検査システムにおける、可動部の位置固定のための方法、及び装置
本発明は、検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法及び装置に関するものである。上記の方法によれば、上記可動部は作動部の支持により始動位置から端位置まで動かされる。上記作動部は駆動力を手段として動かされることにより上記可動部に結合され、上記可動部は、端位置において上記可動部を固定する上記可動部に連結された固定部の固定力によって固定される。固定力は上記固定部の少なくとも一部が媒体に浸されて、上記媒体が液状から固形状に変質することにより生じる。上記媒体は操作変数によって同様の媒体に作用することにより液状から固形状に変質される。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法及び装置に関するものである。
【０００２】
構成部品の位置固定は配置部品の支持により実行される。配置部品は、他の構成部品とは逆に可動部の動きを成立させる目的を果たす。他の構成部品は通常は可動部の移動中も元の位置に停止している。検査システムにおいて、可動部の移動中に静止状態である構成部品はその構成の典型的な部分ともみなされ得る。この理由により、この意図は以下にも適用される。
【０００３】
本出願の意図する上記検査システムは工場設備、器具、又は装置である。上記工場設備、器具、又は装置は、物理的、化学的、又は生物的性質の少なくとも一つの特徴に関したあらゆる検査対象についての調査、又は分析を実行するのに適している。上記検査システムは、いわゆる科学技術界の分野にしばしば配置される。それらは高精度の機械機器、特に可動部を正確に移動させることに関心がある分野ということに、少なくともある程度は特徴づけられる。
【０００４】
高感度解像度の機能を持つことを要求される配置素子の代わりに、例えば圧電素子とも称される圧電駆動素子がアクチュエータとして使用される。アクチュエータの伸張は加えられた電圧に応じたものとなる。しかしながら他の駆動素子、例えば水圧駆動素子又は誘導駆動素子もこの技術の範囲内として知られている。圧電素子として周知のように構成部品の移動を実際にもたらす作動部は、例えば電圧を確定することにより予め固定された特定の位置に動かされ、その位置に停止し続ける。圧電素子は履歴現象を有しているのでその効果として、ある電圧においての伸張は移動動作の定位置に応じたものになる。また、電圧が切られた後に「徐々に動く」とも称されるようにやがて動くことを制御できない。圧電素子又は可動部の実際の偏差は電圧の活性化によって圧電素子の動作中に測定され得る。また、閉回路の電圧変動の援助により圧電素子の伸張が実際に適用された電圧に直線的に影響を受けることが確かなものとなるに違いない。この場合の直線性の質は例えば容量センサー、LVDT（異なる形状に変形し得る線形）、又は歪みゲージでもよい選択された空間センサーの種類に自然に応じたものになる。しかしながら、例えば光学センサーなどといった他の空間センサーも使用できる。ソフトウェアによって修正が実行されるような周知の種類の過失は定期的に起こる。
【０００５】
可動部は例えば粘着性の棒により作動部にしっかりと結合され得る。または結合部が、移動動作中においてもその場所に固定されたままの他の構成部品に連結された可動部に形成される。一例として固形物の連結部が使用される。この場合には、圧電素子は上記固形物の連結部における部品の間に固定され得るし、又は連結部の突出若しくは収縮による移動動作を起動するための別な方法においてこれに固定され得る。
【０００６】
上記に加えて、可動部を移動させるための配置素子の駆動装置により生じた駆動動作を変化させるために電圧を上げる手段がしばしば使用される。したがって、駆動装置自体の大きさ又は動作よりも大きい可動経路が得られる。
【０００７】
上記の適用が意図することは、もし可動部の移動が定位置から端位置まで達成されるとしたら、移動させるための直接駆動を必要とする。端位置は可動部に連結された作動部が退避位置の間で動かされるところの位置である。作動部は上記退避位置に少なくとも部分的に退避させられ、かつ作動部は少なくとも部分的には予測された位置に動く。このような直接駆動は例えば圧電気により提供され得る。
【０００８】
これと対照的に間接駆動も知られている。それは、例えばねじ山を備えた配置素子が可動部に連結され、らせんねじ山の旋回により移動される。この方法により配置素子はらせんに沿って縦方向に動かされる。しかしながら、上記の間接的な連結は通常は動的効果を減少させるし、位置の不確実性を増大させる。
【０００９】
周知の種類の直接駆動の使用はしかしながら不都合な効果も引き起こす。位置固定に必要とされる作動部の作用は端位置においても維持される。圧電にとってこれが意味することは、電圧を停止した後でも惰性で動く（ゆっくり動く）ことである。したがって、適用される電圧はなおも変化されなければいけない。加えて作動部の偏差は騒音を生じる。例えば圧電素子は騒音を最小化する電圧源を必要とするが、騒音を完全に抑えることは不可能である。この騒音は必要とされる値（定位置）に従った端位置に可動部を固定する位置ばらつきの原因となる。もし上記端位置が制御のために信号を使用する検査の支持により追加的に監視されれば、上記検査の解像度は正確な位置固定の限度をも表す。
【００１０】
さらに、作動部が備える振動可能システムのために、移動した可動部は端位置においてフレームに連結されたままでもある。もし、移動した可動部が例えば作動部に粘着的に連結されるか、何らかの形で作動部に直接固定されたとしたら、作動部はそれ自体がばね質量系となる。もしシステム全体に支障をきたす動きを強いられたら、システム全体の共振周波数の周辺、又は上側に位置するこれらの障害物のスペクトルかどうかの問題がすぐに引き起こされるであろう。この状況においては、構成部品の互いの関連動作がやがて起こる。
【００１１】
上記問題は例えば走査プローブ顕微鏡などの特に測定装置及び分析装置に起こる。この場合、解像度及び上記走査プローブ顕微鏡の原動力は制限される。配置素子はこのような顕微鏡において、通常は３空間方向全てに使用される。騒音を原因とした配置素子の位置不正確さは測定可能性を制限してしまう。例えば、１００μm×１００μmの側面検査範囲において、圧電素子の電圧源が発生する騒音により微少な解像はしばしば実行できない。制御した場合は、空間測定に適用された検査の騒音が制御信号により追加される。したがって、上記例の配置素子は総量およそ０．３nmのある局部的なぶれを生じる。その大小は必要とされる圧電素子の大きさ、又は選択された電圧の上げに対応して決定される。したがって、その速度はあらゆる望ましい走査範囲でも不規則に増大することはない。もし高い解像度又はバンド幅が望まれるなら、走査範囲は減少せざるを得ない。
【００１２】
〔発明の要約〕
本発明の目的は、端位置に可動部を位置固定する正確さを向上させる検査システムにおいて、可動部の位置固定のための方法及び装置を提供することである。
【００１３】
この目的は、独立請求項１に係る検査システムにおいて可動部の位置固定のための方法、及び独立請求項１１に係る検査システムにおいて可動部の位置固定のための装置、を手段とした本発明によって解決される。
【００１４】
