検査用磁気ヘッド

【課題】衝突せずに磁気記録媒体の表面の突起等の凹凸の検出を行うことを課題とする。
【解決手段】浮動式の磁気ヘッドスライダ１を備え、この磁気ヘッド用スライダ１に、他物体の接近により周波数変動を生じる水晶振動素子２を装備した。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査用磁気ヘッドに係り、特に、磁気記録媒体表面上の凹凸の検出を行う検出用磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、マルチメディア情報時代に向けたギガクラスの磁気記録媒体の開発が進められている。特に、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）の開発によりトラック高密度化（ＴＰＩ）が急激に増加し、高記憶容量（ＴＰＩ×線密度（ＢＰＩ））化に至っている。また、ヘッド浮上量の低浮上量化に伴い、磁気記録媒体表面の突起物と磁気ヘッドとのインターフェースが磁気ディスク装置の信頼性に大きく左右されている。
【０００３】従来の磁気記録媒体（磁気ディスク）Ｄの表面の突起物Ｔを検出する検出用磁気ヘッド５０を図３に示す。この検出用磁気ヘッド５０は、磁気ヘッドスライダ５１の上面にＡＥ（アコステック・エミッション）素子５２又はピエゾ素子が接着装備され、磁気ヘッドコアスライダ５１の後端面にＭＲ（磁気抵抗効果）素子５３が装備されている。
【０００４】かかる検出用磁気ヘッド５０では、回転する磁気ディスクＤの表面上に、磁気ヘッドスライダ５１を一定の高さで浮動させ、磁気ディスクＤの表面に一定の高さ以上の突起Ｔが存在する場合に、かかる突起Ｔと磁気ヘッドスライダ５１とが衝突し、その際に生じる接触エネルギー及び衝撃熱エネルギーをＡＥ素子５２及びＭＲ素子５３によって検出を行う構成となっている。
【０００５】図４は、ＡＥ素子５２の出力状態を示している。この図によれば、上述した検出用磁気ヘッド５０では、０．０４［μｍ］以上の突起Ｔが検出用磁気ヘッド５０の進行方向にある場合に磁気ヘッドスライダ５１に衝突し、ＡＥ素子５２は、通常よりも高い数値で出力電圧を生じるようになっている。観測者は、高い電圧で出力された場合に突起Ｔを認識することが可能となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来例は、磁気ヘッドスライダ５１が突起Ｔに衝突しなければ検出が不可能であり、衝突しない高さの突起や傷及びへこみ等は検出することができなかった。また、衝突によって検出を行うため、検出用磁気ヘッド５０又は磁気ディスクに破損や故障を生じる場合があり、装置の保守性や信頼性を損なうという不都合があった。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、磁気記録媒体表面の凹凸の検出ができると共に、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの表面との接触を要しない検出用磁気ヘッドを提供することをその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明は、浮動式の磁気ヘッドスライダを備え、この磁気ヘッド用スライダに、他物体の接近により周波数変動を生じる水晶振動素子を装備するという構成を採っている。
【０００９】上記の構成では、水晶振動素子に所定周波数の電流が流された状態で、磁気記録媒体の表面上を浮動して走行する磁気ヘッドスライダに対して、突起やへこみ等により当該磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体との距離変化が生じると、これにより水晶振動素子の発振周波数に変化が生じ、かかる変化によって磁気記録媒体の表面の凹凸の検出が行われる。
【００１０】上述の水晶振動素子は、磁気ヘッドスライダの後部，望ましくは、後端面に装備しても良い。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１及び図２R>２に基づいて説明する。
【００１２】本実施形態は、図１に示す如く、浮動式の磁気ヘッドスライダ１を備え、この磁気ヘッド用スライダ１に、当該スライダ１と磁気記録媒体（磁気ディスクＤ）表面との離間距離検出用の水晶振動素子２を装備する検出用磁気ヘッド１０を示している。
【００１３】上述の磁気ヘッドスライダ１は、磁気ディスクに対して読み出し書き込みを行う通常のものと同じものが使用される。即ち、磁気ヘッドスライダ１は、通常の磁気ヘッドと同様にして図示を省略した板バネ状のアーム先端に支持されており、かかるアームは、回転駆動を自在に装備された磁気ディスクＤの略半径方向に沿って自在に回動する。このため、回転する磁気ディスクＤの表面上のほぼ全域に対して磁気ヘッドスライダ１を案内することが可能である。
