磁気記録媒体
【課題】 ターンテーブルの回転中心に対する位置精度の向上を図る。
【解決手段】 情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックＴ、Ｔ、・・・と、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体１００において、ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブル３の回転中心に対する位置決め用の位置決めマーク２００、２００、２００を形成した。
【解決手段】 情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックＴ、Ｔ、・・・と、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体１００において、ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブル３の回転中心に対する位置決め用の位置決めマーク２００、２００、２００を形成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体についての技術分野に関する。詳しくは、ディスクリート溝に対して同心円上に位置する位置決めマークを形成し、ターンテーブルの回転中心に対する位置精度の向上を図る技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューター、カメラ装置、携帯電話、録音録画用の装置等の各種の電子機器には、磁気記録媒体に対して情報信号の記録又は再生を行うハードディスクドライブ装置が組み込まれているものが多い。
【０００３】
磁気記録媒体には、近年の高密度記録化に対応するために、隣接する磁気トラックが磁気的に分離された所謂ディスクリート型の磁気記録媒体がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなディスクリート型の磁気記録媒体にあっては、同心円状又は螺旋状の磁気トラックが形成され、隣接する磁気トラック間に両者を磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状のディスクリート溝が形成されている。従って、ディスクリート溝によって隣接する磁気トラック間の磁気的な相互干渉が防止され、磁気トラックのピッチを狭めることが可能となり、高密度記録化を図ることができる。
【０００５】
一般に、磁気記録媒体は、その中心部に形成された装着孔にターンテーブルのセンターリング突部が挿入されてターンテーブルに装着され、スピンドルモーターの回転によるターンテーブルの回転に伴って回転される。磁気記録媒体が回転されると、板バネによって支持された浮上ヘッドが、磁気記録媒体に対して所定の間隙で浮上した状態で磁気トラックを追従して動作されることにより、情報信号の記録再生が行われる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１１０８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記した磁気記録媒体にあっては、ターンテーブルのセンターリング突部が挿入される装着孔の中心、即ち、磁気記録媒体の中心と磁気トラックの中心との間に、製造精度上の位置ずれが生じている可能性がある。
【０００８】
また、装着孔にはターンテーブルのセンターリング突部が挿入されるため、装着孔の内径がセンターリング突部の外径に対して僅かに大きく形成されている。従って、磁気記録媒体がターンテーブルに装着された状態において、装着孔の中心とターンテーブルの回転中心との間に位置ずれが生じている可能性もある。
【０００９】
さらに、装着孔の製造上の公差によっても、装着孔の中心とターンテーブルの回転中心との間に位置ずれが生じている可能性もある。
【００１０】
このような位置ずれが生じてしまうと、浮上ヘッドの磁気トラックに対する追従性が悪化し、記録再生特性の劣化を来たすおそれがある。
【００１１】
特に、ディスクリート型の磁気記録媒体のように、記録トラックのピッチが小さい高密度記録化を図ることが可能な磁気記録媒体にあっては、位置ずれによる影響が大きいという問題がある。
【００１２】
そこで、本発明磁気記録媒体は、上記した問題点を克服し、ターンテーブルの回転中心に対する位置精度の向上を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明磁気記録媒体は、上記した課題を解決するために、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成したものである。
【００１４】
従って、本発明ディスク状記録媒体にあっては、位置決めマークの中心とターンテーブルの回転中心とが一致されることにより、磁気記録媒体のターンテーブルに対する位置合わせが行われる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明磁気記録媒体は、情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックと、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体であって、ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成したことを特徴とする。
【００１６】