本発明は、端位置において可動部を固定するという概念的な考えからなる。端位置は可動部に連結された作動部の動作により可動部が近づき得る位置である。そこで可動部に連結された固定部は媒体の貯蔵部の中で固定される。これは可動部を固定又は固着すると称される。すなわち、上記媒体の貯蔵部に固定部の少なくとも一部が浸されて液状の媒体が固形状に変質されることが達成される。液状と比較して固形状はかなり詳しく記載され得る。例えば液状と比較して上記媒体がより大きな粘着性を持つこと、又は固形物の特質そのものによってさえも特徴づけられる。この方法及び固定部を経由して、端位置において可動部に固定力が働く。媒体の貯蔵部に関連した端位置が固定されてから、可動部は停止位置に位置固定される。もし媒体の貯蔵部を形成する容器が検査システムにとっての他の関連システム例えば装置のフレーム、その他の構成部品に対して停止状態にあれば、可動部も関連システムに関連した端位置において停止状態が維持されるだろう。可動部が望まない方法において端位置からはみ出る状況を引き起こし得るような、端位置において可動部に支障をきたす影響は抑制又は完全に抑えられる。
【００１５】
上記に記載した方法において端位置に可動部を停止させた状態に固定することは、端位置において可動部の位置を高精度に保つことを可能にする。上記の高精度の程度は種々の実施例などに共通して望まれる。例えば、この方法により改良された力学空間分光法が作られ得る。なぜなら可動部を阻害する動きが防がれるからである。
【００１６】
本発明の更なる好ましい進歩によって以下の事が予見される。媒体として以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などといった流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる。上記ビンガム体はここではノンニュートン液体媒体であり、耐力が限度を超えたときのみ流れ始める。その効果は幾分の応力を剪断する。ノンニュートン媒体の例は塩水、ジェル、高濃度の検査液、合成物質、溶液、その他高分子物質の融液である。それ自体の耐力は、物質が流れるように適用されなければならない最低限の剪断力を必要とする物質要因である。本発明が意味する流体学的物質はここで液状から固形状に変質させられる。したがって、例えば電界（電界強度）又は磁気力（磁場強度）が適用される。この場合、力を受けた操作変数の変化によって耐力は増大される。
【００１７】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。液状から固形状に変質する媒体の変質につれて、固定力は初期の固定力から最終的な固定力まで連続的に増大する。固定力の連続的な増大特に耐力の連続的な増大は、可動部が固定される端位置に徐々に「すべるように動く」ことを可能にする。端位置において可動部が例えば作動部の偶発的な動きに誘発されて偶発的な動きを実行することに限れば、これらは固定力の連続した増大によって一つ一つ抑制及び制限される。
【００１８】
本発明の有利な実施形態によって以下の事が予見される。固定力は端位置においての可動部の偶発的な動きを抑制または完全に防止するように形成されている。端位置において可動部の偶発的な動きが抑制される範囲は、本発明に関連した方法においては固定力の大きさの選択によって決定される。固定力は通常端位置の可動部に作用する力の抵抗力としても作用する。したがって、もし固定力が存在しなければそれ自体が端位置からはみ出るような可動部の移動を引き起こす。
【００１９】
本発明のさらなる好ましい実施形態によって以下の事が予見される。固定部は作動部に連結されること、かつ媒体が液状から固形状に変質することにより作動部は位置固定される。この実施形態において以下の事が予見され得る。可動部を移動するための作動部の動きは固定部を経由して可動部に伝えられる。一つの実施形態において固定部及び作動部は互いに関連して移動可能であり、かつ互いに連結されている。端位置における可動部の固定は、固形状の媒体の支持による方法で達成され得る。これにより、固定部及び作動部は固定して配置される。
【００２０】
本発明の有利な実施形態によって以下の事が予見され得る。作動部は端位置において可動部が固定された後に可動部から分離される。作動部から分離後の可動部は固定力の作用により端位置に選択的かつ独占的に維持される。この実施形態に伴う固定力の支持によりとりわけ十分な維持力も供給され得る。この維持力は可動部の重力の影響に対しても作用する。さもなければ可能な実施形態として、可動部は重力を原因として端位置から動いてしまうだろう。作動部が可動部から分離される事実により、作動部の偶発的な動きが防止される。この動きは可動部の端位置において消極的な影響を有することに基づく動きである。圧電に設定された装置により適用された電界が、その騒音を原因とした作動部の結果として生じる動きを引き起こし得ることが知られている。圧電に設定された装置は電界を切ることにより引っ込み得る。
【００２１】
本発明のさらなる進歩は以下の事を予見し得る。媒体が液状から固形状に変質されるところで、操作変数によって媒体に力を与えることにより、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される。例えば、電磁気波は光として発せされ得る。特に波の周波数又はインビームエネルギーが設定され得る。これらの要素を組み合わせて変化させたものも予見され得る。
【００２２】
本発明の好ましい更なる進歩は以下の事を予見する。可動部は抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置に動かされる。上記抵抗を生じるガイド部品は例えば移動動作中に可動部を案内するガイドレールがある。しかしながら、他方で望まない摩擦の影響を引き起こし得るし、位置固定の正確さ又は移動の動きの自由度を制限してしまう。好ましい状況は、実施形態において２又は全方向である３空間方向において作動部の指示により可動部が自由に位置固定できることである。
【００２３】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。固定部は以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される。例えば結合機構は少なくとも一部が媒体に浸されて、液状から固形状に変質する媒体の変形により「中に固定」されることが予見され得る。同様に、テレスコープ機構は連結部の長さ調整が行われ得ることにより「中に固定」され得る。
【００２４】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。可動部の移動により以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される。多種多様の検査工程が知られているところの測定プローブ及び測定用試料は互いに関連して動かされる必要があるが、検査前又は検査中に信頼できる検査設定を成立され得る。走査プローブ顕微鏡がここで特に言及される。
【００２５】
検査システムにおいて可動部の位置固定のための装置の有利な実施形態は以下にごく詳細に記載されている。実施形態及び実施形態にとっての有利な特徴は、様々の関連方法にに準じた装置を作る。
【００２６】
本発明の好ましい更なる進歩は以下の事を予見する。媒体として、以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などといった流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる。
【００２７】
本発明のすぐれた実施形態によって予見され得ることは、液状から固形状に変質した媒体の変質によって、初期の固定力から最終的な固定力に固定力を連続的に増大させるように固定装置が構成されることである。
【００２８】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。端位置において可動部の偶発的な動きを抑制または完全に防止する固定力を形成するように固定装置が構成されることである。
【００２９】
本発明の更なる進歩により好ましくも以下の事が予見される。液状から固形状に媒体が変形することにより固定可能となった作動部に固定部が連結される。