【００１４】また、この磁気ヘッドスライダ１は、アームにより磁気ディスクＤの表面に向かって押圧されており、このため、磁気ヘッドスライダ１は、磁気ディスクＤが静止状態にある場合には当該磁気ディスクＤに接触しており、回転を開始すると、その空気流に乗って磁気ディスクＤの表面から浮上し浮動を開始するようになっている。かかる浮動状態にある磁気ヘッドスライダ１は、磁気ディスクＤに対する相対的な進行方向の下流側部分（後部）は、上流側部分に比べて磁気ディスクＤに近接した状態で浮動する。
【００１５】磁気ヘッドスライダ１の後部側の後端面１ａには、前述したように、水晶振動素子２が接着等により装備されている。この水晶振動素子２は、水晶板とこの水晶板に付設された二つの電極とから主に構成されており、これらの電極を介して所定周波数の電流が流されると共に発振周波数の検出が行われる。即ち、かかる水晶振動素子２は、振動状態（ここでは１０［ＭＨｚ］程度とするが、特にこれに限定されず１〜２５［ＭＨｚ］程でも良い）にある場合、物体が近づくか或いは離間すると、水晶振動素子の共振インピーダンスが変化し、固有周波数から発信周波数の変動が生じる性質を有しており（物体の素材は、何でも良く、例えば液体に対しても周波数の変動が生じる）、かかる性質を利用して、磁気ディスクＤの表面全体に渡ってその凹凸の検出を行うものである。
【００１６】図２は、水晶振動素子２と磁気ディスクＤの表面との距離Ｈと、水晶振動素子の振動周波数Ｓとの関係を示している。これによれば、距離Ｈが０．０４〜０．０１［μｍ］まで変化する場合に、振動周波数Ｓが１４０〜７００［Ｈｚ］にほぼ一様な割合で変動する。このため、磁気ディスクＤの表面に突起或いは傷等がある場合には、その大きさに応じて水晶振動素子２の振動周波数に変動が生じ、かかる変動の観測により磁気ディスクＤの表面の突起、傷等を発見することができる。
【００１７】上述した検出用磁気ヘッド１０は、回転する磁気ディスクＤに対してアームにより磁気ディスクＤの半径方向に徐々に送られ、これにより磁気ディスクＤの表面全体に対して凹凸の検出が行われる。即ち、磁気ヘッドスライダ１は、その後端面１ａを磁気ディスクＤ側に傾斜させた状態で浮動し、水晶振動素子２は、この後端面１ａにおいて一定の周波数で振動を行う。
【００１８】そして、磁気ディスクＤの表面に突起等がある場合に、水晶振動素子２では、周波数変動を生じ、これが水晶振動素子２の電極から磁気ヘッドスライダ１を支持するアームに設けられた配線を介して観測装置に検出される。
【００１９】以上のように、本実施形態によれば、磁気ヘッドスライダ１を衝突させることなく磁気ディスクＤの凹凸，即ち突起Ｔや傷等の検出を行うことが可能である。このため、浮動状態にある磁気ヘッドスライダ１に届かない高さの突起や凹みの検出も可能であると共に、衝突による検出用磁気ヘッド１０又は磁気ディスクＤに破損を生じることがなく、保守性の向上を図ることが可能となっている。
【００２０】また、水晶振動素子の周波数は、図２に示すように当該水晶振動素子と磁気ディスクとの距離に応じてほぼ一定の割合で変動するため、周波数の検出しにより磁気ディスクの突起又は傷等の高さ，深さまで検出することが可能である。
【００２１】なお、上述した磁気ヘッドスライダ１は、寸法，形状，又は重量等の変更により、その浮上量を変更しても良い。上述のように、磁気ディスクＤの表面から離れた位置から凹凸の検出が可能であるため、磁気ヘッドスライダ１の浮上量を、高めに設定し、磁気ディスクＤの表面上の突起Ｔと磁気ヘッドスライダ１との衝突を必ず回避する構成としても良い。
【００２２】
【発明の効果】本発明では、水晶振動素子の振動周波数の変動により磁気記録媒体の表面上の突起や傷等の凹凸の検出を行うため、従来のように磁気ヘッドスライダを衝突させる必要がない。このため、浮動状態にある磁気ヘッドスライダに届かない高さの突起や凹みの検出も可能であると共に、衝突による検出用磁気ヘッド又は磁気記録媒体に破損を生じることがなく、保守性の向上を図ることが可能となっている。
【００２３】また、水晶振動素子を磁気ヘッドスライダの後部，特に後端面に装備した場合には、磁気ヘッドスライダの他の部分と比較して、磁気記録媒体の表面に近接した位置から検出を行うことが可能となる。
【００２４】以上のように、本発明により従来にない優れた検出用磁気ヘッドを提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は本発明の一実施形態の斜視図であり、図１（Ｂ）は側面図である。
【図２】水晶振動素子と磁気ディスクの表面との距離と、水晶振動素子の変動周波数との関係を示す線図である。
【図３】従来例の斜視図である。
【図４】衝突によるＡＥ素子からの出力電圧の変化を示す線図である。
【符号の説明】
１磁気ヘッドスライダ
１ａ後端面
２水晶振動素子
１０検出用磁気ヘッド
Ｄ磁気ディスク（磁気記録媒体）
Ｔ突起

【特許請求の範囲】
【請求項１】浮動式の磁気ヘッドスライダを備え、この磁気ヘッド用スライダに、他物体の接近により周波数変動を生じる水晶振動素子を装備したことを特徴とする検査用磁気ヘッド。
【請求項２】前記水晶振動素子は、磁気ヘッドスライダの後部に装備したことを特徴とする請求項１記載の検査用磁気ヘッド。
【請求項３】前記水晶振動素子は、磁気ヘッドスライダの後端面に装備したことを特徴とする請求２記載の検査用磁気ヘッド。

【図１】