【課題】 電気的特性の測定精度を向上させると共に、信頼性が向上する。
【解決手段】 抵抗体９の幅方向縁部を少しずつ削り取るレーザ装置２３と、レーザ装置２３と抵抗体９とを相対的に移動させるＸＹステージ２２と、レーザ装置２３で抵抗体９の幅方向縁部が少し削り取られた後の抵抗値を検査する抵抗値検査部２４と、この抵抗値検査部２４で検査した検査値を目標値と比較して、目標値に達していない場合にＸＹステージ２２でレーザ装置２３と抵抗体９とを相対的に少しずらして抵抗体９の幅方向縁部を少し削り取って再びその抵抗値と目標値とを比較し、抵抗値が目標値に達するまで繰り返す制御部２５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 異物が液晶内に入り込んだパネルを不良品として処理し得るようにすることにある。
【解決手段】 表示用パネルの検査装置は、検査すべきパネルを受ける受け部を有するワークテーブルと、該ワークテーブルからパネルに垂直のＺ方向に間隔をおいた接触子組立体であってパネルの電極に接触される複数の接触子を備えた接触子組立体と、パネルに振動を与える振動発生装置とを含む。 （もっと読む）

【課題】 インピーダンス特性を整合させて測定精度を向上させる。
【解決手段】 検査対象物に接触して電気的特性を検査する高周波プローブ針である。上記検査対象物の信号用電極パッド１９に接触する信号用プローブ針部２２と、当該信号用プローブ針部２２と並列に配設され上記検査対象物の接地用電極パッド１９に接触する接地用プローブ針部２１と、当該接地用プローブ針部２１と共に上記信号用プローブ針部２２と並列に配設されて上記電極パッド１９面の近傍まで延出した疑似プローブ針部（２１）とを備えた。当該疑似プローブ針部（２１）と上記接地用プローブ針部２１とは、その先端部でボンディングワイヤー２８によって互いに接続した。 （もっと読む）

【課題】テーパ面を備えるプッシャーローラを用いることにより，液晶パネルの周縁部の浮き上がりを防止して，確実に液晶パネルをワークテーブルにセットできるようにする。
【解決手段】プッシャーローラ８６をエアーシリンダにより矢印１３４の方向に移動させると，プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は，ワークテーブル５０上の液晶パネル１０の第３の辺２０に接触して，この第３の辺２０を右方向及び下方向に押す。やがて，液晶パネル１０の第１の辺１６は第１のストッパ６２のストッパローラ１１８に接触して，液晶パネル１０のＸ方向の位置決めが完了する。同様にして，Ｙ方向でも液晶パネルを位置決めできる。テーパ面１１２を備えたプッシャーローラ８６を用いることにより，液晶パネルの第３の辺２０及び第４の辺の浮き上がりを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 被検査基板を高速度で変位させても、被検査基板がその慣性力で検査ステージから外れることを防止することにある。
【解決手段】 検査装置のための基板押さえは、検査ステージに配置された支持ベースと、該支持ベースに揺動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材に支持され、被検査基板を検査ステージに押圧する押圧位置および被検査基板の押圧を解除する押圧解除位置間で変位可能な押え部材と、該押え部材を押圧位置と押圧解除位置間で変位させる駆動手段とを備えることから、構造が簡単になり、またサイズも小さくなる。その結果、基板押え全体の慣性力が小さくなり、その分、検査ステージの変位時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 下板の撓みを防止することにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、上板と、該上板から下方に間隔をおいた下板と、上板及び下板の間に配置された枠状の第１のスペーサと、上板、上板及びスペーサにより形成される内側空間にあって上板及び下板の間に配置された第２のスペーサと、該第２のスペーサの配置位置を避けて内側空間を通る状態に上板及び下板を上下方向に貫通する複数のプローブとを含む。各プローブの上端及び下端は、上板及び下板と平行の面内において一方向に相対的にずれている。 （もっと読む）

【課題】同一仕様の複数の液晶パネルを点灯検査するときに，液晶パネル間で熱膨張による伸縮量に違いがあっても，その違いを考慮して液晶パネルをアライメントできるようにする。
【解決手段】 １枚目の液晶パネルは，パネル上の三つのアライメントマークとプローブステージ上の三つのカメラを用いてアライメントし，かつ，顕微鏡を用いてプローブとパネルの電極との位置合わせ状態を確認する。同一仕様の２枚目以降の液晶パネルについては，二つのアライメントマーク５６，５８に基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから，第３アライメントマーク６２に関して所定の偏差Δｘを求めて，その半分だけ液晶パネルをＸ方向にシフトする。これにより，データ側プローブ２６とデータ電極６０との位置合わせが正確になり，大型の液晶パネルを高輝度バックライトで照明した場合でもアライメント不良を回避できる。 （もっと読む）

【課題】 基板の上面及びその上方空間を有効に利用可能にすることにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、複数の接続ランドを下面に有する基板と、基板の中央に位置された支持体であって、基板と平行に伸びかつ厚さ方向に貫通する複数の第１の貫通穴を有する板部、及び板部と共同して内側空間を形成すべく板部の上方に位置する支持部を備える支持体と、板部の下側に配置されたプローブ組立体であって、上下方向へ伸びる複数のプローブを備えると共に、プローブが状態に差し込まれた複数の第２の貫通穴を有するプローブ組立体と、プローブと前記接続ランドとを接続する複数の配線であって一端が第１の貫通穴に上方から差し込まれた複数の配線とを含む。支持部は内側空間をその周りの外側空間に連通させる連通空間を有しており、配線は連通空間に通されている。 （もっと読む）

電気的接続装置は、それぞれが被検査体の電極と基板に形成された導電性部とを電気的に接続する板状の複数のプローブであって前記電極に押圧される先端を当該プローブの一端側に有すると共に湾曲された外面を当該プローブの幅方向の一方に
有し、さらに前記一方の側に開放する第１の凹所を有する複数のプローブと、該プローブが厚さ方向に間隔をおきかつ前記先端が前記基板と反対側に突出した状態に、前記プローブを前記基板に組み付ける組み付け装置とを含む。 （もっと読む）