【００３０】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。作動部は端位置において可動部が固定された後に可動部から分離される。可動部は作動部が分離された後で固定力の支持により端位置に選択的かつ独占的に維持される。可動部から作動部を分離するための準備段階の一つの形として予見され得る他の実施形態は、固定後の作動部はもはや駆動力の力を受けないことである。この状況がより進むとこれは止められる。電気駆動装置の場合には、これは例えば電気駆動電圧のスイッチが切られることを意味する。駆動力の停止にかかわらず作動部は可動部に結合されたままである。例えば作動部及び可動部の間の結合が固い例がある。
【００３１】
本発明のさらなる進歩は以下のことを予見し得る。制御装置が構成されていて、操作変数によって媒体に力を与えることにより媒体が液状から固形状に変質され、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される。
【００３２】
本発明の好ましい更なる進歩により以下の事が予見される。可動部は抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも端位置に動かされ得る。
【００３３】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される。
【００３４】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。可動部の移動により以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される。
【００３５】
本発明の好ましい更なる進歩により以下の事が予見される。作動部はこれから選択的に形成された圧電駆動素子に連結される。
【００３６】
上記に記載した一つの形式における可動部の位置固定のための装置が可動部の上にさらに配置される。それからそこのところで固定位置の構成部品に関連して、上記に言及した形式にしたがって移動されることが予見され得る。
【００３７】
このような配置が例えば走査装置としても周知の２つのｘ−ｙ−ｚ走査装置が互いに結合されることをもたらす。この方法により、例えばより小さい走査範囲が対象とされ得る場合でさえも、より早い走査の動きが実現され得る。後に固定装置は大まかな設置位置を取って互いに結合され、これに結合されたさらなる固定装置が正確な位置に取って代わる。固定装置の両方とも、上記に記載されたモデル型の一つに準じてそれ自体がそのようなものとして構成される。
【００３８】
〔発明の実施形態〕
本発明の基本となる種々の実施例についての詳細を図を参照して以下に記載する。参照とする図の説明を以下に示す。
【００３９】
図１ａ〜図１ｃに、本発明の一実施形態に係るフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示している。図２ａ及び図２ｂに、本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示している。図３ａは本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示している。
【００４０】
図１ａ及び図１ｂにフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す。
【００４１】
図１ａに示すように、可動部１は静止状態に形成されたフレーム４に、作動部２及びばね３を経由して連結されている。ばね３は他の実施形態では除かれても良い（不図示）。可動部１は作動部２にねじこまれるか、接着される。
【００４２】
図１ｂに示すように、所望の端位置における固定装置５によって、時間に関して可変制御され得る復元可能なエネルギー分散又は動作検査が導入される。
【００４３】
図１ｃに示すように、固定連結部６は固定装置５を支えるように可動部１とフレーム４との間に形成されている。例えば作動部２によって引き起こされ得る偶発的な動きの衝撃は固定連結部６により防止される。そのときに作動部２及びばね３の反作用はもはや問題にはならない。固定装置５の固定連結部６の中への移動はこのように行われ、固定力の作用は固定装置５の支持により連続的に増大する。その結果として作動部２の作用は連続的に減少する。この方法により可動部１と、端位置１０からはみ出た可動部１の移動を別の方法で引き起こす可能性のあるフレーム４との間の圧力は回避される。
【００４４】
図１ａ〜図１ｃには一次元の可動部の移動を示している。類似の方法による可動部１の移動は、例えば一平面のような一空間次元より多い次元で位置移動が起こることが予見され得る。固定連結の数は必ずしもそのとき固定された軸の数、又は自由の程度に一致させなければいけないわけではない。
【００４５】
図２ａ及び図２ｂに、本発明のさらなる一実施形態に係るフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す。
【００４６】
図１ａ〜図１ｃに準じたこの配置において固定装置５、及び固定連結部６は電気流動学的液体のビンガム体によって置換され得る。図２ａに示すように電気流動学的液体は容器２０に保持される。容器２０の中に、２つの電極２２，２３が電源２４につながれた状態で沈められている。電源２４に支持されている２つの電極２２，２３に設定された電圧に応じて電気流動学的液体２１の硬化剤は誘発されて、最終的に図２に示すように固定連結部２５の形成に寄与する。容器２０はフレーム４に固く連結されている。
【００４７】
図３は、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示している。図３において、先に記載した図と同じ特性の部品には、先に記載した図と同様の符号番号が使われている。
【００４８】
図示した実施例において、走査装置である２つの位置固定装置が配置されている。低い位置の走査装置４０は上記に記載した方法に応じて配置され得て、その後フレーム４に関連した端位置１０が固定されると固定配置される。高い位置における可動の走査装置４１は構成部品３１と一体に形成され、配置構成部品３２及びばね３３は低い位置の走査装置４０と一体の可動部１に構成部品３５を経由して連結される。端位置１０は上記過程中に動かされないし妨害もされない。
【００４９】
簡略化の目的のため図３にはただ一つの軸線しか記載されていない。しかしながら、ｘ−ｙ走査装置１，２，３の固定、及び軽微な偏差３１，３２，３３を有する高速ｘ−ｙ−ｚ走査装置の動作も予見され得る。
【００５０】
上記の実施形態の有利な点は、端位置１０がフレーム４に対して非常に正確に配置され得て、これにより端位置１１も正確に配置され得るという事実である。これにより、動作を阻害する固定可能型走査装置を用いずとも、例えば高速度走査装置などの固定不可の走査装置の有利点を利用され得る。他方で、例えば大きい走査範囲といった、固定可能型走査装置の有利点も利用され得る。
【００５１】
この記述、請求項、及び図において明らかにされた本発明の特徴は、本発明の実現のために、その種々の実施形態の個々及び任意の組み合わせの両方に意義があり得る。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】ａ、ｂ、ｃは本発明の一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す図である。
【図２】ａ及びｂは本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す図である。
【図３】本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示す図である。
【図１ａ】
【図１ｂ】