従って、位置決めマークの中心とターンテーブルの回転中心とを一致させることにより、磁気記録媒体のターンテーブルに対する位置合わせが行われ、ディスクテーブルに対するディスクリート溝及び磁気トラックの良好な位置精度を容易に確保することができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【００１７】
請求項２に記載した発明にあっては、上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に周方向において離隔する複数の位置決め孔又は位置決め凹部を形成したので、位置決め孔又は位置決め溝をクランプしてターンテーブルに装着することにより磁気記録媒体の良好な平面度が維持され、良好な記録再生動作を確保することができる。
【００１８】
請求項３に記載した発明にあっては、上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に光学的に認識可能な円環状又は複数の円弧状の位置決め部を形成したので、位置決め部の中心の検出が容易であり、磁気記録媒体のディスクテーブルに対する位置決め作業における作業性の向上を図ることが可能である。
【００１９】
請求項４に記載した発明にあっては、上記ディスクリート溝及び位置決めマークをエッチングにより同時に形成したので、位置決めマークのディスクリート溝に対する位置精度の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明磁気記録媒体を実施するための最良の形態を添付図面に従って説明する。
【００２１】
磁気記録媒体１００は、図１に示すように、例えば、ハードディスクドライブ装置１の内部に配置されている。
【００２２】
ハードディスクドライブ装置１は、ケース体２内に所要の各機構が配置されて成り、該ケース体２は基台２ａとトップカバー２ｂによって形成されて成る。
【００２３】
基台２ａには図示しないスピンドルモータによって回転されるターンテーブル３が設けられ、該ターンテーブル３には磁気記録媒体１００の中心部に形成された装着孔１００ａに挿入されるセンターリング突部３ａが設けられている。
【００２４】
磁気記録媒体１００は、図２に示すように、装着孔１００ａにターンテーブル３のセンターリング突部３ａが挿入された状態で、内周部がクランパー４によって押さえられ、ターンテーブル３に対して固定された状態で装着されている。磁気記録媒体１００はターンテーブル３の回転に伴って回転される。
【００２５】
ケース体２の基台２ａには回動型アクチュエーター５が配置されている（図１参照）。回動型アクチュエーター５は回動部６、ピボット７、駆動用マグネット８及びヨーク９を備え、回動部６は保持体１０とサスペンション１１、１１と浮上ヘッド１２、１２とを有している。
【００２６】
保持体１０はサスペンション保持部１３とコイル保持部１４とを有している。
【００２７】
サスペンション保持部１３には、サスペンション１１、１１がその厚み方向に離隔した状態で取り付けられている。サスペンション１１、１１は、保持体１０から突出され、各先端部に浮上ヘッド１２、１２が配置されている。サスペンション１１、１１は浮上ヘッド１２、１２を所定の荷重で磁気記録媒体１００側に付勢する板バネとしての機能を有している。
【００２８】
コイル保持部１４には駆動用コイル１５が保持されている。
【００２９】
サスペンション１１、１１には、それぞれ導電用配線板１６、１６が貼着されている。導電用配線板１６、１６は、各一端部がそれぞれ浮上ヘッド１２、１２に接続されている。
【００３０】
駆動用マグネット８はヨーク９の内面に取り付けられ、保持体１０に保持された駆動用コイル１５と対向した状態で位置される。
【００３１】
基台２ａ上には回動型アクチュエーター５の動作の制御を行うための回路基板１７が配置されている。回路基板１７にはフレキシブルプリント配線板１８が接続されている。
【００３２】
フレキシブルプリント配線板１８は駆動用コイル１５への接続用のコイル用導線部と浮上ヘッド１２、１２への接続用のヘッド用導線部とを有し、コイル用導線部に駆動用コイル１５の両端部が接続され、ヘッド用導線部に導電用配線板１６、１６の他端部が接続されている。
【００３３】
回路基板１７には接続用基板１９の一端部が接続され、該接続用基板１９はケース体４から外部へ導出され、例えば、パーソナルコンピューター等の各種の電子機器の図示しないメイン基板（マザーボード）等に接続される。
【００３４】
磁気記録媒体１００には、図３及び図４に示すように、内周部と外周部を除いた部分に同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックＴ、Ｔ、・・・と、隣接する磁気トラックＴ、Ｔ、・・・を磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・とが半径方向において交互に形成されている。
【００３５】
磁気記録媒体１００の内周部と外周部は、それぞれ磁気トラックＴ、Ｔ、・・・が形成されていない非記録領域１００ｂ、１００ｃとして形成され、例えば、非記録領域１００ｂには、周方向に離隔して位置決め孔２００、２００、２００が形成されている（図３参照）。
【００３６】
位置決め孔２００、２００、２００は、磁気記録媒体１００が装着されるターンテーブル３の回転中心に対する位置決め用の位置決めマークとして機能し、周方向において等間隔の位置に形成され、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対して同心円上に位置されている。
