された下地板２は、第２搬送レール３２に向けて搬送される。
【００３３】
第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して下地板２が搬送される搬送方向Ａの下流側に配設されて、受渡し部４に向けて延びる。搬送装置１においては、第２搬送レール３２の下地板２を支持する支持面の幅Ｗ２は、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅Ｗ１よりも大きくなるように設定されている。これによって、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能となる。そのため、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１上を走行時に摩耗部２ｃが形成された下地板２を、摩耗部２ｃとは異なる位置で支持することができ、摩耗量に対応した位置ずれを解消して搬送することができる。このとき、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置に配設してもよく、ずれていない位置に配設してもよい。
【００３４】
また、第２搬送レール３２は、斜面部３２ａと平坦部３２ｂとを有する。斜面部３２ａは、第１搬送レール３１と第２搬送レール３２とが接続される接続位置で低く、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有するように形成される。斜面部３２ａは、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さＬ１と、鉛直方向の長さＬ２とにおいて、長さＬ１に対する長さＬ２の割合（Ｌ２／Ｌ１）が、１／２以下、好ましくは１／２００〜１／２の範囲となるように設定される。これによって、第１搬送レール３１上を走行時に摩耗部２ｃが形成された下地板２は、摩耗部２ｃに対して幅手方向にずれた位置で斜面部３２ａに支持されながら案内されて、第２搬送レール３２が有する平坦部３２ｂに向けてスムーズに移動することができる。
【００３５】
平坦部３２ｂは、斜面部３２ａの傾斜上端部から搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有するように形成される。平坦部３２ｂは、斜面部３２ａに支持されながら案内された下地板２を、摩耗部２ｃに対して幅手方向にずれた位置で支持する。また、平坦部３２ｂの下地板２を支持する支持面が、第１搬送レール３１および受渡し部４が有する支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。そのため、平坦部３２ｂで支持された下地板２は、摩耗量に対応した鉛直方向の位置ずれが解消された状態で、受渡し部４に向けて搬送されることになる。このように、位置ずれが解消された状態で受渡し部４に下地板２が搬送されると、下地板２の突出部２ｂと、受渡し部４のあり溝部４ｂとが正確に嵌合することができる。
【００３６】
以上のように、搬送装置１では、摩耗量に対応した位置ずれを解消するような複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、位置ずれを解消する。また、搬送装置１においては、下地板２が繰返し搬送レール３上を走行される場合であっても、下地板２を搬送レール３上を走行させて搬送する毎に、毎回位置ずれが解消するように制御する必要がなく、搬送効率が低下することを抑制することができる。
【００３７】
また、第２搬送レール３２上を受渡し部４に向けて走行することで、下地板２の下面が第２搬送レール３２との接触位置で摩耗してしまい、第２搬送レール３２上でも鉛直方向の位置ずれが発生してしまう可能性がある。このような第２搬送レール３２上での位置ずれを防止するために、第２搬送レール３２の搬送方向Ａに延びる長さＸ３を、第１搬送レール３１の搬送方向Ａに延びる長さＸ２よりも短く設定し、第２搬送レール３２による摩耗を減らす。このとき、下地板２の摩耗を考慮すると、第２搬送レール３２の長さＸ３は、できる限り短く設定するのがよいが、本実施の形態では、下地板２の搬送方向Ａに延びる長さＸ１とほぼ同じになるように設定する。これは、斜面部３２ａに支持されながら案内されて移動してきた下地板２が、平坦部３２ｂにおいて確実に、水平方向に平行な状態で支持されるようにするためである。
【００３８】
図３は、本発明の第２実施形態である搬送装置１０の構成を示す図である。搬送装置１０は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１０においては、搬送レール３０が有する第２搬送レール３３が特徴的である。第２搬送レール３３は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様に、斜面部３３ａと平坦部３３ｂとを有するが、第２搬送レール３３においては、第２搬送レール３３の下地板２を支持する支持面の幅は、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同じになるように設定されている。そして、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置に配設される。そのため、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能となる。したがって、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板２を支持することができる。
【００３９】
図４は、本発明の第３実施形態である搬送装置１１の構成を示す図である。搬送装置１１は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１１においては、搬送レール３４が有する第２搬送レール３８が特徴的である。第２搬送レール３８は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２のような斜面部を有さない。そして、第２搬送レール３８は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール３１と接続される接続位置で第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部３８ａを有する。本実施の形態では、幅変化部３８ａは、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に大きくなるように形成されている。
【００４０】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３８の幅変化部３８ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００４１】
