【課題】 伝送品質向上に寄与しないパスを早くリリースするパス制御装置を提供する。
【解決手段】 受信信号の逆拡散を行う逆拡散部と、逆拡散の結果から検出パスを求めるパス検出部と、フィンガの情報を記憶する管理テーブルと、現在の検出パスが個々のフィンガと同一のパスか否かを判定し、新たなフィンガを管理テーブルにアサインし、検出パスになかったフィンガをロストパスとして判定するパス判定部と、フィンガ毎にロストパスの数を更新するロストカウンタと、所定の期間だけ平均化した平均パスレベルとその最大値を算出する平均化部と、平均パスレベル毎にパスレベル差を算出するレベル比較部と、ロスト判定値を補正するロスト判定値補正部と、ロストカウンタの値がロスト判定値に一致した場合に、フィンガを管理テーブルからリリースするリリース判定部とを備えた。
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【課題】スリップの原因となるウエハ裏面の傷の発生を防止する。
【解決手段】処理室２２を形成したプロセスチューブ２１と、処理室２２を加熱するヒータユニット１６と、複数枚のウエハ１を保持して処理室２２に搬入するボート４１とを備えたアニール装置１０において、ボート４１は垂直に立脚される筒体４２と、筒体４２に水平に切設されてウエハ１が一枚ずつ挿入される複数段の挿入溝４３と、各挿入溝４３によって形成された複数段の支持部４５と、筒体４２の前部後部に複数段の支持部４５にわたって開設されたツィーザ挿入口４６、４７と、筒体４２の外周部に挿入溝４３に貫通するように形成された窓部４８とを備えている。ウエハを支持する支持部のウエハ接触面積が大きくなるので、ウエハの自重や熱変形等によるウエハのボートとの接触部位における傷の発生を防止できる。その傷が原因になるウエハのスリップの発生を防止できる。
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【課題】
電子機器ユニットの取付け姿勢を変更した場合でも、ファンユニットの風の吐出方向が上向きとなる様にし、電子機器ユニットの設置制約条件を緩和し、又冷却ファンによる効果的な冷却を可能とする。
【解決手段】
ファンユニット２が挿脱により筐体に実装可能とした電子機器の筐体構造に於いて、前記ファンユニットが上下反転して前記筐体に実装可能とすると共に前記ファンユニットの背面の中心にファン側コネクタ１３を設け、前記筐体には前記ファン側コネクタと嵌合可能な受け側コネクタを設け、前記ファン側コネクタの接点は該ファン側コネクタの点対称中心に対して一側に設けられ、前記受け側コネクタの接点は該受け側コネクタの点対称中心に対して両側に設けられ、前記ファン側コネクタが上下両姿勢で嵌合してそれぞれ電気的に接続される様構成し、前記ファンユニットは該ファンユニットによる空気の吸引吐出が対流方向となる様実装される。
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【課題】電気的特性の調整に要する手間や時間を低減し、高精度の調整ができるようにする。
【解決手段】内部が極低温に冷却された容器の天井１にねじ取付部材２が設けられ、これに調整ねじ３が取り付けられている。この調整ねじ３にトリミングロッド４が固定され、このトリミングロッド４に、このトリミングロッド４とは比誘電率が異なるトリミングロッド１０が取り外し可能に取り付けられる。調整ねじ３を回転させることにより、トリミングロッド４，１０を上下させてマイクロ波デバイスのストリップ導体５，６との間隔を調整し、このマイクロ波デバイスの電気的特性が規格の範囲内に入るようにする。このトリミングロッドがこのマイクロ波デバイスの電気的特性の調整に適合しないものであるときには、トリミングロッド１０をこれに適合する比誘電率のトリミングロッドに交換できる。 （もっと読む）