【００３７】
尚、位置決め孔２００、２００、２００は磁気記録媒体１００の外周部である非記録領域１００ｃに形成されていてもよく、また、その数も３つに限られることはなく、３つ以上であれば任意である。
【００３８】
また、位置決めマークとしては、位置決め孔２００、２００、２００に限られることはなく、例えば、一方に開口された位置決め溝であってもよい。
【００３９】
上記のような磁気記録媒体１００は、例えば、図示しない装着装置によって位置決め孔２００、２００、２００がそれぞれクランプされ、該位置決め孔２００、２００、２００の中心がターンテーブル３の中心に一致された状態でターンテーブル３に装着される（図２参照）。ターンテーブル３に装着された磁気記録媒体１００は、その内周部がクランパー４によって押さえられ、ターンテーブル３に固定される。
【００４０】
以下に、磁気記録媒体１００の製造方法の概略を説明する（図５乃至図１０参照）。
【００４１】
先ず、被加工体５０を用意する（図５参照）。被加工体５０は、ガラス基板５１、下地層５２、記録層５３、マスク層５４及びレジスト層５５が順に積層されて成る。下地層５２は、例えば、クロム系合金によって形成され、記録層５３は、例えば、コバルト、クロム、白金等の合金によって形成され、マスク層５４は、例えば、珪素等によって形成され、レジスト層５５は、例えば、ネガ型レジストによって形成されている。
【００４２】
次に、被加工体５０のレジスト層５５に分割パターンに相当する溝５５ａ、５５ａ、・・・を形成する（図６参照）。この分割パターンは磁気トラックＴ、Ｔ、・・・を磁気的に分離するために前工程として形成するパターンである。溝５５ａ、５５ａ、・・・の形成は、転写手段を用いてインプリント法やリソグラフィにより行う。この状態では、溝５５ａ、５５ａ、・・・の底面部にレジスト層５５の一部が残存する。
【００４３】
次いで、レジスト剥離装置（アッシング装置）を用いて、溝５５ａ、５５ａ、・・・の底面部に残存するレジスト層５５を除去する（図７参照）。
【００４４】
次に、イオンエッチング装置を用いて、残存するレジスト層５５及び溝５５ａ、５５ａ、・・・に対応するマスク層５４の部分を除去する（図８参照）。溝５５ａ、５５ａ、・・・に対応するマスク層５４の部分を除去することにより、マスク層５４に溝５４ａ、５４ａ、・・・が形成される。
【００４５】
次に、イオンビームエッチング装置を用いて、残存するマスク層５４及び溝５４ａ、５４ａ、・・・に対応する記録層５３の部分を除去する（図９参照）。このとき、同時に、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝をエッチングにより形成する。溝５４ａ、５４ａ、・・・に対応する記録層５３の部分を除去することにより、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・が形成される。
【００４６】
最後に、膜形成装置を用いて、記録層５３の表面及びディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に保護膜５６（又は潤滑膜５６）を形成する（図１０参照）。保護膜５６の表面は、望ましくは、図１０に示すように、平滑面に形成し、磁気記録媒体１００の製造を完了する。このように保護膜５６を平滑面に形成することにより、浮上ヘッド１２を磁気記録媒体１００に対して良好な位置精度で浮上させることが可能となり、浮上ヘッド１２の浮上状態の安定性を図ることができる。
【００４７】
尚、保護膜５６は、図１１に示すように、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に充填された部分の表面が凹状に形成されていてもよく、または、図１２に示すように、記録層５３上に形成された部分の表面とディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に充填された部分の表面とが段差形状を為すように形成されていてもよい。保護膜５６をこのような状態で形成する場合にあっても、記録層５３の表面とディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の底面に同一の厚みで保護膜５６を形成する場合に比し、浮上ヘッド１２の浮上状態が安定する。
【００４８】
上記には、位置決めマークとして、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝を形成した例を示したが、例えば、図１３及び図１４に示すように、位置決めマークとして、光学的又は顕微鏡的に認識可能な円環状の位置決め部３００又は複数の円弧状の位置決め部４００、４００、４００を非記録領域１００ｂ又は非記録領域１００ｃに形成してもよい。
【００４９】
このような位置決め部３００、４００、４００、４００は、例えば、ミラーや透明の部分として形成し、検出光を反射又は透過させることにより認識可能とすることが考えられる。
【００５０】
位置決め部３００、４００、４００、４００が形成された磁気記録媒体１００のターンテーブル３への装着は、位置決め部３００の中心又は位置決め部４００、４００、４００の中心を検出し、この検出した中心をターンテーブル３の回転中心に一致させた状態で行う。
【００５１】