図５は、本発明の第４実施形態である搬送装置１２の構成を示す図である。搬送装置１２は、前述した搬送装置１０に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１２においては、搬送レール３５が有する第２搬送レール３９が特徴的である。第２搬送レール３９は、搬送装置１０が有する第２搬送レール３３のような斜面部を有さない。そして、第２搬送レール３９は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部３９ａを有する。
【００４２】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３９の位置変化部３９ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００４３】
図６は、本発明の第５実施形態である搬送装置１３の構成を示す図である。搬送装置１３は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１３においては、搬送レール３６が有する第２搬送レール４０および下地板２０が特徴的である。第２搬送レール４０は、斜面部を有さない以外は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様である。そして、下地板２０は、板状に形成される板状部２０ａと、断面が台形に形成される突出部２０ｂとを有する。ここで、下地板２０は、板状部２０ａに傾斜部２０ｃが形成されている以外は、搬送装置１が有する下地板２と同様である。傾斜部２０ｃは、板状部２０ａの周縁部のうち搬送方向先端部に位置する部分である。そして、傾斜部２０ｃは、第１搬送レール３１および第２搬送レール４０に支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成されている。このとき、傾斜部２０ｃにおいては、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さと鉛直方向の長さとは、搬送装置１が有する第２搬送レール３２の斜面部３２ａと同様にして設定される。
【００４４】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２０を走行させて搬送するときに下地板２０が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板２０は、傾斜部２０ｃに案内されて第１搬送レール３１から第２搬送レール４０に向けてスムーズに移動することができる。
【００４５】
図７は、本発明の第６実施形態である搬送装置１４の構成を示す図である。搬送装置１４は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１４の第２搬送レール４０は、斜面部を有さない以外は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様である。そして、搬送装置１４においては、第１搬送レール３１と第２搬送レール４０とが接続される接続位置には、下地板２を第１搬送レール３１から第２搬送レール４０に向けて案内する案内部材４１が配置される。案内部材４１は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置に配置され、搬送方向Ａに延びて第２搬送レール４０に接続される。そして、案内部材４１は、部材斜面部４１ａと部材平坦部４１ｂとを有する。
【００４６】
部材斜面部４１ａは、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って第２搬送レール４０の下地板２を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有するように形成される。このとき、部材斜面部４１ａにおいては、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さと鉛直方向の長さとは、搬送装置１が有する第２搬送レール３２の斜面部３２ａと同様にして設定される。そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板２は、部材斜面部４１ａの傾斜面に案内されて、部材平坦部４１ｂに向けてスムーズに移動することができる。
【００４７】
部材平坦部４１ｂは、部材斜面部４１ａの傾斜上端部から搬送方向に向って第２搬送レール４０の下地板２を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有するように形成されて、第２搬送レール４０に接続される。そのため、部材斜面部４１ａに案内されて部材平坦部４１ｂに移動してきた下地板２は、第２搬送レール４０の支持面と同等位置で、部材平坦部４１ｂによって支持される。したがって、下地板２は、部材平坦部４１ｂから第２搬送レール４０に向けてスムーズに移動するとともに、第２搬送レール４０から所定の受渡し部４に向けてスムーズに移動することができる。
【００４８】
図８は、本発明の第７実施形態である搬送装置１５の構成を示す図である。搬送装置１５は、前述した搬送装置１１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１５においては、搬送レール４２が特徴的である。搬送レール４２は、搬送装置１１が有する搬送レール３４のように２つの搬送レールに分割されていない。搬送レール４２は、搬送方向Ａ上流側の領域に位置する第１搬送レール部４３と、搬送方向Ａ下流側の領域に位置する第２搬送レール部４４とを有する。そして、第２搬送レール部４４は、第１搬送レール部４３に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能に構成されている。搬送装置１５においては、第１搬送レール部４３が搬送装置１１における第１搬送レール３１の役割を担い、第２搬送レール部４４が搬送装置１１における第２搬送レール３８の役割を担う。
【００４９】
本実施の形態では、第２搬送レール部４４は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール部４３と接続される接続位置で第１搬送レール部４３の下地板２を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向Ａに向って第１搬送レール部４３の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に大きくなるように形成される幅変化部位４４ａを有する。そのため、第１搬送レール部４３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール部４４の幅変化部位４４ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール部４３に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００５０】
