雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法
【課題】雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に関し、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共にセンサーから引き出されたフレキシブルフラットケーブルを引き出し方向と例えば反対方向など如何なる位置に在る同軸ケーブルにも無理なく接続することを可能にし、容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。
【解決手段】ＱＣＭをセンサー２として含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブル６と接続されるフレキシブルフラットケーブル４とを有する。
【解決手段】ＱＣＭをセンサー２として含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブル６と接続されるフレキシブルフラットケーブル４とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハの保存や搬送に用いる容器内の雰囲気をリアルタイムで分析したり、雰囲気の汚染物質を同定するのに用いて好適な雰囲気分析装置及びその装置を用いた雰囲気分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体関連分野に於いて、例えば半導体ウェーハの保存や搬送にミニエンバイロメント（ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰ）と呼ばれる容器が使用されているところであるが、該容器は、ほぼ密閉された小さなものであるため、内部で発生した気体の汚染物質がウェーハに吸着されて、半導体装置の製造に用いた場合、その製造歩留まりが低下したり、或いは、製品の信頼性が低下するなどの問題が起こっている。
【０００３】
従って、ミニエンバイロメント内の雰囲気の清浄度を管理することが重視されているのであるが、ミニエンバイロメントは、ほぼ密閉状態にすることができる容器である為、内部の雰囲気を測定するのは困難である。
【０００４】
従来、高感度で且つ小型の雰囲気センサーとして水晶振動子を主体とするＱＣＭ（ｑｕａｒｔｚ ｃｒｙｓｔａｌ ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ）と呼ばれるものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００５】
そこで、このＱＣＭをミニエンバイロメント内の雰囲気分析に使用すれば有効であろうと考えられるが、前記のような構成を採る場合、ミニエンバイロメント内に設置したセンサーと外部に設置した制御回路との間をケーブルで接続しなければならない。
【０００６】
従って、ミニエンバイロメントには、ケーブルを通す穴をあける等の加工を施さなければならず、工場の生産ラインで使用されているミニエンバイロメントに適用することは困難である。
【０００７】
また、ＱＣＭは高感度である為、雰囲気分析をリアルタイムで実施するには、良好に機能させることができるのであるが、汚染物質の種類を同定する、即ち、定性分析することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−３３３３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明では、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共にセンサーから引き出されたフレキシブルフラットケーブルを引き出し方向と例えば反対方向など如何なる位置に在る同軸ケーブルにも無理なく接続することを可能にし、容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に依る雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に於いては、ＱＣＭをセンサーとして含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する雰囲気分析装置、及び、その雰囲気分析装置を用いて容器内の雰囲気を分析することが基本になっている。
【発明の効果】
【００１１】