以上に記載した通り、磁気記録媒体１００にあっては、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対して同心円上に位置する位置決めマーク（位置決め孔２００、２００、２００、位置決め溝、位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００）を形成しているため、位置決めマークの中心とターンテーブル３の回転中心とを一致させることにより、磁気記録媒体１００のターンテーブル３に対する位置合わせが行われ、ディスクテーブル３に対するディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・及び磁気トラックＴ、Ｔ、・・・の良好な位置精度を容易に確保することができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【００５２】
尚、一般に、ハードディスク等のディスク状記録媒体の平面度はナノオーダーで管理する必要があるが、ディスク状記録媒体の外形をクランプしてターンテーブル３に装着した場合にはディスク状記録媒体に変形が生じ平面度が低下するおそれがある。
【００５３】
従って、上記のように、位置決めマークとして位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝を形成し、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝をクランプしてターンテーブル３に装着することにより磁気記録媒体１００の良好な平面度が維持され、良好な記録再生動作を確保することができる。
【００５４】
一方、位置決めマークとして光学的又は顕微鏡的に認識可能な位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００を形成した場合には、位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００の中心の検出が容易であり、磁気記録媒体１００のディスクテーブル３に対する位置決め作業における作業性の向上を図ることが可能である。
【００５５】
また、上記のように、位置決めマークの形成をディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の形成と同時に行うことにより、位置決めマークのディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対する位置精度の向上を図ることができる。
【００５６】
尚、位置決めマークは必ずしもディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・と同時に形成する必要はなく、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の形成に前後して形成してもよい。
【００５７】
上記した最良の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】図２乃至図１４と共に本発明の最良の形態を示すものであり、本図は、ハードディスクドライブ装置の概略斜視図である。
【図２】磁気記録媒体がディスクテーブルに装着された状態を示す拡大断面図である。
【図３】磁気記録媒体を概念的に示す平面図である。
【図４】磁気記録媒体の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図５】図６乃至図１０と共に磁気記録媒体の製造方法の一例を示すものであり、本図は被加工体を示す拡大断面図である。
【図６】被加工体のレジスト層に分割パターンに相当する溝を形成した状態を示す拡大断面図である。
【図７】溝の底面部に残存するレジスト層を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図８】残存するレジスト層及び溝に対応するマスク層の部分を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図９】残存するマスク層及び溝に対応する記録層の部分を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図１０】記録層の表面及びディスクリート溝に保護膜を形成して磁気記録媒体の製造を完了した状態を示す拡大断面図である。
【図１１】保護膜の形成状態の別の例を示す拡大断面図である。
【図１２】保護膜の形成状態のまた別の例を示す拡大断面図である。
【図１３】別の位置決めマークを形成した例を示す磁気記録媒体の概略平面図である。
【図１４】また別の位置決めマークを形成した例を示す磁気記録媒体の概略平面図である。
【符号の説明】
【００５９】
３…ターンテーブル、１００…磁気記録媒体、Ｔ…磁気トラック、Ｇ…ディスクリート溝、２００…位置決め孔（位置決めマーク）、３００…位置決め部（位置決めマーク）、４００…位置決め部（位置決めマーク）
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体についての技術分野に関する。詳しくは、ディスクリート溝に対して同心円上に位置する位置決めマークを形成し、ターンテーブルの回転中心に対する位置精度の向上を図る技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューター、カメラ装置、携帯電話、録音録画用の装置等の各種の電子機器には、磁気記録媒体に対して情報信号の記録又は再生を行うハードディスクドライブ装置が組み込まれているものが多い。
【０００３】