以上のような本実施の形態は、発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成を変更することができる。たとえば、下地板を支持する先端部における搬送レールの形状を、第１搬送レールと第２搬送レールとの下地板を支持する支持面がそれぞれ異なる形状となるように構成して、第２搬送レールが第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成してもよい。
【００５１】
また、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置において、第２搬送レールに斜面部を設ける例を示したが、必要に応じて、たとえば、第２搬送レールと受渡し部との接続位置近傍などに、斜面部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態である搬送装置１の構成を示す図である。
【図２】搬送装置１において、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、搬送レール３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態である搬送装置１０の構成を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態である搬送装置１１の構成を示す図である。
【図５】本発明の第４実施形態である搬送装置１２の構成を示す図である。
【図６】本発明の第５実施形態である搬送装置１３の構成を示す図である。
【図７】本発明の第６実施形態である搬送装置１４の構成を示す図である。
【図８】本発明の第７実施形態である搬送装置１５の構成を示す図である。
【図９】従来技術の搬送装置５１において、下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、搬送レール５３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１，１０，１１，１２，１３，１４，１５，５１ 搬送装置
２，２０，５２ 下地板
３，３０，３４，３５，３６，３７，４２，５３ 搬送レール
３１ 第１搬送レール
３２，３３，３８，３９，４０ 第２搬送レール
４１ 案内部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被搬送物である搬送台を、搬送レールの延在方向に沿って走行させて、搬送台を搬送する搬送装置が、たとえば特許文献１に開示されている。図９は、従来技術の搬送装置５１において、下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、搬送レール５３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。この搬送装置５１は、特許文献１に開示される搬送装置を適用したものである。
【０００３】
搬送装置５１においては、下地板５２は板状に形成されており、搬送レール５３は、下地板５２の厚み方向一方の面を鉛直方向下方から上方に向けて支持する。このように下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、所定の受渡し部５４に向けて、搬送レール５３の矢符Ａで示される延在方向に沿って下地板５２を走行させて搬送する。搬送レール５３で支持された状態で搬送される下地板５２は、走行時に搬送レール５３との間に発生する摩擦によって、搬送レール５３で支持された面が摩耗する。このように下地板５２の搬送レール５３で支持された面が摩耗すると、下地板５２は、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、搬送レール５３に支持されることになる。そうすると、下地板５２が受渡し部５４の所定の位置に正確に搬送されなくなる。
【０００４】
以上のような位置ずれの問題を解決する搬送装置が、たとえば特許文献２に開示されている。特許文献２に開示される搬送装置では、検出手段が、被搬送物を搬送する搬送部と、被搬送物の受渡しが行われる部位との位置ずれを検出する。そして、検出手段が出力する検出結果に基づいて、搬送部と受渡し部位とが、位置ずれが解消するように相対移動する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３２４０４号公報
【特許文献２】特開２００６−３２５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
下地板５２の搬送レール５３で支持された面が摩耗して、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、下地板５２が搬送レール５３に支持されるような場合であっても、特許文献２に開示される検出手段を適用することによって、位置ずれを解消することができる。しかしながら、位置ずれを検出する検出手段と、検出結果に基づいて位置ずれが解消するような制御を行うように構成される制御機構とが必要となり、搬送装置が複雑化してしまうという問題が生じる。
【０００７】
したがって本発明の目的は、搬送レールの延在方向に沿って被搬送物を走行させて搬送するときに、被搬送物が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、簡易な構成で位置ずれを解消して、所定の位置に被搬送物を搬送することが可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとで構成され、
前記第２搬送レールは、前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置である。
【０００９】
また本発明は、前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きいことを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置に配設されることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
前記第１搬送レールと接続される接続位置で低く、搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する斜面部と、