前記手段を採ることに依り、ミニエンバイロメントなどの容器内に於ける汚染物質の濃度変化を高感度で、且つ、リアルタイムで検出することができる。そして、容器内に設置したセンサーであるＱＣＭと外部の制御回路とを接続する為に容器を加工することは一切不要であり、多くの容器に簡単にセットして、雰囲気分析を行うことができる。また、センサー装置から引き出された信号線、即ち、フレキシブルフラットケーブルは、柔軟である為、その引き出し方向と反対方向に位置する同軸ケーブルと容易に接続することが可能であり、その際、制御回路や同軸ケーブル、或いは、容器などに過度の負担をかけることはない。この構成の雰囲気分析装置に依れば、容器内の汚染物質を定性分析して同定することが容易であり、速やかに汚染物質への対応策を採ることができ、そして、汚染物質を定性分析する為の資料を取得するのに必要な金属薄膜付き板はセンサーと簡単に着脱できる構造になっているので、その設置は簡単である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】センサー及び近傍の構成を表す要部説明図である。
【図２】ミニエンバイロメントである容器にセンサー装置を設置した状態を表す要部説明図である。
【図３】金属薄膜付きシリコンウェーハをセンサー装置近傍にセットするのに好適な保持機構を表す要部説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１はセンサー及び近傍の構成を表す要部説明図であって、（Ａ）は要部上面を、そして、（Ｂ）は要部側面をそれぞれ示している。
【００１４】
図に於いて、１は発振回路基板、２は水晶振動子を主体とするセンサー（ＱＣＭ）、３はセンサーを保護するスペーサー、４はフレキシブルフラットケーブル、５はコネクタ、６は同軸ケーブルをそれぞれ示している。
【００１５】
前記したところから明らかであるが、本発明に依る雰囲気分析装置では、発振回路基板１を介してセンサー２と制御回路とを接続する信号線として、所要長さのフレキシブルフラットケーブル４及び同軸ケーブル６を用いている。ここで、フレキシブルフラットケーブル４の所要長さとは、センサー２及び発振回路基板１を含むセンサー装置をミニエンバイロメントなどの容器内に設置し、信号を容器外に取り出す場合、信号線が容器を通過するのに必要な長さの意味である。
【００１６】
図２はミニエンバイロメントである容器にセンサー装置を設置した状態を表す要部説明図であり、図１に於いて用いた記号と同じ記号で指示した部分は同一或いは同効の部分を表すものとする。
【００１７】
図に於いて、１１は発振回路基板１及びセンサー２を含むセンサー装置、１２は容器本体、１３は容器底部をそれぞれ示している。
【００１８】
図から明らかであるが、制御回路に接続されている同軸ケーブル６とセンサー装置１１との間にはフレキシブルフラットケーブル４が介在し、フレキシブルフラットケーブル４は容器本体１２と容器底部１３との間を容易に通過して内外を結ぶ役割を果たしている。
【００１９】
このように、容器自体には何らの加工を施すことなく、容器内にセンサー装置１１を設置し、且つ、フレキシブルフラットケーブル４を容器外に導出することができ、そして、フレキシブルフラットケーブル４は薄いので、容器の密閉性に影響を与えることはない。
【００２０】
ところで、ＱＣＭからなるセンサー２は高感度であるが、汚染物質の種類を同定する、即ち、定性分析することは不可能である。そこで、本発明に依る雰囲気分析装置に於いては、容器内の汚染物質を金属薄膜に吸着させ、その吸着された汚染物質をＸＰＳ（Ｘ−ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）やＳＩＭＳ（ｓｅｃｏｎｄａｒｙ ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）を用いて物理分析することで同定することができる。
【００２１】
汚染物質の同定を行うには、金属薄膜を成膜したシリコンウェーハをセンサー装置１１と同様に容器内に設置し、金属薄膜に汚染物質を吸着させ、その曝露が終了した後、容器外に取り出して、ＸＰＳやＳＩＭＳを用いて汚染物質の分析を行う。
【００２２】
ＱＣＭからなるセンサー２を構成する水晶振動子では、その表面の汚染物質を分析することは可能であるが、水晶振動子は、その製造時に表面の清浄度を管理していないので、ミニエンバイロメントなどの容器内に曝露する前から汚染を受けているおそれがあり、分析用の試料として用いるのは適切ではない。
【００２３】
その点、表面分析用の金属薄膜をスパッタリングなどで成膜すれば、清浄な金属薄膜表面を用意することができるので好ましい。また、基準にする為の参照用として、雰囲気に曝露しない試料を作ることができるので、分析手段としてはより望ましい。
