【課題】完全性及び耐圧性が要求水準に達し、且つ安定して作製し得る、高分子系ナノファイバー不織布を使用した液体用プリーッ式フィルターカートリッジを提供する。
【解決手段】高分子系ナノファイバー不織布を、サポート材で挟持して、ラミネート加工により該両サポート材と前記ナノファイバー不織布とを圧着一体化してフィルターを形成し、該フィルターの二次側となるサポート材の繊維径を、１〜１０μｍとして、高分子系ナノファイバー不織布の耐圧性能を向上させた。 （もっと読む）

【課題】狭い場所とか、暗い場所でも素人がフィルターを正常な位置に確実にセッティングできるフィルターの締め込み完了感知装置を提供する。
【解決手段】フィルターハウジングのヘッドにシェルを螺合させて取り付ける際、締め込み完了位置のヘッドに、先端に弾性体で付勢され得るロックピンを有する施錠具を、前記シェル外周に設けた凹部に対向して装着し、締め込み完了時に、前記弾性体の押圧若しくは伸張が解かれて、前記ロックピンが前記弾性体の力により凹部に突入してロックする際、作業員が感知し得る音を発するように構成した。 （もっと読む）

【課題】被研磨物に傷を発生させることなく高い研磨効率が得られ、且つスラリーが不要な研磨シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】合成樹脂製の繊維（３ａ）を含む不織布（３）と、繊維（３ａ）間にバインダー用樹脂（６）を介して保持された研磨砥粒（４）と、を備えることを特徴とする研磨シートである。この研磨砥粒（４）は該研磨砥粒（４）が分散されたバインダー用樹脂（６）のエマルジョンに不織布（３）を含浸させた後、不織布（３）の温度をバインダー用樹脂（６）のキュア温度に上昇させてバインダー用樹脂（６）を重合させることにより、バインダー用樹脂（６）を介して繊維（３ａ）間に保持されている。当該研磨シートによると、被研磨物に傷を発生させることなく高い研磨効率が得られ、且つスラリーが不要である。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の面内均一性を改善でき、また、研磨液消費量を少なくすることができる研磨液供給装置、研磨部材及び研磨部材付き研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】電解液供給装置６０上面の略中央の範囲に電解液注入口Ｉを設け、電解液供給装置６０内側に電解液移動路Ｍを設け、電解液移動路Ｍ内に電解液Ｅの流れを調整するリブ６７ｃ（径方向リブ６７ｅ，６７ｆ、接線方向リブ６７ｇ，６７ｈ）を設け、電解液収容部Ｆの底部に電解液Ｅの流入を制限する貫通孔を設け、そして、電解液Ｅを、電解液注入口Ｉから電解液供給装置６０に注入し、電解液移動路Ｍ及び電解液収容部Ｆを介して研磨部材層６２の下側から上側に供給した。 （もっと読む）

【課題】デバイスウエハの導電体層を、平坦性とウエハ面内均一性とを改善して、電解セルを用いて電気化学的機械的に研磨できるデバイスウエハ用の研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド６０を研磨装置５０に取り付け、研磨部材層６２を、導電体層Ｄ１に押圧させながら相対移動させることにより、導電体層Ｄ１に形成された電気化学的な保護膜（不働態皮膜）を機械的に除去可能とし、また、導電体層Ｄ１、導電性シート層６６、電解液Ｅにより電解セルを形成し、導電体層Ｄ１を電気化学的に、溶解、除去可能とした。 （もっと読む）

【課題】 均一な研磨を可能とし、半導体装置の製造歩留まりを向上する。
【解決手段】 研磨パッド５１は、導電性シート６１、絶縁層６２および導電性表層６３の積層構造を有し、導電性表層６３および絶縁層６２を貫通して底部で導電性シート６１が露出する電解液を収容可能な凹部７１が複数形成され、電解液５５の凹部７１間の移動を可能とする通路７２が凹部７１間の絶縁層６２に形成されている。半導体ウエハ５２上の導電体層５２ａの研磨工程では、プラテン５３と研磨ヘッド５４を回転させ、研磨パッド５１上に電解液５５を供給して各凹部７１内を電解液５５で充填し、導電性表層６３に正電位を供給し、導電性シート６１に負電位を供給してカソードとし、導電体層５２ａを研磨パッド５１の導電性表層６３に接触させてアノードとして導電体層５２ａを電解研磨する。研磨工程中、電解液５５は通路７２を介して凹部７１間を移動する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングが傾いていてもエア溜りの生じない濾過装置を提供する。
【解決手段】フィルターハウジング内に筒状フィルターを内装した濾過器において、前記ハウジング天板部に、前記筒状フィルターの一次側エア排出口と二次側エア排出口とを、同一の軸上に配置することによって、フィルターハウジングが傾いていても抜き残りが生じないようにした。 （もっと読む）

【課題】酸素富化膜を利用し、目の細かなフィルターを使用しなくとも、酸素濃縮能の低下を防止し、もって実用化し得るようにした酸素濃縮器を提供する。
【解決手段】酸素富化膜の大気側にエアーの流れを生じさせ、該酸素富化膜の他面を減圧にして酸素富化空気を得る酸素濃縮装置において、前記酸素富化膜を通過した大気側のエアーの流れを、マイナスイオン発生器を通してマイナスイオン化エアーとした。 （もっと読む）