前記斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する平坦部とを含んで構成されることを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有することを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部を有することを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、前記第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有することを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとが接続される接続位置には、下地板を前記第１搬送レールから前記第２搬送レールに向けて案内する案内部材が配置され、
前記案内部材は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する部材斜面部を含んで構成されることを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とで構成され、
前記第２搬送レール部は、前記第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、板状に形成される下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する。このとき、搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとに分割されている。そして、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されている。第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。そのため、複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、摩耗量に対応した位置ずれを解消して、所定の受渡し部に下地板を搬送することができる。
【００１８】
また本発明によれば、第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きい。そのため、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能となる。したがって、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。
【００１９】
また本発明によれば、第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成されて、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置に配設される。そのため、第２搬送レールは、支持面の幅が同じであるにもかかわらず、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能となる。したがって、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールは、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。
【００２０】
また本発明によれば、第２搬送レールは、斜面部と平坦部とを含んで構成される。斜面部は、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置で低く、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、斜面部の傾斜面に案内されて、第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２１】
そして、平坦部は、斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する。そのため、斜面部に案内されて平坦部に移動してきた下地板は、第１搬送レールの支持面と同等位置で、平坦部によって支持される。したがって、下地板は、平坦部から所定の受渡し部に向けてスムーズに移動することができる。
【００２２】
また本発明によれば、第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールの幅変化部上を走行する下地板は、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００２３】
また本発明によれば、第２搬送レールの位置変化部は、第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レールの位置変化部上を走行する下地板は、第１搬送レールに対して下地板の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００２４】
また本発明によれば、下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、傾斜部に案内されて第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２５】
また本発明によれば、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置には、案内部材が配置され、該案内部材は、部材斜面部を含んで構成される。部材斜面部は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する。そのため、第１搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板は、部材斜面部の傾斜面に案内されて、第１搬送レールから第２搬送レールに向けてスムーズに移動することができる。
【００２６】
また本発明によれば、板状に形成される下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する。このとき、搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とが連続している。そして、第２搬送レール部は、第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されている。第１搬送レール部の延在方向に沿って下地板を走行させて搬送するときに下地板が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール部は、第１搬送レール部に対して下地板の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板を支持することができる。そのため、複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、摩耗量に対応した位置ずれを解消して、所定の受渡し部に下地板を搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は、本発明の第１実施形態である搬送装置１の構成を示す図である。図１（ａ）は搬送装置１の構成を示す上面図であり、図１（ｂ）は側面図である。搬送装置１は、金属または半導体から成る固体原料が溶融された融液から薄板状の基板を製造する基板製造装置に用いられる。基板製造装置では、搬送装置１によって搬送された下地板２を融液に浸漬して、下地板２の表面に結晶を凝固成長させて薄板状の基板を製造する。このような基板製造装置においては、高温雰囲気下であるとともに、純度および結晶性において質の高い結晶を成長させるために、水分などの不純成分の含有量が極めて少ない高純度の不活性ガスであるアルゴンガスなどで装置内を充填している。そのため、基板製造装置に用いられる搬送装置１においても、その設置環境は、２００〜２５０℃の高温雰囲気であるとともに、高純度のアルゴンガスなどで充填された環境である。