【課題】 画質を調整する側と撮像する側で調整したい項目が異なる場合に対応可能なテレビジョンカメラ装置を提供する。
【解決手段】 テレビジョンカメラで撮像した映像の画質に関する調整メニューとテレビジョンカメラを撮像する側での調整メニューとを別々に且つ同時に出力する手段（３，７，６，８）を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ボートに関するメンテナンスが安全に而も簡単に実施できる様にし、作業者の負担を軽減すると共に作業性を向上して、保守時間の短縮を図り半導体製造装置の生産性を向上する。
【解決手段】
処理炉３６と、複数の基板を積層方向に保持する基板保持具１７と、該基板保持具が載置される炉口蓋１３と、該炉口蓋を昇降させ前記基板保持具を前記処理炉内に装入、引出しする昇降手段１１とを有する半導体製造装置に於いて、前記炉口蓋は、上下方向に重なる様に配置された蓋体部１５，４３，４４と回転部４７を有し、前記基板保持具は前記回転部の上に載置されると共に、該回転部は前記蓋体部の上側に配置されており、前記基板保持具が前記処理炉内に装入された状態では前記回転部は回転不可能に前記蓋体部に固定手段により固定されており、前記基板保持具を前記処理炉外に出した状態に於いて前記回転部は前記固定手段を解除され回転可能とできる。
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【課題】 ロギング条件を任意設定できるようにして汎用ロギング機構を実現する。
【解決手段】 表示画面300上で、複数の装置ステータス欄311〜315、321〜325(Tube Status、Trans Mode、Boat Mode、Step Name、及びValve Number)の各項目の中から任意の装置ステータスの組み合わせを選択することにより、ロギング条件を設定する。その際、ロギング開始条件(Start Trigger)308とロギング終了条件(End Trigger)309とをそれぞれ設定できるようにする。表示画面300上から設定された装置ステータスと、実際の装置から検出された装置ステータスとを所定時間間隔毎に比較して、開始条件が成立している場合は、条件フラグを立て、その状態で終了条件が成立した場合は条件フラグを落とすようにして、条件フラグの有無によりロギング条件の確立を判定する。積算方式欄(Accumulation Type)327でTIMEを選択して確立した時間を積算すると、それがロギングデータとなる。MFCNo.を選択すると積算ガス流量が換算できる。 （もっと読む）

【課題】 ＣＤＭＡの無線システムにおいて、ＩＣで構成した場合には、回路規模を小さくし、ＤＳＰで実現する場合にはソフトウェアの命令数を少なくして処理の高速化を図ることができるＣＤＭＡ無線方式における高速パス制御方式を提供する。
【解決手段】 既知のパス情報と最新のパス情報とから停留パス除去手段５３で停留パスを除去し、前方向移動パス除去手段５４で前方向移動パスを除去し、後方向移動パス除去手段５５で後方向移動パスを除去して消滅パス検出手段５６で消滅パスを検出し、また新規パス検出手段５７で新規パスを検出し、更に後方向移動パス検出手段５８で後方向移動パスを検出し、前方向移動パス検出手段５９で前方向移動パスを検出する高速パス制御方式である。 （もっと読む）

【課題】 基板処理装置のプロセスレシピをデータ加工が容易なデータ記述形式に変換し、編集した後、その結果を、装置で使用できるデータ記述形式に変換しそのまま装置に移して使用可能にすることにある。
【解決手段】 処理装置が使用できるバイナリ形式のレシピをデータ加工が容易なテキスト形式に変換し且つ表形式でレシピを表示可能とする第１のデータ記述形式変換手段２１と、前記テキスト形式に変換されたレシピの内容を表形式のレシピ編集画面に表示し、レシピの各ステップ毎に表示されるガス種毎の流量、圧力、温度等の制御パラメータを設定し又は修正可能とする表形式編集手段と、前記制御パラメータの編集がされた後の表形式のテキスト形式によるレシピの内容を、処理装置が使用できるバイナリ形式のレシピに変換する第２のデータ記述形式変換手段２３とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 動画像のフレームレートが1frame/sec以下である画像データを一旦受信側で保存し、保存された画像データを再生する時、画像データをリアルタイム受信した時と同様なフレームレートで再生でき、また再生速度を変えることのできる画像再生装置を提供する。
【解決手段】 リアルタイムで伝送されてくる画像データを保存する時、その受信状態も保存し、受信側で保存した画像データをデコーダに送る際に、受信状態を再現するように読み出しを制御する。また、読み出し速度を可変とすることで、再生速度を変えることができる。 （もっと読む）