磁気記録媒体には、近年の高密度記録化に対応するために、隣接する磁気トラックが磁気的に分離された所謂ディスクリート型の磁気記録媒体がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなディスクリート型の磁気記録媒体にあっては、同心円状又は螺旋状の磁気トラックが形成され、隣接する磁気トラック間に両者を磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状のディスクリート溝が形成されている。従って、ディスクリート溝によって隣接する磁気トラック間の磁気的な相互干渉が防止され、磁気トラックのピッチを狭めることが可能となり、高密度記録化を図ることができる。
【０００５】
一般に、磁気記録媒体は、その中心部に形成された装着孔にターンテーブルのセンターリング突部が挿入されてターンテーブルに装着され、スピンドルモーターの回転によるターンテーブルの回転に伴って回転される。磁気記録媒体が回転されると、板バネによって支持された浮上ヘッドが、磁気記録媒体に対して所定の間隙で浮上した状態で磁気トラックを追従して動作されることにより、情報信号の記録再生が行われる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１１０８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記した磁気記録媒体にあっては、ターンテーブルのセンターリング突部が挿入される装着孔の中心、即ち、磁気記録媒体の中心と磁気トラックの中心との間に、製造精度上の位置ずれが生じている可能性がある。
【０００８】
また、装着孔にはターンテーブルのセンターリング突部が挿入されるため、装着孔の内径がセンターリング突部の外径に対して僅かに大きく形成されている。従って、磁気記録媒体がターンテーブルに装着された状態において、装着孔の中心とターンテーブルの回転中心との間に位置ずれが生じている可能性もある。
【０００９】
さらに、装着孔の製造上の公差によっても、装着孔の中心とターンテーブルの回転中心との間に位置ずれが生じている可能性もある。
【００１０】
このような位置ずれが生じてしまうと、浮上ヘッドの磁気トラックに対する追従性が悪化し、記録再生特性の劣化を来たすおそれがある。
【００１１】
特に、ディスクリート型の磁気記録媒体のように、記録トラックのピッチが小さい高密度記録化を図ることが可能な磁気記録媒体にあっては、位置ずれによる影響が大きいという問題がある。
【００１２】
そこで、本発明磁気記録媒体は、上記した問題点を克服し、ターンテーブルの回転中心に対する位置精度の向上を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明磁気記録媒体は、上記した課題を解決するために、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成したものである。
【００１４】
従って、本発明ディスク状記録媒体にあっては、位置決めマークの中心とターンテーブルの回転中心とが一致されることにより、磁気記録媒体のターンテーブルに対する位置合わせが行われる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明磁気記録媒体は、情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックと、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体であって、ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成したことを特徴とする。
【００１６】
従って、位置決めマークの中心とターンテーブルの回転中心とを一致させることにより、磁気記録媒体のターンテーブルに対する位置合わせが行われ、ディスクテーブルに対するディスクリート溝及び磁気トラックの良好な位置精度を容易に確保することができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【００１７】
請求項２に記載した発明にあっては、上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に周方向において離隔する複数の位置決め孔又は位置決め凹部を形成したので、位置決め孔又は位置決め溝をクランプしてターンテーブルに装着することにより磁気記録媒体の良好な平面度が維持され、良好な記録再生動作を確保することができる。
【００１８】
請求項３に記載した発明にあっては、上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に光学的に認識可能な円環状又は複数の円弧状の位置決め部を形成したので、位置決め部の中心の検出が容易であり、磁気記録媒体のディスクテーブルに対する位置決め作業における作業性の向上を図ることが可能である。
【００１９】
請求項４に記載した発明にあっては、上記ディスクリート溝及び位置決めマークをエッチングにより同時に形成したので、位置決めマークのディスクリート溝に対する位置精度の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明磁気記録媒体を実施するための最良の形態を添付図面に従って説明する。
【００２１】
磁気記録媒体１００は、図１に示すように、例えば、ハードディスクドライブ装置１の内部に配置されている。
【００２２】
ハードディスクドライブ装置１は、ケース体２内に所要の各機構が配置されて成り、該ケース体２は基台２ａとトップカバー２ｂによって形成されて成る。
【００２３】