【００２８】
搬送装置１は、下地板２と、搬送レール３と、受渡し部４とを含んで構成される。搬送装置１は、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、受渡し部４に向けて、水平方向に延びる搬送レール３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送する。
【００２９】
下地板２は、前述のように、凝固成長された結晶から成る薄板状の基板を製造するときの下地となる。下地板２は、板状に形成される板状部２ａと、断面が台形に形成される突出部２ｂとを有する。下地板２は、板状部２ａの厚み方向一方の面に突出部２ｂが接続された構造となっている。板状部２ａの厚み方向両面のうち、突出部２ｂが接続された面である下面が、後述する搬送レール３に支持される面となり、他方の面が、結晶が凝固成長される面となる。突出部２ｂは、後述する受渡し部４が有するあり溝部４ｂと嵌合する部位である。また、下地板２を構成する材料は、前述した融液に混交するコンタミネーションを防ぐような材料から選ばれる必要があり、本実施の形態ではカーボンが選ばれる。下地板２は、搬送レール３に支持された状態で、所定の受渡し部４に向けて、搬送レール３の延在方向に沿って走行して搬送される。
【００３０】
受渡し部４は、後述する搬送レール３に支持された状態で搬送される下地板２の受渡しが行われる部位である。受渡し部４は、搬送レール３に支持された状態で搬送されてきた下地板２を、後工程である結晶成長処理を行う処理部へと水平方向および鉛直方向に移動して運搬する。受渡し部４は、支持部４ａとあり溝部４ｂとを有する。支持部４ａは、搬送レール３上を走行して搬送された下地板２の下面を支持する。受渡し部４は、支持部４ａの下地板２を支持する支持面が、搬送レール３の下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。あり溝部４ｂは、支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して凹んだ凹所となって、下地板２の突出部２ｂと嵌合可能に形成されている。
【００３１】
搬送レール３は、受渡し部４に向けて水平方向に延びる一対のレールであり、下地板２の厚み方向一方の面を支持した状態で、搬送される下地板２を受渡し部４に案内する。搬送レール３を構成する材料は、前述した下地板２と同様に、融液に混交するコンタミネーションを防ぐような材料から選ばれる必要があり、本実施の形態ではカーボンが選ばれる。搬送レール３は、第１搬送レール３１と第２搬送レール３２とを有する。第１搬送レール３１は、下地板２を支持する支持面が、受渡し部４の支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。第１搬送レール３１は、下地板２が搬送される搬送方向Ａの上流側に配設されて、下地板２を支持した状態で、搬送される下地板２を第２搬送レール３２に向けて案内する。
【００３２】
図２は、搬送装置１において、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、搬送レール３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。図２（ａ）は下地板２を走行させる様子を側面側から見た図であり、図２（ｂ）は正面側から見た図である。第１搬送レール３１で支持された状態で搬送される下地板２の下面は、走行時に第１搬送レール３１との間に発生する摩擦によって、第１搬送レール３１との接触位置が摩耗して、摩耗部２ｃが形成される。このとき、搬送装置１の設置環境は、前述したように、高温雰囲気であるとともに、水分が少ない高純度のアルゴンガスなどで充填された環境であるので、より摩耗しやすい。このように、下地板２の下面が第１搬送レール３１との接触位置において摩耗して摩耗部２ｃが形成されると、下地板２は、その摩耗量に対応した長さＹだけ鉛直方向下方にずれた位置で、第１搬送レール３１に支持されることになる。このように摩耗部２ｃが形成された下地板２は、第２搬送レール３２に向けて搬送される。
【００３３】
第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して下地板２が搬送される搬送方向Ａの下流側に配設されて、受渡し部４に向けて延びる。搬送装置１においては、第２搬送レール３２の下地板２を支持する支持面の幅Ｗ２は、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅Ｗ１よりも大きくなるように設定されている。これによって、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能となる。そのため、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１上を走行時に摩耗部２ｃが形成された下地板２を、摩耗部２ｃとは異なる位置で支持することができ、摩耗量に対応した位置ずれを解消して搬送することができる。このとき、第２搬送レール３２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置に配設してもよく、ずれていない位置に配設してもよい。
【００３４】
また、第２搬送レール３２は、斜面部３２ａと平坦部３２ｂとを有する。斜面部３２ａは、第１搬送レール３１と第２搬送レール３２とが接続される接続位置で低く、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有するように形成される。斜面部３２ａは、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さＬ１と、鉛直方向の長さＬ２とにおいて、長さＬ１に対する長さＬ２の割合（Ｌ２／Ｌ１）が、１／２以下、好ましくは１／２００〜１／２の範囲となるように設定される。これによって、第１搬送レール３１上を走行時に摩耗部２ｃが形成された下地板２は、摩耗部２ｃに対して幅手方向にずれた位置で斜面部３２ａに支持されながら案内されて、第２搬送レール３２が有する平坦部３２ｂに向けてスムーズに移動することができる。