【図１ｃ】
【図２ａ】
【図２ｂ】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法及び装置に関するものである。
【０００２】
構成部品の位置固定は配置部品の支持により実行される。配置部品は、他の構成部品とは逆に可動部の動きを成立させる目的を果たす。他の構成部品は通常は可動部の移動中も元の位置に停止している。検査システムにおいて、可動部の移動中に静止状態である構成部品はその構成の典型的な部分ともみなされ得る。この理由により、この意図は以下にも適用される。
【０００３】
本出願の意図する上記検査システムは工場設備、器具、又は装置である。上記工場設備、器具、又は装置は、物理的、化学的、又は生物的性質の少なくとも一つの特徴に関したあらゆる検査対象についての調査、又は分析を実行するのに適している。上記検査システムは、いわゆる科学技術界の分野にしばしば配置される。それらは高精度の機械機器、特に可動部を正確に移動させることに関心がある分野ということに、少なくともある程度は特徴づけられる。
【０００４】
高感度解像度の機能を持つことを要求される配置素子の代わりに、例えば圧電素子とも称される圧電駆動素子がアクチュエータとして使用される。アクチュエータの伸張は加えられた電圧に応じたものとなる。しかしながら他の駆動素子、例えば水圧駆動素子又は誘導駆動素子もこの技術の範囲内として知られている。圧電素子として周知のように構成部品の移動を実際にもたらす作動部は、例えば電圧を確定することにより予め固定された特定の位置に動かされ、その位置に停止し続ける。圧電素子は履歴現象を有しているのでその効果として、ある電圧においての伸張は移動動作の定位置に応じたものになる。また、電圧が切られた後に「徐々に動く」とも称されるようにやがて動くことを制御できない。圧電素子又は可動部の実際の偏差は電圧の活性化によって圧電素子の動作中に測定され得る。また、閉回路の電圧変動の援助により圧電素子の伸張が実際に適用された電圧に直線的に影響を受けることが確かなものとなるに違いない。この場合の直線性の質は例えば容量センサー、LVDT（異なる形状に変形し得る線形）、又は歪みゲージでもよい選択された空間センサーの種類に自然に応じたものになる。しかしながら、例えば光学センサーなどといった他の空間センサーも使用できる。ソフトウェアによって修正が実行されるような周知の種類の過失は定期的に起こる。
【０００５】
可動部は例えば粘着性の棒により作動部にしっかりと結合され得る。または結合部が、移動動作中においてもその場所に固定されたままの他の構成部品に連結された可動部に形成される。一例として固形物の連結部が使用される。この場合には、圧電素子は上記固形物の連結部における部品の間に固定され得るし、又は連結部の突出若しくは収縮による移動動作を起動するための別な方法においてこれに固定され得る。
【０００６】
上記に加えて、可動部を移動させるための配置素子の駆動装置により生じた駆動動作を変化させるために電圧を上げる手段がしばしば使用される。したがって、駆動装置自体の大きさ又は動作よりも大きい可動経路が得られる。
【０００７】
上記の適用が意図することは、もし可動部の移動が定位置から端位置まで達成されるとしたら、移動させるための直接駆動を必要とする。端位置は可動部に連結された作動部が退避位置の間で動かされるところの位置である。作動部は上記退避位置に少なくとも部分的に退避させられ、かつ作動部は少なくとも部分的には予測された位置に動く。このような直接駆動は例えば圧電気により提供され得る。
【０００８】
これと対照的に間接駆動も知られている。それは、例えばねじ山を備えた配置素子が可動部に連結され、らせんねじ山の旋回により移動される。この方法により配置素子はらせんに沿って縦方向に動かされる。しかしながら、上記の間接的な連結は通常は動的効果を減少させるし、位置の不確実性を増大させる。
【０００９】
周知の種類の直接駆動の使用はしかしながら不都合な効果も引き起こす。位置固定に必要とされる作動部の作用は端位置においても維持される。圧電にとってこれが意味することは、電圧を停止した後でも惰性で動く（ゆっくり動く）ことである。したがって、適用される電圧はなおも変化されなければいけない。加えて作動部の偏差は騒音を生じる。例えば圧電素子は騒音を最小化する電圧源を必要とするが、騒音を完全に抑えることは不可能である。この騒音は必要とされる値（定位置）に従った端位置に可動部を固定する位置ばらつきの原因となる。もし上記端位置が制御のために信号を使用する検査の支持により追加的に監視されれば、上記検査の解像度は正確な位置固定の限度をも表す。
【００１０】
さらに、作動部が備える振動可能システムのために、移動した可動部は端位置においてフレームに連結されたままでもある。もし、移動した可動部が例えば作動部に粘着的に連結されるか、何らかの形で作動部に直接固定されたとしたら、作動部はそれ自体がばね質量系となる。もしシステム全体に支障をきたす動きを強いられたら、システム全体の共振周波数の周辺、又は上側に位置するこれらの障害物のスペクトルかどうかの問題がすぐに引き起こされるであろう。この状況においては、構成部品の互いの関連動作がやがて起こる。
【００１１】
上記問題は例えば走査プローブ顕微鏡などの特に測定装置及び分析装置に起こる。この場合、解像度及び上記走査プローブ顕微鏡の原動力は制限される。配置素子はこのような顕微鏡において、通常は３空間方向全てに使用される。騒音を原因とした配置素子の位置不正確さは測定可能性を制限してしまう。例えば、１００μm×１００μmの側面検査範囲において、圧電素子の電圧源が発生する騒音により微少な解像はしばしば実行できない。制御した場合は、空間測定に適用された検査の騒音が制御信号により追加される。したがって、上記例の配置素子は総量およそ０．３nmのある局部的なぶれを生じる。その大小は必要とされる圧電素子の大きさ、又は選択された電圧の上げに対応して決定される。したがって、その速度はあらゆる望ましい走査範囲でも不規則に増大することはない。もし高い解像度又はバンド幅が望まれるなら、走査範囲は減少せざるを得ない。
【００１２】
〔発明の要約〕
本発明の目的は、端位置に可動部を位置固定する正確さを向上させる検査システムにおいて、可動部の位置固定のための方法及び装置を提供することである。
【００１３】
この目的は、独立請求項１に係る検査システムにおいて可動部の位置固定のための方法、及び独立請求項１１に係る検査システムにおいて可動部の位置固定のための装置、を手段とした本発明によって解決される。
【００１４】
本発明は、端位置において可動部を固定するという概念的な考えからなる。端位置は可動部に連結された作動部の動作により可動部が近づき得る位置である。そこで可動部に連結された固定部は媒体の貯蔵部の中で固定される。これは可動部を固定又は固着すると称される。すなわち、上記媒体の貯蔵部に固定部の少なくとも一部が浸されて液状の媒体が固形状に変質されることが達成される。液状と比較して固形状はかなり詳しく記載され得る。例えば液状と比較して上記媒体がより大きな粘着性を持つこと、又は固形物の特質そのものによってさえも特徴づけられる。この方法及び固定部を経由して、端位置において可動部に固定力が働く。媒体の貯蔵部に関連した端位置が固定されてから、可動部は停止位置に位置固定される。もし媒体の貯蔵部を形成する容器が検査システムにとっての他の関連システム例えば装置のフレーム、その他の構成部品に対して停止状態にあれば、可動部も関連システムに関連した端位置において停止状態が維持されるだろう。可動部が望まない方法において端位置からはみ出る状況を引き起こし得るような、端位置において可動部に支障をきたす影響は抑制又は完全に抑えられる。
【００１５】