基台２ａには図示しないスピンドルモータによって回転されるターンテーブル３が設けられ、該ターンテーブル３には磁気記録媒体１００の中心部に形成された装着孔１００ａに挿入されるセンターリング突部３ａが設けられている。
【００２４】
磁気記録媒体１００は、図２に示すように、装着孔１００ａにターンテーブル３のセンターリング突部３ａが挿入された状態で、内周部がクランパー４によって押さえられ、ターンテーブル３に対して固定された状態で装着されている。磁気記録媒体１００はターンテーブル３の回転に伴って回転される。
【００２５】
ケース体２の基台２ａには回動型アクチュエーター５が配置されている（図１参照）。回動型アクチュエーター５は回動部６、ピボット７、駆動用マグネット８及びヨーク９を備え、回動部６は保持体１０とサスペンション１１、１１と浮上ヘッド１２、１２とを有している。
【００２６】
保持体１０はサスペンション保持部１３とコイル保持部１４とを有している。
【００２７】
サスペンション保持部１３には、サスペンション１１、１１がその厚み方向に離隔した状態で取り付けられている。サスペンション１１、１１は、保持体１０から突出され、各先端部に浮上ヘッド１２、１２が配置されている。サスペンション１１、１１は浮上ヘッド１２、１２を所定の荷重で磁気記録媒体１００側に付勢する板バネとしての機能を有している。
【００２８】
コイル保持部１４には駆動用コイル１５が保持されている。
【００２９】
サスペンション１１、１１には、それぞれ導電用配線板１６、１６が貼着されている。導電用配線板１６、１６は、各一端部がそれぞれ浮上ヘッド１２、１２に接続されている。
【００３０】
駆動用マグネット８はヨーク９の内面に取り付けられ、保持体１０に保持された駆動用コイル１５と対向した状態で位置される。
【００３１】
基台２ａ上には回動型アクチュエーター５の動作の制御を行うための回路基板１７が配置されている。回路基板１７にはフレキシブルプリント配線板１８が接続されている。
【００３２】
フレキシブルプリント配線板１８は駆動用コイル１５への接続用のコイル用導線部と浮上ヘッド１２、１２への接続用のヘッド用導線部とを有し、コイル用導線部に駆動用コイル１５の両端部が接続され、ヘッド用導線部に導電用配線板１６、１６の他端部が接続されている。
【００３３】
回路基板１７には接続用基板１９の一端部が接続され、該接続用基板１９はケース体４から外部へ導出され、例えば、パーソナルコンピューター等の各種の電子機器の図示しないメイン基板（マザーボード）等に接続される。
【００３４】
磁気記録媒体１００には、図３及び図４に示すように、内周部と外周部を除いた部分に同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックＴ、Ｔ、・・・と、隣接する磁気トラックＴ、Ｔ、・・・を磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・とが半径方向において交互に形成されている。
【００３５】
磁気記録媒体１００の内周部と外周部は、それぞれ磁気トラックＴ、Ｔ、・・・が形成されていない非記録領域１００ｂ、１００ｃとして形成され、例えば、非記録領域１００ｂには、周方向に離隔して位置決め孔２００、２００、２００が形成されている（図３参照）。
【００３６】
位置決め孔２００、２００、２００は、磁気記録媒体１００が装着されるターンテーブル３の回転中心に対する位置決め用の位置決めマークとして機能し、周方向において等間隔の位置に形成され、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対して同心円上に位置されている。
【００３７】
尚、位置決め孔２００、２００、２００は磁気記録媒体１００の外周部である非記録領域１００ｃに形成されていてもよく、また、その数も３つに限られることはなく、３つ以上であれば任意である。
【００３８】
また、位置決めマークとしては、位置決め孔２００、２００、２００に限られることはなく、例えば、一方に開口された位置決め溝であってもよい。
【００３９】
上記のような磁気記録媒体１００は、例えば、図示しない装着装置によって位置決め孔２００、２００、２００がそれぞれクランプされ、該位置決め孔２００、２００、２００の中心がターンテーブル３の中心に一致された状態でターンテーブル３に装着される（図２参照）。ターンテーブル３に装着された磁気記録媒体１００は、その内周部がクランパー４によって押さえられ、ターンテーブル３に固定される。
【００４０】
以下に、磁気記録媒体１００の製造方法の概略を説明する（図５乃至図１０参照）。
【００４１】
先ず、被加工体５０を用意する（図５参照）。被加工体５０は、ガラス基板５１、下地層５２、記録層５３、マスク層５４及びレジスト層５５が順に積層されて成る。下地層５２は、例えば、クロム系合金によって形成され、記録層５３は、例えば、コバルト、クロム、白金等の合金によって形成され、マスク層５４は、例えば、珪素等によって形成され、レジスト層５５は、例えば、ネガ型レジストによって形成されている。
【００４２】
次に、被加工体５０のレジスト層５５に分割パターンに相当する溝５５ａ、５５ａ、・・・を形成する（図６参照）。この分割パターンは磁気トラックＴ、Ｔ、・・・を磁気的に分離するために前工程として形成するパターンである。溝５５ａ、５５ａ、・・・の形成は、転写手段を用いてインプリント法やリソグラフィにより行う。この状態では、溝５５ａ、５５ａ、・・・の底面部にレジスト層５５の一部が残存する。
【００４３】