【００３５】
平坦部３２ｂは、斜面部３２ａの傾斜上端部から搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有するように形成される。平坦部３２ｂは、斜面部３２ａに支持されながら案内された下地板２を、摩耗部２ｃに対して幅手方向にずれた位置で支持する。また、平坦部３２ｂの下地板２を支持する支持面が、第１搬送レール３１および受渡し部４が有する支持部４ａの下地板２を支持する支持面に対して、鉛直方向にずれることがないように配置されている。そのため、平坦部３２ｂで支持された下地板２は、摩耗量に対応した鉛直方向の位置ずれが解消された状態で、受渡し部４に向けて搬送されることになる。このように、位置ずれが解消された状態で受渡し部４に下地板２が搬送されると、下地板２の突出部２ｂと、受渡し部４のあり溝部４ｂとが正確に嵌合することができる。
【００３６】
以上のように、搬送装置１では、摩耗量に対応した位置ずれを解消するような複雑な制御機構を用いない簡易な構成で、位置ずれを解消する。また、搬送装置１においては、下地板２が繰返し搬送レール３上を走行される場合であっても、下地板２を搬送レール３上を走行させて搬送する毎に、毎回位置ずれが解消するように制御する必要がなく、搬送効率が低下することを抑制することができる。
【００３７】
また、第２搬送レール３２上を受渡し部４に向けて走行することで、下地板２の下面が第２搬送レール３２との接触位置で摩耗してしまい、第２搬送レール３２上でも鉛直方向の位置ずれが発生してしまう可能性がある。このような第２搬送レール３２上での位置ずれを防止するために、第２搬送レール３２の搬送方向Ａに延びる長さＸ３を、第１搬送レール３１の搬送方向Ａに延びる長さＸ２よりも短く設定し、第２搬送レール３２による摩耗を減らす。このとき、下地板２の摩耗を考慮すると、第２搬送レール３２の長さＸ３は、できる限り短く設定するのがよいが、本実施の形態では、下地板２の搬送方向Ａに延びる長さＸ１とほぼ同じになるように設定する。これは、斜面部３２ａに支持されながら案内されて移動してきた下地板２が、平坦部３２ｂにおいて確実に、水平方向に平行な状態で支持されるようにするためである。
【００３８】
図３は、本発明の第２実施形態である搬送装置１０の構成を示す図である。搬送装置１０は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１０においては、搬送レール３０が有する第２搬送レール３３が特徴的である。第２搬送レール３３は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様に、斜面部３３ａと平坦部３３ｂとを有するが、第２搬送レール３３においては、第２搬送レール３３の下地板２を支持する支持面の幅は、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同じになるように設定されている。そして、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置に配設される。そのため、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能となる。したがって、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３３は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置であり、摩耗していない位置で下地板２を支持することができる。
【００３９】
図４は、本発明の第３実施形態である搬送装置１１の構成を示す図である。搬送装置１１は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１１においては、搬送レール３４が有する第２搬送レール３８が特徴的である。第２搬送レール３８は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２のような斜面部を有さない。そして、第２搬送レール３８は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール３１と接続される接続位置で第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部３８ａを有する。本実施の形態では、幅変化部３８ａは、搬送方向Ａに向って第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に大きくなるように形成されている。
【００４０】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３８の幅変化部３８ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００４１】
図５は、本発明の第４実施形態である搬送装置１２の構成を示す図である。搬送装置１２は、前述した搬送装置１０に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１２においては、搬送レール３５が有する第２搬送レール３９が特徴的である。第２搬送レール３９は、搬送装置１０が有する第２搬送レール３３のような斜面部を有さない。そして、第２搬送レール３９は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール３１の下地板２を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、第１搬送レール３１に対して、下地板２の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部３９ａを有する。
【００４２】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール３９の位置変化部３９ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００４３】