【００２４】
前記した金属薄膜付きのシリコンウェーハをセンサー装置１１と共にミニエンバイロメントなどの容器内に設置するには、何らかの保持機構が必要となるが、シリコンウェーハの設置場所はセンサー装置１１の近傍であって、且つ、簡単容易に着脱できる構成であることが望ましい。
【００２５】
図３は金属薄膜付きシリコンウェーハをセンサー装置近傍にセットするのに好適な保持機構を表す要部説明図であり、図に於いて、１は発振回路基板、１４は保持機構、１４Ａは保持機構を構成する狭幅のコ字型板、１４Ｂは広幅のコ字型板、１４Ｃは狭幅のコ字型板と広幅のコ字型板とを積層することで生成された溝をそれぞれ示している。
【００２６】
図３に見られる金属薄膜付きシリコンウェーハの保持機構に依れば、センサー装置１１に於ける発振回路基板１にシリコンウェーハを予め取り付けておくことができる保持機構１４が設けられ、ウェーハの装着及び取り外しは、ウェーハを保持機構１４に形成された溝１４Ｃ内を滑動させるのみで良いから、その作業は容易である。
【符号の説明】
【００２７】
１ 発振回路基板
２ 水晶振動子を主体とするセンサー（ＱＣＭ）
３ センサーを保護するスペーサー
４ フレキシブルフラットケーブル
５ コネクタ
６ 同軸ケーブル
１１ 発振回路基板１及びセンサー２を含むセンサー装置
１２ 容器本体
１３ 容器底部
１４ ウェーハの保持機構
１４Ａ 狭幅のコ字型板
１４Ｂ 広幅のコ字型板
１４Ｃ 溝
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハの保存や搬送に用いる容器内の雰囲気をリアルタイムで分析したり、雰囲気の汚染物質を同定するのに用いて好適な雰囲気分析装置及びその装置を用いた雰囲気分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体関連分野に於いて、例えば半導体ウェーハの保存や搬送にミニエンバイロメント（ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰ）と呼ばれる容器が使用されているところであるが、該容器は、ほぼ密閉された小さなものであるため、内部で発生した気体の汚染物質がウェーハに吸着されて、半導体装置の製造に用いた場合、その製造歩留まりが低下したり、或いは、製品の信頼性が低下するなどの問題が起こっている。
【０００３】
従って、ミニエンバイロメント内の雰囲気の清浄度を管理することが重視されているのであるが、ミニエンバイロメントは、ほぼ密閉状態にすることができる容器である為、内部の雰囲気を測定するのは困難である。
【０００４】
従来、高感度で且つ小型の雰囲気センサーとして水晶振動子を主体とするＱＣＭ（ｑｕａｒｔｚ ｃｒｙｓｔａｌ ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ）と呼ばれるものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００５】
そこで、このＱＣＭをミニエンバイロメント内の雰囲気分析に使用すれば有効であろうと考えられるが、前記のような構成を採る場合、ミニエンバイロメント内に設置したセンサーと外部に設置した制御回路との間をケーブルで接続しなければならない。
【０００６】
従って、ミニエンバイロメントには、ケーブルを通す穴をあける等の加工を施さなければならず、工場の生産ラインで使用されているミニエンバイロメントに適用することは困難である。
【０００７】
また、ＱＣＭは高感度である為、雰囲気分析をリアルタイムで実施するには、良好に機能させることができるのであるが、汚染物質の種類を同定する、即ち、定性分析することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−３３３３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明では、例えばミニエンバイロメントなどの容器内に設置したセンサーと外部の制御回路とを容器に何らの加工を施すことなく接続することを可能にすると共にセンサーから引き出されたフレキシブルフラットケーブルを引き出し方向と例えば反対方向など如何なる位置に在る同軸ケーブルにも無理なく接続することを可能にし、容器内の汚染物質を同定する為の資料を容易に取得することが可能であるようにする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に依る雰囲気分析装置及び雰囲気分析方法に於いては、ＱＣＭをセンサーとして含むセンサー装置と、一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有する雰囲気分析装置、及び、その雰囲気分析装置を用いて容器内の雰囲気を分析することが基本になっている。