次いで、レジスト剥離装置（アッシング装置）を用いて、溝５５ａ、５５ａ、・・・の底面部に残存するレジスト層５５を除去する（図７参照）。
【００４４】
次に、イオンエッチング装置を用いて、残存するレジスト層５５及び溝５５ａ、５５ａ、・・・に対応するマスク層５４の部分を除去する（図８参照）。溝５５ａ、５５ａ、・・・に対応するマスク層５４の部分を除去することにより、マスク層５４に溝５４ａ、５４ａ、・・・が形成される。
【００４５】
次に、イオンビームエッチング装置を用いて、残存するマスク層５４及び溝５４ａ、５４ａ、・・・に対応する記録層５３の部分を除去する（図９参照）。このとき、同時に、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝をエッチングにより形成する。溝５４ａ、５４ａ、・・・に対応する記録層５３の部分を除去することにより、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・が形成される。
【００４６】
最後に、膜形成装置を用いて、記録層５３の表面及びディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に保護膜５６（又は潤滑膜５６）を形成する（図１０参照）。保護膜５６の表面は、望ましくは、図１０に示すように、平滑面に形成し、磁気記録媒体１００の製造を完了する。このように保護膜５６を平滑面に形成することにより、浮上ヘッド１２を磁気記録媒体１００に対して良好な位置精度で浮上させることが可能となり、浮上ヘッド１２の浮上状態の安定性を図ることができる。
【００４７】
尚、保護膜５６は、図１１に示すように、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に充填された部分の表面が凹状に形成されていてもよく、または、図１２に示すように、記録層５３上に形成された部分の表面とディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に充填された部分の表面とが段差形状を為すように形成されていてもよい。保護膜５６をこのような状態で形成する場合にあっても、記録層５３の表面とディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の底面に同一の厚みで保護膜５６を形成する場合に比し、浮上ヘッド１２の浮上状態が安定する。
【００４８】
上記には、位置決めマークとして、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝を形成した例を示したが、例えば、図１３及び図１４に示すように、位置決めマークとして、光学的又は顕微鏡的に認識可能な円環状の位置決め部３００又は複数の円弧状の位置決め部４００、４００、４００を非記録領域１００ｂ又は非記録領域１００ｃに形成してもよい。
【００４９】
このような位置決め部３００、４００、４００、４００は、例えば、ミラーや透明の部分として形成し、検出光を反射又は透過させることにより認識可能とすることが考えられる。
【００５０】
位置決め部３００、４００、４００、４００が形成された磁気記録媒体１００のターンテーブル３への装着は、位置決め部３００の中心又は位置決め部４００、４００、４００の中心を検出し、この検出した中心をターンテーブル３の回転中心に一致させた状態で行う。
【００５１】
以上に記載した通り、磁気記録媒体１００にあっては、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対して同心円上に位置する位置決めマーク（位置決め孔２００、２００、２００、位置決め溝、位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００）を形成しているため、位置決めマークの中心とターンテーブル３の回転中心とを一致させることにより、磁気記録媒体１００のターンテーブル３に対する位置合わせが行われ、ディスクテーブル３に対するディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・及び磁気トラックＴ、Ｔ、・・・の良好な位置精度を容易に確保することができ、記録再生特性の向上を図ることができる。
【００５２】
尚、一般に、ハードディスク等のディスク状記録媒体の平面度はナノオーダーで管理する必要があるが、ディスク状記録媒体の外形をクランプしてターンテーブル３に装着した場合にはディスク状記録媒体に変形が生じ平面度が低下するおそれがある。
【００５３】
従って、上記のように、位置決めマークとして位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝を形成し、位置決め孔２００、２００、２００又は位置決め溝をクランプしてターンテーブル３に装着することにより磁気記録媒体１００の良好な平面度が維持され、良好な記録再生動作を確保することができる。
【００５４】
一方、位置決めマークとして光学的又は顕微鏡的に認識可能な位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００を形成した場合には、位置決め部３００又は位置決め部４００、４００、４００の中心の検出が容易であり、磁気記録媒体１００のディスクテーブル３に対する位置決め作業における作業性の向上を図ることが可能である。
【００５５】
