【課題】処理室を構成する部材中に含まれる汚染物質を除去し、処理基板の汚染を防止することができる基板処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、ウエハ２００を処理する処理室２０１と、処理室２０１外部に設けられた上部電極３０１ａと、処理室２０１内部に設けられた下部電極３０１ｂとを有し、処理室２０１を構成する部材の少なくとも一部を横切る電界を形成する電界形成機構２９０と、処理室２０１内にガスを供給するガス供給管２３２と、処理室２０１内のガスを排気するガス排気管２３１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 優先度レベルの高いコールに対するチャネルの設定が確実に得られるようにした無線基地局装置のチャネル割当優先制御方法を提供すること。
【解決手段】 上位装置ＲＮＣとインターフェースを持つ呼処理制御部１０１と、子局との無線周波数帯域による送受信を処理する無線送受信機能部１０４、ベースバンド信号を処理する無線信号制御部１０５、それにネットワーク側と回線インターフェースを取る有線制御部１０６を備えた無線基地局装置ＢＴＳに、制御メッセージを記憶しておくメッセージリスト１０２と個別チャネルの情報を保持優先度レベルの昇順に従って記憶しておく保持優先度リスト１０３とを設け、これらを参照することにより、チャネルの設定順位に優先度レベルが常に正しく反映されるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】回り込みキャンセラ装置が発振状態となり、装置を再起動する場合において、再起動時間を短縮することが出来る回り込みキャンセラを有する中継再送信装置の実現。
【解決手段】直交周波数分割多重(ＯＦＤＭ)方式で変調されたＯＦＤＭ信号による中継再送信を行う回り込み波キャンセル装置を有する中継再送信装置において、前記回り込み波キャンセル装置の再起動を行う際に、再起動直前のクロック周波数制御値およびローカル周波数制御値を記憶しておき、これらの値を再起動時の初期値として、前記クロック周波数およびローカル周波数を制御することにより、回り込みキャンセラの起動時間を短縮することが出来る中継再送信装置である。 （もっと読む）

【課題】薄膜を成膜するときの膜厚の均一性を良好にする。
【解決手段】水平方向で多段に積載される複数の基板７を収容する反応室６と、基板を回転させる回転機構２０と、第１と第２の処理用ガス（ＮＨ_３とＤＣＳ）を基板７の周縁部から基板７へ交互に複数回繰り返して供給するガス供給部材５１、５２であって、基板の積載方向に延在するガスノズル４２を含むガス供給部材と、反応室内を排気するガス排気部材４０とを有し、第１の処理用ガス（ＤＣＳ）が基板７に対し、先に供給される時の基板７の周縁箇所と、その次に第１の処理用ガスが供給される時の基板７の周縁箇所とが、異なる箇所になるように、処理用ガスの供給タイミング又は回転機構２０の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成した薄膜上へ吸着する有機物などの微粒子の量を低減させ、形成する薄膜の膜厚均一性を向上させ、ヘイズ性パーティクルを低減することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２００を支持具に装填する工程と、基板を装填した支持具２１７を処理室２０１内に搬入する工程と、処理室内で支持具に装填された基板を熱処理する工程と、熱処理後の基板を装填した支持具を処理室内から搬出する工程と、処理室内より搬出した支持具から熱処理後の基板を回収する工程と、を有し、熱処理後の基板を回収する工程は、基板の温度が、基板表面に吸着した有機物の揮発温度を下回らない間に行う。 （もっと読む）

【課題】大型レンズを支持するためのレンズマウント板を容易に着脱することができるので、それぞれの大型レンズに対応したレンズマウント板に交換するだけでポータブルカメラをスタジオカメラに簡単にビルドアップすることが可能な放送用カメラのビルドアップ装置を提供する。
【解決手段】レンズ取付部が、大型レンズが取り付けられる面とは反対側の面にベース部のフックに係合されるフックを備え、尚且つベース部に設けたパチン錠本体と対応する位置にそれぞれパチン錠受け部を備えるレンズ取付部であり、該レンズ取付部をベース部に取り付ける際に、該レンズ取付部のフックをベース部のフックに係合させた後、ベース部のパチン錠本体のアームをレンズ取付部のパチン錠受け部にそれぞれ引っ掛けパチン錠本体のレバーを倒すことによりレンズ取付部がベース部に固定される。 （もっと読む）

【課題】圧縮された画像を伸張して得られた本体の画像と重畳画像を重ね合わせて出力する圧縮画像伸張装置において、重畳画像を効率的に処理する。
【解決手段】画像伸張手段１１が圧縮された画像を伸張し、重畳画像変換手段１５が画像伸張手段１１により伸張された重畳画像のデータを重畳画像の出力用データへ変換し、重ね合わせ手段１８が画像伸張手段１１により伸張された本体の画像の出力用データと重畳画像変換手段１５により変換された重畳画像の出力用データとを重ね合わせ、出力手段１９が重ね合わせ手段１８により重ね合わされた結果の画像データを出力する。 （もっと読む）

【課題】 信号伝送装置３に設けられた送信モジュール６或いは受信モジュール７の交換作業における周波数設定を確実に行うことができるようにする。
【解決手段】 信号を周波数情報に従って所定の周波数に変換する機能を送信モジュール６或いは受信モジュール７に構成して、信号伝送装置３の筐体８、９に着脱可能に設け、モジュールには、周波数変換する機能に設定するための周波数情報を取得する取得手段２７、２９を設け、筐体８、９には、設定すべき周波数情報を記憶し、装着されたモジュールの取得手段に周波数情報を提供する提供手段２６、２８を設けた。これにより、筐体に実装されるモジュールを他のモジュールと交換した場合、筐体側から周波数情報が当該他のモジュールに取得されて設定される。 （もっと読む）

【課題】アイテム制御部がレシピ実行部のタイマ周期とは無関係にレシピ制御を行うような制御機能を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】レシピ実行部２ｅからアイテム制御部へレシピの制御開始指示と制御時間情報（７００ｍｓ）を通知する（Ｓ１１）。アイテム制御部はレシピの制御開始指示に基づいてサフコントローラの制御を開始し、かつ短期タイマ１ｄを起動する（Ｓ１２）。短期タイマ１ｄが１００ｍｓをカウントすると、短期タイマ１ｄからアイテム制御部へタイムアップの通知が行われ、アイテム制御部からレシピ実行部２ｅへ制御終了が通知される（Ｓ１３）。レシピ実行部２ｅは、制御終了のメッセージをトリガとしてアイテム制御部へ制御停止を通知する（Ｓ１４）。アイテム制御部はサブコントローラ３の制御を停止する（Ｓ１５）。このような制御は１００ｍｓごとの周期で７００ｍｓまで繰り返される。 （もっと読む）

【課題】
マルチコアプロセッサにおいて、入出力の経路であるバスを効率的に空間多重及び時間多重して使用する必要があるため、マルチコアプロセッサにおけるバスの多重状態を監視すること。
【解決手段】
複数の各コアプロセッサ（１〜３）にはそれぞれにＬ１メモリが付属され、このメモリが付属されたコアプロセッサ（１〜３）は、それぞれがマルチコアプロセッサの内部バスによりＬ２メモリ（４〜７）に接続され、ＳＤＲＡＭ（９）に、メモリコピー及びＤＭＡ転送時にＬ２メモリ（４〜７）にアクセスするためのバスの多重状態を記憶するバス多重状態記憶テーブル１１備える。 （もっと読む）