上記に記載した方法において端位置に可動部を停止させた状態に固定することは、端位置において可動部の位置を高精度に保つことを可能にする。上記の高精度の程度は種々の実施例などに共通して望まれる。例えば、この方法により改良された力学空間分光法が作られ得る。なぜなら可動部を阻害する動きが防がれるからである。
【００１６】
本発明の更なる好ましい進歩によって以下の事が予見される。媒体として以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などといった流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる。上記ビンガム体はここではノンニュートン液体媒体であり、耐力が限度を超えたときのみ流れ始める。その効果は幾分の応力を剪断する。ノンニュートン媒体の例は塩水、ジェル、高濃度の検査液、合成物質、溶液、その他高分子物質の融液である。それ自体の耐力は、物質が流れるように適用されなければならない最低限の剪断力を必要とする物質要因である。本発明が意味する流体学的物質はここで液状から固形状に変質させられる。したがって、例えば電界（電界強度）又は磁気力（磁場強度）が適用される。この場合、力を受けた操作変数の変化によって耐力は増大される。
【００１７】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。液状から固形状に変質する媒体の変質につれて、固定力は初期の固定力から最終的な固定力まで連続的に増大する。固定力の連続的な増大特に耐力の連続的な増大は、可動部が固定される端位置に徐々に「すべるように動く」ことを可能にする。端位置において可動部が例えば作動部の偶発的な動きに誘発されて偶発的な動きを実行することに限れば、これらは固定力の連続した増大によって一つ一つ抑制及び制限される。
【００１８】
本発明の有利な実施形態によって以下の事が予見される。固定力は端位置においての可動部の偶発的な動きを抑制または完全に防止するように形成されている。端位置において可動部の偶発的な動きが抑制される範囲は、本発明に関連した方法においては固定力の大きさの選択によって決定される。固定力は通常端位置の可動部に作用する力の抵抗力としても作用する。したがって、もし固定力が存在しなければそれ自体が端位置からはみ出るような可動部の移動を引き起こす。
【００１９】
本発明のさらなる好ましい実施形態によって以下の事が予見される。固定部は作動部に連結されること、かつ媒体が液状から固形状に変質することにより作動部は位置固定される。この実施形態において以下の事が予見され得る。可動部を移動するための作動部の動きは固定部を経由して可動部に伝えられる。一つの実施形態において固定部及び作動部は互いに関連して移動可能であり、かつ互いに連結されている。端位置における可動部の固定は、固形状の媒体の支持による方法で達成され得る。これにより、固定部及び作動部は固定して配置される。
【００２０】
本発明の有利な実施形態によって以下の事が予見され得る。作動部は端位置において可動部が固定された後に可動部から分離される。作動部から分離後の可動部は固定力の作用により端位置に選択的かつ独占的に維持される。この実施形態に伴う固定力の支持によりとりわけ十分な維持力も供給され得る。この維持力は可動部の重力の影響に対しても作用する。さもなければ可能な実施形態として、可動部は重力を原因として端位置から動いてしまうだろう。作動部が可動部から分離される事実により、作動部の偶発的な動きが防止される。この動きは可動部の端位置において消極的な影響を有することに基づく動きである。圧電に設定された装置により適用された電界が、その騒音を原因とした作動部の結果として生じる動きを引き起こし得ることが知られている。圧電に設定された装置は電界を切ることにより引っ込み得る。
【００２１】
本発明のさらなる進歩は以下の事を予見し得る。媒体が液状から固形状に変質されるところで、操作変数によって媒体に力を与えることにより、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される。例えば、電磁気波は光として発せされ得る。特に波の周波数又はインビームエネルギーが設定され得る。これらの要素を組み合わせて変化させたものも予見され得る。
【００２２】
本発明の好ましい更なる進歩は以下の事を予見する。可動部は抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置に動かされる。上記抵抗を生じるガイド部品は例えば移動動作中に可動部を案内するガイドレールがある。しかしながら、他方で望まない摩擦の影響を引き起こし得るし、位置固定の正確さ又は移動の動きの自由度を制限してしまう。好ましい状況は、実施形態において２又は全方向である３空間方向において作動部の指示により可動部が自由に位置固定できることである。
【００２３】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。固定部は以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される。例えば結合機構は少なくとも一部が媒体に浸されて、液状から固形状に変質する媒体の変形により「中に固定」されることが予見され得る。同様に、テレスコープ機構は連結部の長さ調整が行われ得ることにより「中に固定」され得る。
【００２４】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。可動部の移動により以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される。多種多様の検査工程が知られているところの測定プローブ及び測定用試料は互いに関連して動かされる必要があるが、検査前又は検査中に信頼できる検査設定を成立され得る。走査プローブ顕微鏡がここで特に言及される。
【００２５】
検査システムにおいて可動部の位置固定のための装置の有利な実施形態は以下にごく詳細に記載されている。実施形態及び実施形態にとっての有利な特徴は、様々の関連方法にに準じた装置を作る。
【００２６】
本発明の好ましい更なる進歩は以下の事を予見する。媒体として、以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などといった流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる。
【００２７】
本発明のすぐれた実施形態によって予見され得ることは、液状から固形状に変質した媒体の変質によって、初期の固定力から最終的な固定力に固定力を連続的に増大させるように固定装置が構成されることである。
【００２８】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。端位置において可動部の偶発的な動きを抑制または完全に防止する固定力を形成するように固定装置が構成されることである。
【００２９】
本発明の更なる進歩により好ましくも以下の事が予見される。液状から固形状に媒体が変形することにより固定可能となった作動部に固定部が連結される。
【００３０】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。作動部は端位置において可動部が固定された後に可動部から分離される。可動部は作動部が分離された後で固定力の支持により端位置に選択的かつ独占的に維持される。可動部から作動部を分離するための準備段階の一つの形として予見され得る他の実施形態は、固定後の作動部はもはや駆動力の力を受けないことである。この状況がより進むとこれは止められる。電気駆動装置の場合には、これは例えば電気駆動電圧のスイッチが切られることを意味する。駆動力の停止にかかわらず作動部は可動部に結合されたままである。例えば作動部及び可動部の間の結合が固い例がある。