また、上記のように、位置決めマークの形成をディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の形成と同時に行うことにより、位置決めマークのディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・に対する位置精度の向上を図ることができる。
【００５６】
尚、位置決めマークは必ずしもディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・と同時に形成する必要はなく、ディスクリート溝Ｇ、Ｇ、・・・の形成に前後して形成してもよい。
【００５７】
上記した最良の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】図２乃至図１４と共に本発明の最良の形態を示すものであり、本図は、ハードディスクドライブ装置の概略斜視図である。
【図２】磁気記録媒体がディスクテーブルに装着された状態を示す拡大断面図である。
【図３】磁気記録媒体を概念的に示す平面図である。
【図４】磁気記録媒体の一部を拡大して概略的に示す断面図である。
【図５】図６乃至図１０と共に磁気記録媒体の製造方法の一例を示すものであり、本図は被加工体を示す拡大断面図である。
【図６】被加工体のレジスト層に分割パターンに相当する溝を形成した状態を示す拡大断面図である。
【図７】溝の底面部に残存するレジスト層を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図８】残存するレジスト層及び溝に対応するマスク層の部分を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図９】残存するマスク層及び溝に対応する記録層の部分を除去した状態を示す拡大断面図である。
【図１０】記録層の表面及びディスクリート溝に保護膜を形成して磁気記録媒体の製造を完了した状態を示す拡大断面図である。
【図１１】保護膜の形成状態の別の例を示す拡大断面図である。
【図１２】保護膜の形成状態のまた別の例を示す拡大断面図である。
【図１３】別の位置決めマークを形成した例を示す磁気記録媒体の概略平面図である。
【図１４】また別の位置決めマークを形成した例を示す磁気記録媒体の概略平面図である。
【符号の説明】
【００５９】
３…ターンテーブル、１００…磁気記録媒体、Ｔ…磁気トラック、Ｇ…ディスクリート溝、２００…位置決め孔（位置決めマーク）、３００…位置決め部（位置決めマーク）、４００…位置決め部（位置決めマーク）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックと、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体であって、
ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成した
ことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に周方向において離隔する複数の位置決め孔又は位置決め凹部を形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に光学的に認識可能な円環状又は複数の円弧状の位置決め部を形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
上記ディスクリート溝及び位置決めマークをエッチングにより同時に形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項１】
情報信号の記録又は再生を行うためのデータートラックとして機能し同心円状又は螺旋状に形成された磁気トラックと、隣接する磁気トラックを磁気的に分離するための同心円状又は螺旋状に形成されたディスクリート溝とが半径方向において交互に設けられた磁気記録媒体であって、
ディスクリート溝に対して同心円上に位置すると共に装着されるターンテーブルの回転中心に対する位置決め用の位置決めマークを形成した
ことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に周方向において離隔する複数の位置決め孔又は位置決め凹部を形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
上記位置決めマークとして、内周部又は外周部に光学的に認識可能な円環状又は複数の円弧状の位置決め部を形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
上記ディスクリート溝及び位置決めマークをエッチングにより同時に形成した
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００６−３１８６１１（Ｐ２００６−３１８６１１Ａ）
【公開日】平成１８年１１月２４日（２００６．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１４２９６６（Ｐ２００５−１４２９６６）
【出願日】平成１７年５月１６日（２００５．５．１６）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１１月２４日（２００６．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年５月１６日（２００５．５．１６）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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