図６は、本発明の第５実施形態である搬送装置１３の構成を示す図である。搬送装置１３は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１３においては、搬送レール３６が有する第２搬送レール４０および下地板２０が特徴的である。第２搬送レール４０は、斜面部を有さない以外は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様である。そして、下地板２０は、板状に形成される板状部２０ａと、断面が台形に形成される突出部２０ｂとを有する。ここで、下地板２０は、板状部２０ａに傾斜部２０ｃが形成されている以外は、搬送装置１が有する下地板２と同様である。傾斜部２０ｃは、板状部２０ａの周縁部のうち搬送方向先端部に位置する部分である。そして、傾斜部２０ｃは、第１搬送レール３１および第２搬送レール４０に支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成されている。このとき、傾斜部２０ｃにおいては、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さと鉛直方向の長さとは、搬送装置１が有する第２搬送レール３２の斜面部３２ａと同様にして設定される。
【００４４】
そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２０を走行させて搬送するときに下地板２０が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板２０は、傾斜部２０ｃに案内されて第１搬送レール３１から第２搬送レール４０に向けてスムーズに移動することができる。
【００４５】
図７は、本発明の第６実施形態である搬送装置１４の構成を示す図である。搬送装置１４は、前述した搬送装置１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１４の第２搬送レール４０は、斜面部を有さない以外は、搬送装置１が有する第２搬送レール３２と同様である。そして、搬送装置１４においては、第１搬送レール３１と第２搬送レール４０とが接続される接続位置には、下地板２を第１搬送レール３１から第２搬送レール４０に向けて案内する案内部材４１が配置される。案内部材４１は、第１搬送レール３１に対して下地板２の幅手方向にずれた位置に配置され、搬送方向Ａに延びて第２搬送レール４０に接続される。そして、案内部材４１は、部材斜面部４１ａと部材平坦部４１ｂとを有する。
【００４６】
部材斜面部４１ａは、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って第２搬送レール４０の下地板２を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有するように形成される。このとき、部材斜面部４１ａにおいては、傾斜下端部から傾斜上端部までの水平方向の長さと鉛直方向の長さとは、搬送装置１が有する第２搬送レール３２の斜面部３２ａと同様にして設定される。そのため、第１搬送レール３１の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、下地板２は、部材斜面部４１ａの傾斜面に案内されて、部材平坦部４１ｂに向けてスムーズに移動することができる。
【００４７】
部材平坦部４１ｂは、部材斜面部４１ａの傾斜上端部から搬送方向に向って第２搬送レール４０の下地板２を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有するように形成されて、第２搬送レール４０に接続される。そのため、部材斜面部４１ａに案内されて部材平坦部４１ｂに移動してきた下地板２は、第２搬送レール４０の支持面と同等位置で、部材平坦部４１ｂによって支持される。したがって、下地板２は、部材平坦部４１ｂから第２搬送レール４０に向けてスムーズに移動するとともに、第２搬送レール４０から所定の受渡し部４に向けてスムーズに移動することができる。
【００４８】
図８は、本発明の第７実施形態である搬送装置１５の構成を示す図である。搬送装置１５は、前述した搬送装置１１に類似し、対応する部分については同一の参照符号を付して説明を省略する。搬送装置１５においては、搬送レール４２が特徴的である。搬送レール４２は、搬送装置１１が有する搬送レール３４のように２つの搬送レールに分割されていない。搬送レール４２は、搬送方向Ａ上流側の領域に位置する第１搬送レール部４３と、搬送方向Ａ下流側の領域に位置する第２搬送レール部４４とを有する。そして、第２搬送レール部４４は、第１搬送レール部４３に対して、下地板２の幅手方向にずれた位置で下地板２を支持可能に構成されている。搬送装置１５においては、第１搬送レール部４３が搬送装置１１における第１搬送レール３１の役割を担い、第２搬送レール部４４が搬送装置１１における第２搬送レール３８の役割を担う。
【００４９】
本実施の形態では、第２搬送レール部４４は、下地板２を支持する支持面の幅が、第１搬送レール部４３と接続される接続位置で第１搬送レール部４３の下地板２を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向Ａに向って第１搬送レール部４３の下地板２を支持する支持面の幅に対して連続的に大きくなるように形成される幅変化部位４４ａを有する。そのため、第１搬送レール部４３の延在方向に沿って下地板２を走行させて搬送するときに下地板２が摩耗して、その摩耗量に対応した位置ずれが発生した場合であっても、第２搬送レール部４４の幅変化部位４４ａ上を走行する下地板２は、第１搬送レール部４３に対して下地板２の幅手方向に連続的にスムーズにずれた位置で支持されながら移動することができる。
【００５０】
以上のような本実施の形態は、発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成を変更することができる。たとえば、下地板を支持する先端部における搬送レールの形状を、第１搬送レールと第２搬送レールとの下地板を支持する支持面がそれぞれ異なる形状となるように構成して、第２搬送レールが第１搬送レールに対して下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成してもよい。
【００５１】
また、第１搬送レールと第２搬送レールとが接続される接続位置において、第２搬送レールに斜面部を設ける例を示したが、必要に応じて、たとえば、第２搬送レールと受渡し部との接続位置近傍などに、斜面部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態である搬送装置１の構成を示す図である。
【図２】搬送装置１において、下地板２を搬送レール３で支持した状態で、搬送レール３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態である搬送装置１０の構成を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態である搬送装置１１の構成を示す図である。
【図５】本発明の第４実施形態である搬送装置１２の構成を示す図である。
【図６】本発明の第５実施形態である搬送装置１３の構成を示す図である。
【図７】本発明の第６実施形態である搬送装置１４の構成を示す図である。
【図８】本発明の第７実施形態である搬送装置１５の構成を示す図である。