【００３１】
本発明のさらなる進歩は以下のことを予見し得る。制御装置が構成されていて、操作変数によって媒体に力を与えることにより媒体が液状から固形状に変質され、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される。
【００３２】
本発明の好ましい更なる進歩により以下の事が予見される。可動部は抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも端位置に動かされ得る。
【００３３】
本発明のすぐれた実施形態によって以下の事が予見され得る。固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される。
【００３４】
本発明の有利な実施形態により以下の事が予見される。可動部の移動により以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される。
【００３５】
本発明の好ましい更なる進歩により以下の事が予見される。作動部はこれから選択的に形成された圧電駆動素子に連結される。
【００３６】
上記に記載した一つの形式における可動部の位置固定のための装置が可動部の上にさらに配置される。それからそこのところで固定位置の構成部品に関連して、上記に言及した形式にしたがって移動されることが予見され得る。
【００３７】
このような配置が例えば走査装置としても周知の２つのｘ−ｙ−ｚ走査装置が互いに結合されることをもたらす。この方法により、例えばより小さい走査範囲が対象とされ得る場合でさえも、より早い走査の動きが実現され得る。後に固定装置は大まかな設置位置を取って互いに結合され、これに結合されたさらなる固定装置が正確な位置に取って代わる。固定装置の両方とも、上記に記載されたモデル型の一つに準じてそれ自体がそのようなものとして構成される。
【００３８】
〔発明の実施形態〕
本発明の基本となる種々の実施例についての詳細を図を参照して以下に記載する。参照とする図の説明を以下に示す。
【００３９】
図１ａ〜図１ｃに、本発明の一実施形態に係るフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示している。図２ａ及び図２ｂに、本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示している。図３ａは本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示している。
【００４０】
図１ａ及び図１ｂにフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す。
【００４１】
図１ａに示すように、可動部１は静止状態に形成されたフレーム４に、作動部２及びばね３を経由して連結されている。ばね３は他の実施形態では除かれても良い（不図示）。可動部１は作動部２にねじこまれるか、接着される。
【００４２】
図１ｂに示すように、所望の端位置における固定装置５によって、時間に関して可変制御され得る復元可能なエネルギー分散又は動作検査が導入される。
【００４３】
図１ｃに示すように、固定連結部６は固定装置５を支えるように可動部１とフレーム４との間に形成されている。例えば作動部２によって引き起こされ得る偶発的な動きの衝撃は固定連結部６により防止される。そのときに作動部２及びばね３の反作用はもはや問題にはならない。固定装置５の固定連結部６の中への移動はこのように行われ、固定力の作用は固定装置５の支持により連続的に増大する。その結果として作動部２の作用は連続的に減少する。この方法により可動部１と、端位置１０からはみ出た可動部１の移動を別の方法で引き起こす可能性のあるフレーム４との間の圧力は回避される。
【００４４】
図１ａ〜図１ｃには一次元の可動部の移動を示している。類似の方法による可動部１の移動は、例えば一平面のような一空間次元より多い次元で位置移動が起こることが予見され得る。固定連結の数は必ずしもそのとき固定された軸の数、又は自由の程度に一致させなければいけないわけではない。
【００４５】
図２ａ及び図２ｂに、本発明のさらなる一実施形態に係るフレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す。
【００４６】
図１ａ〜図１ｃに準じたこの配置において固定装置５、及び固定連結部６は電気流動学的液体のビンガム体によって置換され得る。図２ａに示すように電気流動学的液体は容器２０に保持される。容器２０の中に、２つの電極２２，２３が電源２４につながれた状態で沈められている。電源２４に支持されている２つの電極２２，２３に設定された電圧に応じて電気流動学的液体２１の硬化剤は誘発されて、最終的に図２に示すように固定連結部２５の形成に寄与する。容器２０はフレーム４に固く連結されている。
【００４７】
図３は、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示している。図３において、先に記載した図と同じ特性の部品には、先に記載した図と同様の符号番号が使われている。
【００４８】
図示した実施例において、走査装置である２つの位置固定装置が配置されている。低い位置の走査装置４０は上記に記載した方法に応じて配置され得て、その後フレーム４に関連した端位置１０が固定されると固定配置される。高い位置における可動の走査装置４１は構成部品３１と一体に形成され、配置構成部品３２及びばね３３は低い位置の走査装置４０と一体の可動部１に構成部品３５を経由して連結される。端位置１０は上記過程中に動かされないし妨害もされない。
【００４９】
簡略化の目的のため図３にはただ一つの軸線しか記載されていない。しかしながら、ｘ−ｙ走査装置１，２，３の固定、及び軽微な偏差３１，３２，３３を有する高速ｘ−ｙ−ｚ走査装置の動作も予見され得る。
【００５０】
上記の実施形態の有利な点は、端位置１０がフレーム４に対して非常に正確に配置され得て、これにより端位置１１も正確に配置され得るという事実である。これにより、動作を阻害する固定可能型走査装置を用いずとも、例えば高速度走査装置などの固定不可の走査装置の有利点を利用され得る。他方で、例えば大きい走査範囲といった、固定可能型走査装置の有利点も利用され得る。
【００５１】
この記述、請求項、及び図において明らかにされた本発明の特徴は、本発明の実現のために、その種々の実施形態の個々及び任意の組み合わせの両方に意義があり得る。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】ａ、ｂ、ｃは本発明の一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す図である。
【図２】ａ及びｂは本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の配置の概略図を示す図である。
【図３】本発明のさらなる一実施形態に係る、フレーム及びそれに関連した可動部の上にさらなる固定装置が形成されている配置の概略図を示す図である。
【図１ａ】
【図１ｂ】
【図１ｃ】
【図２ａ】
【図２ｂ】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法であって、
上記可動部（１）に連結された作動部（２）の支持によって、上記可動部（１）は定位置から離れて端位置（１０）まで移動され、上記作動部（２）は駆動力によって動かされ、かつ
上記可動部（１）は、上記可動部（１）に連結された固定部を経由して、上記端位置（１０）において上記可動部（１）を固定する固定力により固定され、上記固定部は媒体の貯蔵部に少なくとも一部が浸されて、液状から固形状に上記媒体が変質することによって上記媒体に位置固定され、操作変数によって力を与えられることにより、上記媒体は液状から固形状に変質される、方法。