【発明の効果】
【００１１】
前記手段を採ることに依り、ミニエンバイロメントなどの容器内に於ける汚染物質の濃度変化を高感度で、且つ、リアルタイムで検出することができる。そして、容器内に設置したセンサーであるＱＣＭと外部の制御回路とを接続する為に容器を加工することは一切不要であり、多くの容器に簡単にセットして、雰囲気分析を行うことができる。また、センサー装置から引き出された信号線、即ち、フレキシブルフラットケーブルは、柔軟である為、その引き出し方向と反対方向に位置する同軸ケーブルと容易に接続することが可能であり、その際、制御回路や同軸ケーブル、或いは、容器などに過度の負担をかけることはない。この構成の雰囲気分析装置に依れば、容器内の汚染物質を定性分析して同定することが容易であり、速やかに汚染物質への対応策を採ることができ、そして、汚染物質を定性分析する為の資料を取得するのに必要な金属薄膜付き板はセンサーと簡単に着脱できる構造になっているので、その設置は簡単である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】センサー及び近傍の構成を表す要部説明図である。
【図２】ミニエンバイロメントである容器にセンサー装置を設置した状態を表す要部説明図である。
【図３】金属薄膜付きシリコンウェーハをセンサー装置近傍にセットするのに好適な保持機構を表す要部説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１はセンサー及び近傍の構成を表す要部説明図であって、（Ａ）は要部上面を、そして、（Ｂ）は要部側面をそれぞれ示している。
【００１４】
図に於いて、１は発振回路基板、２は水晶振動子を主体とするセンサー（ＱＣＭ）、３はセンサーを保護するスペーサー、４はフレキシブルフラットケーブル、５はコネクタ、６は同軸ケーブルをそれぞれ示している。
【００１５】
前記したところから明らかであるが、本発明に依る雰囲気分析装置では、発振回路基板１を介してセンサー２と制御回路とを接続する信号線として、所要長さのフレキシブルフラットケーブル４及び同軸ケーブル６を用いている。ここで、フレキシブルフラットケーブル４の所要長さとは、センサー２及び発振回路基板１を含むセンサー装置をミニエンバイロメントなどの容器内に設置し、信号を容器外に取り出す場合、信号線が容器を通過するのに必要な長さの意味である。
【００１６】
図２はミニエンバイロメントである容器にセンサー装置を設置した状態を表す要部説明図であり、図１に於いて用いた記号と同じ記号で指示した部分は同一或いは同効の部分を表すものとする。
【００１７】
図に於いて、１１は発振回路基板１及びセンサー２を含むセンサー装置、１２は容器本体、１３は容器底部をそれぞれ示している。
【００１８】
図から明らかであるが、制御回路に接続されている同軸ケーブル６とセンサー装置１１との間にはフレキシブルフラットケーブル４が介在し、フレキシブルフラットケーブル４は容器本体１２と容器底部１３との間を容易に通過して内外を結ぶ役割を果たしている。
【００１９】
このように、容器自体には何らの加工を施すことなく、容器内にセンサー装置１１を設置し、且つ、フレキシブルフラットケーブル４を容器外に導出することができ、そして、フレキシブルフラットケーブル４は薄いので、容器の密閉性に影響を与えることはない。
【００２０】
ところで、ＱＣＭからなるセンサー２は高感度であるが、汚染物質の種類を同定する、即ち、定性分析することは不可能である。そこで、本発明に依る雰囲気分析装置に於いては、容器内の汚染物質を金属薄膜に吸着させ、その吸着された汚染物質をＸＰＳ（Ｘ−ｒａｙ ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）やＳＩＭＳ（ｓｅｃｏｎｄａｒｙ ｉｏｎ ｍａｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）を用いて物理分析することで同定することができる。
【００２１】
汚染物質の同定を行うには、金属薄膜を成膜したシリコンウェーハをセンサー装置１１と同様に容器内に設置し、金属薄膜に汚染物質を吸着させ、その曝露が終了した後、容器外に取り出して、ＸＰＳやＳＩＭＳを用いて汚染物質の分析を行う。
【００２２】
ＱＣＭからなるセンサー２を構成する水晶振動子では、その表面の汚染物質を分析することは可能であるが、水晶振動子は、その製造時に表面の清浄度を管理していないので、ミニエンバイロメントなどの容器内に曝露する前から汚染を受けているおそれがあり、分析用の試料として用いるのは適切ではない。