【図９】従来技術の搬送装置５１において、下地板５２を搬送レール５３で支持した状態で、搬送レール５３の延在方向に沿って走行させる様子を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１，１０，１１，１２，１３，１４，１５，５１ 搬送装置
２，２０，５２ 下地板
３，３０，３４，３５，３６，３７，４２，５３ 搬送レール
３１ 第１搬送レール
３２，３３，３８，３９，４０ 第２搬送レール
４１ 案内部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとで構成され、
前記第２搬送レールは、前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置に配設されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２搬送レールは、
前記第１搬送レールと接続される接続位置で低く、搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する斜面部と、
前記斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する平坦部とを含んで構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部を有することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、前記第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとが接続される接続位置には、下地板を前記第１搬送レールから前記第２搬送レールに向けて案内する案内部材が配置され、
前記案内部材は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する部材斜面部を含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項９】
板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とで構成され、
前記第２搬送レール部は、前記第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置。
【請求項１】
板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側に配設される第１搬送レールと、搬送方向下流側に配設される第２搬送レールとで構成され、
前記第２搬送レールは、前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向にずれた位置に配設されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２搬送レールは、
前記第１搬送レールと接続される接続位置で低く、搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する斜面部と、
前記斜面部の傾斜上端部から搬送方向に向って前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置で所定の長さで延びる平坦面を有する平坦部とを含んで構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第２搬送レールは、下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールと接続される接続位置で第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同等で、搬送方向に向って第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅に対して連続的に変化するように形成される幅変化部を有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第２搬送レールは、
下地板を支持する支持面の幅が、前記第１搬送レールの下地板を支持する支持面の幅と同じになるように形成され、
前記第１搬送レールに対して、下地板の幅手方向に連続的にずれた位置となるように形成される位置変化部を有することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記下地板は、下地板の周縁部のうち搬送方向先端部において、前記第１および第２搬送レールに支持される支持面が、上方に向って傾斜するように形成される傾斜部を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記第１搬送レールと前記第２搬送レールとが接続される接続位置には、下地板を前記第１搬送レールから前記第２搬送レールに向けて案内する案内部材が配置され、
前記案内部材は、搬送方向後端部で低く、搬送方向に向って前記第２搬送レールの下地板を支持する支持面と同等位置まで所定の長さで延びる傾斜面を有する部材斜面部を含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項９】
板状に形成される下地板と、下地板の厚み方向一方の面を支持する搬送レールとを有し、下地板を搬送レールで支持した状態で、下地板の受渡しが行われる所定の受渡し部に向けて、搬送レールの延在方向に沿って下地板を走行させて搬送する搬送装置であって、
前記搬送レールは、下地板を搬送する搬送方向上流側の領域に位置する第１搬送レール部と、搬送方向下流側の領域に位置する第２搬送レール部とで構成され、
前記第２搬送レール部は、前記第１搬送レール部に対して、下地板の幅手方向にずれた位置で下地板を支持可能に構成されることを特徴とする搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００９−１８４７８８（Ｐ２００９−１８４７８８Ａ）
【公開日】平成２１年８月２０日（２００９．８．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２７０５０（Ｐ２００８−２７０５０）
【出願日】平成２０年２月６日（２００８．２．６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【公開日】平成２１年８月２０日（２００９．８．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月６日（２００８．２．６）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
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