【請求項２】
媒体として、以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などの流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記固定力は、初期の固定力から最終的な固定力まで、上記媒体が液状から固形状に変質するにつれて連続的に増大する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
固定装置は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）の偶発的な動きを抑制または完全に防止する上記固定力を作るように構成される、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
上記固定部は上記作動部（２）に連結され、かつ上記作動部（２）は上記媒体が液状から固形状に変質することにより位置固定される、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
上記作動部（２）は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）が固定された後に上記可動部（１）から分離され、上記可動部（１）は上記作動部（２）が分離された後で上記固定力の支持により上記端位置（１０）に選択的かつ独占的に維持される、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
上記媒体は、上記操作変数によって上記媒体に力を与えることにより、上記液状から上記固形状に変質され、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される、ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
上記可動部（１）は、抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置（１０）に動かされる、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
上記固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の一つの要素として形成される、ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
上記可動部（１）の移動により、以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される、ことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける可動部の位置固定のための装置であって、
可動部（１）と、
上記可動部（１）を定位置から離して端位置（１０）に移動させるように移動可能な作動部（２）であり、上記可動部（１）に連結された上記作動部（２）と、
上記可動部（１）に連結された固定部を備える固定装置と、
上記固定部の少なくとも一部が浸される媒体の貯蔵部と、
上記媒体を液状と固形状の状態間に変質させ、選択的には完全に固形の特徴になるように、操作変数によって上記媒体に力を与えるように構成された制御装置と、を備えた装置。
【請求項１２】
上記媒体は、以下の種類の材料群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などの流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択された少なくとも一種類の媒体である、ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
上記固定装置は、上記媒体が液状から固形状に変質するにつれて初期の固定力から最終的な固定力になる、すなわち固定力を絶えず増大するように構成されている、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の装置。
【請求項１４】
上記固定装置は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）の偶発的な動きを抑制するための上記固定力を作り出すように構成されている、ことを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
上記固定部は上記作動部（２）に連結されており、上記作動部（２）は上記媒体が上記液状から上記固形状に変質することにより位置固定され得る、ことを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
上記作動部（２）は、上記端位置（１０）においての上記可動部（１）の固定後に上記可動部（１）から分離され得て、上記作動部（２）の分離後に上記可動部（１）は固定力の選択的かつ独占的な支持により上記端位置（１０）に維持され得る、ことを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
上記制御装置は、上記操作変数によって上記媒体に力を与えることにより、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定されるように構成されている、ことを特徴とする請求項１１から１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
上記可動部（１）は、抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置（１０）に動かされる、ことを特徴とする請求項１１から１７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
上記固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される、ことを特徴とする請求項１１から１８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
上記可動部（１）は、以下の動作機能群：測定用試料及び測定プローブから選択された機能構成部品として構成される、ことを特徴とする請求項１１から１９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
上記作動部（２）は圧電駆動素子に連結されている、ことを特徴とする請求項１１から２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１】
検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける、可動部の位置固定のための方法であって、
上記可動部（１）に連結された作動部（２）の支持によって、上記可動部（１）は定位置から離れて端位置（１０）まで移動され、上記作動部（２）は駆動力によって動かされ、かつ
上記可動部（１）は、上記可動部（１）に連結された固定部を経由して、上記端位置（１０）において上記可動部（１）を固定する固定力により固定され、上記固定部は媒体の貯蔵部に少なくとも一部が浸されて、液状から固形状に上記媒体が変質することによって上記媒体に位置固定され、操作変数によって力を与えられることにより、上記媒体は液状から固形状に変質される、方法。
【請求項２】