【００２３】
その点、表面分析用の金属薄膜をスパッタリングなどで成膜すれば、清浄な金属薄膜表面を用意することができるので好ましい。また、基準にする為の参照用として、雰囲気に曝露しない試料を作ることができるので、分析手段としてはより望ましい。
【００２４】
前記した金属薄膜付きのシリコンウェーハをセンサー装置１１と共にミニエンバイロメントなどの容器内に設置するには、何らかの保持機構が必要となるが、シリコンウェーハの設置場所はセンサー装置１１の近傍であって、且つ、簡単容易に着脱できる構成であることが望ましい。
【００２５】
図３は金属薄膜付きシリコンウェーハをセンサー装置近傍にセットするのに好適な保持機構を表す要部説明図であり、図に於いて、１は発振回路基板、１４は保持機構、１４Ａは保持機構を構成する狭幅のコ字型板、１４Ｂは広幅のコ字型板、１４Ｃは狭幅のコ字型板と広幅のコ字型板とを積層することで生成された溝をそれぞれ示している。
【００２６】
図３に見られる金属薄膜付きシリコンウェーハの保持機構に依れば、センサー装置１１に於ける発振回路基板１にシリコンウェーハを予め取り付けておくことができる保持機構１４が設けられ、ウェーハの装着及び取り外しは、ウェーハを保持機構１４に形成された溝１４Ｃ内を滑動させるのみで良いから、その作業は容易である。
【符号の説明】
【００２７】
１ 発振回路基板
２ 水晶振動子を主体とするセンサー（ＱＣＭ）
３ センサーを保護するスペーサー
４ フレキシブルフラットケーブル
５ コネクタ
６ 同軸ケーブル
１１ 発振回路基板１及びセンサー２を含むセンサー装置
１２ 容器本体
１３ 容器底部
１４ ウェーハの保持機構
１４Ａ 狭幅のコ字型板
１４Ｂ 広幅のコ字型板
１４Ｃ 溝
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＱＣＭをセンサーとして含むセンサー装置と、
一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有すること
を特徴とする雰囲気分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の雰囲気分析装置を用いて汚染物質の分析を行う場合に於いて、
センサー装置の測定値に基づいて求めた汚染成分濃度の時間変化、及び、前記センサー装置の近傍に配置した金属薄膜付きのシリコンウェーハに於ける金属薄膜に吸着された汚染物質の分析結果に基づいて求めた汚染物質の定性情報を総合して判断すること
を特徴とする雰囲気分析方法。
【請求項１】
ＱＣＭをセンサーとして含むセンサー装置と、
一端が前記センサー装置と接続され、他端が同軸ケーブルと接続されるフレキシブルフラットケーブルとを有すること
を特徴とする雰囲気分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の雰囲気分析装置を用いて汚染物質の分析を行う場合に於いて、
センサー装置の測定値に基づいて求めた汚染成分濃度の時間変化、及び、前記センサー装置の近傍に配置した金属薄膜付きのシリコンウェーハに於ける金属薄膜に吸着された汚染物質の分析結果に基づいて求めた汚染物質の定性情報を総合して判断すること
を特徴とする雰囲気分析方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−１３３４９５（Ｐ２０１１−１３３４９５Ａ）
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８２３８４（Ｐ２０１１−８２３８４）
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【分割の表示】特願２００６−１２２９０８（Ｐ２００６−１２２９０８）の分割
【原出願日】平成１８年４月２７日（２００６．４．２７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【公開日】平成２３年７月７日（２０１１．７．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【分割の表示】特願２００６−１２２９０８（Ｐ２００６−１２２９０８）の分割
【原出願日】平成１８年４月２７日（２００６．４．２７）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
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