媒体として、以下の種類の物質群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などの流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択される少なくとも一つの種類の物質の媒体を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記固定力は、初期の固定力から最終的な固定力まで、上記媒体が液状から固形状に変質するにつれて連続的に増大する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
固定装置は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）の偶発的な動きを抑制または完全に防止する上記固定力を作るように構成される、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
上記固定部は上記作動部（２）に連結され、かつ上記作動部（２）は上記媒体が液状から固形状に変質することにより位置固定される、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
上記作動部（２）は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）が固定された後に上記可動部（１）から分離され、上記可動部（１）は上記作動部（２）が分離された後で上記固定力の支持により上記端位置（１０）に選択的かつ独占的に維持される、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
上記媒体は、上記操作変数によって上記媒体に力を与えることにより、上記液状から上記固形状に変質され、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定される、ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
上記可動部（１）は、抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置（１０）に動かされる、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
上記固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の一つの要素として形成される、ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
上記可動部（１）の移動により、以下の動作機能群：測定用試料の移動及び測定プローブの移動から選択された少なくとも一つの動作機能が実行される、ことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
検査システム、特に測定システム又は分析システムにおける可動部の位置固定のための装置であって、
可動部（１）と、
上記可動部（１）を定位置から離して端位置（１０）に移動させるように移動可能な作動部（２）であり、上記可動部（１）に連結された上記作動部（２）と、
上記可動部（１）に連結された固定部を備える固定装置と、
上記固定部の少なくとも一部が浸される媒体の貯蔵部と、
上記媒体を液状と固形状の状態間に変質させ、選択的には完全に固形の特徴になるように、操作変数によって上記媒体に力を与えるように構成された制御装置と、を備えた装置。
【請求項１２】
上記媒体は、以下の種類の材料群：電気流動学的物質又は電磁気流動学的物質などの流動学的物質、及びビンガム体から状況に応じて選択された少なくとも一種類の媒体である、ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
上記固定装置は、上記媒体が液状から固形状に変質するにつれて初期の固定力から最終的な固定力になる、すなわち固定力を絶えず増大するように構成されている、ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の装置。
【請求項１４】
上記固定装置は、上記端位置（１０）において上記可動部（１）の偶発的な動きを抑制するための上記固定力を作り出すように構成されている、ことを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
上記固定部は上記作動部（２）に連結されており、上記作動部（２）は上記媒体が上記液状から上記固形状に変質することにより位置固定され得る、ことを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
上記作動部（２）は、上記端位置（１０）においての上記可動部（１）の固定後に上記可動部（１）から分離され得て、上記作動部（２）の分離後に上記可動部（１）は固定力の選択的かつ独占的な支持により上記端位置（１０）に維持され得る、ことを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
上記制御装置は、上記操作変数によって上記媒体に力を与えることにより、以下の要素群：温度、インビーム電磁気波、電界、及び電磁気力から選択された少なくとも一つの要素が設定されるように構成されている、ことを特徴とする請求項１１から１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
上記可動部（１）は、抵抗を生じるガイド部品の案内が無くとも上記端位置（１０）に動かされる、ことを特徴とする請求項１１から１７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
上記固定部は、以下の機構群：結合機構及びテレスコープ機構から選択された機構の要素として形成される、ことを特徴とする請求項１１から１８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
上記可動部（１）は、以下の動作機能群：測定用試料及び測定プローブから選択された機能構成部品として構成される、ことを特徴とする請求項１１から１９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
上記作動部（２）は圧電駆動素子に連結されている、ことを特徴とする請求項１１から２０のいずれか１項に記載の装置。
【図３】
【公表番号】特表２００９−５１０４０８（Ｐ２００９−５１０４０８Ａ）
【公表日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５３２５９５（Ｐ２００８−５３２５９５）
【出願日】平成１８年９月２９日（２００６．９．２９）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＤＥ２００６／００１７２２
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０３６２２２
【国際公開日】平成１９年４月５日（２００７．４．５）
【出願人】（５０７０３８２４９）イェーペーカー インストゥルメンツ アクチエンゲゼルシャフト (4)
【公表日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２９日（２００６．９．２９）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＤＥ２００６／００１７２２
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０３６２２２
【国際公開日】平成１９年４月５日（２００７．４．５）
【出願人】（５０７０３８２４９）イェーペーカー インストゥルメンツ アクチエンゲゼルシャフト (4)
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