【課題】 配線遅延を抑止し配線の微細化及び多層配線化を可能とする配線構造、及び当該配線構造の材料に固有の諸問題、例えば一方の材料の他方の材料への溶出等の不都合を解決して、信頼性の高い配線構造を実現する。
【解決手段】 Ｃｕ配線１０１と電気的に接続されるWプラグ１０２を形成するに際して、■ＷＦ₆ガスを一定時間連続して供給する工程、■。ＷＦ₆ガス雰囲気を一定時間連続して排気除去する工程、■ＳｉＨ₄ガスを一定時間連続して供給する工程、■ＳｉＨ₄ガス雰囲気を一定時間連続して排気除去する工程からなる一連工程（工程■〜■）を繰り返し行い、Ｗ核形成を行う。 （もっと読む）

【課題】 部分的な領域の復号画像を生成することができ、プリンタ等の外部装置の負荷を低減できる画像復号化装置を提供する。
【解決手段】スキップＭＣＵカウンタ５１と出力ＭＣＵカウンタ５２はハフマン復号部３１が１つのＭＣＵを復号するごとに出力されるディクリメント信号CPに基づいて減算動作する。ハフマン復号部３１は、出力ＭＣＵカウンタ５２の内容N2が「０」になるまでＪＰＥＧ方式にて圧縮された符号データをＭＣＵ毎に復号する。逆ＤＣＴ／逆量子化部３２は、そのハフマン復号部３１にて復号されたＭＣＵの復号データについてスキップＭＣＵカウンタ５１の内容N1が「０」になるまで逆量子化及び逆ＤＣＴ演算をしない。 （もっと読む）

【課題】 部品の組付け直し等により部品の位置が設定済みの位置データからずれててしまった場合、簡単な操作で新たな位置データを設定する。
【解決手段】 位置補正が必要な搬送位置（例えば処理トレイ３）にダミーのウェハＤＷを正しくセットする。搬送ロボットはダミーＤＷを処理トレイ３の設定済みのセンタにてすくい取り、設定済みの移動量Ａ１でダミーＤＷをアライメントユニットのテーブル１１ａまで搬送する。これにより組み付け後の処理トレイ３に正しくセットしたダミーＤＷのセンタＷｃと、処理トレイ３の元のセンタＴｃとのずれ量分だけ、ダミーＤＷはそのセンタＷｃがテーブル１１ａのセンタＣからずれて載置される。このずれ量がアライメントユニットにより計測されるとともに、その計測値から組付け直し前後の処理トレイ３のずれ量が演算され、その演算値に基づいて処理トレイ３の新たな位置データが設定される。 （もっと読む）

【目的】基準パルス信号のパルス幅に依存することなく、信頼性及び精度の高い制御パルス信号を生成できるようにする。
【構成】複数の中間信号発生回路１が直列に接続されている。各中間信号発生回路１は入力パルス信号のパルス幅より短い遅延時間で該入力パルス信号を遅延させて中間信号ＳＭとして後段の中間信号発生回路１に出力する。初段の中間信号発生回路１は一定の周期で入力される基準パルス信号ＳＡを入力する。この時、各中間信号発生回路１から出力される中間信号ＳＭは隣接する中間信号ＳＭ同士が互いに重なるタイミングで発生する。この各中間信号ＳＭは合成回路２に出力される。合成回路２はこの各中間信号ＳＭを合成して基準パルス信号ＳＡの周期より短く基準パルス信号ＳＡのパルス幅より大きいパルス幅の制御パルス信号ＳＤを生成する。 （もっと読む）

【目的】本発明は異なる電源電圧を供給しても安定して動作し得る入力回路を提供することを目的とする。
【構成】一導電型チャネルのトランジスタＴr4と反対導電型チャネルのトランジスタＴr5，Ｔr6のゲートに入力信号ＩＮが入力され、トランジスタＴr4のソースにはＶccが供給され、トランジスタＴr4とＶssとの間にトランジスタＴr5，Ｔr6が直列に接続され、トランジスタＴr4とトランジスタＴr5の共通接続端から出力信号ＯＵＴが出力され、入力信号ＩＮをゲートに入力した一導電型チャネルのトランジスタＴr15 の一端がトランジスタＴr5，Ｔr6の共通接続端に接続され、トランジスタＴr15 の他端とＶccとの間にトランジスタＴr14 が接続され、トランジスタＴr14 のゲートにはＶccが高レベルのときトランジスタＴr14 がオンされ、Ｖccが低レベルのときトランジスタＴr14 がオフされる検出信号ＨＶが電源電圧検出回路１１から出力される。 （もっと読む）

【目的】本発明は使用可能なチャンネル数を減少させることなく、基準信号の周波数を高くしてロックアップ時間を短縮可能とするＰＬＬシンセサイザ回路を提供することを目的とする。
【構成】基準信号ｆｒと比較信号ｆｐの位相差に基づく位相比較器３の出力信号ΦＲ，ΦＰがチャージポンプ５でアナログ電圧信号ＳＣＰに変換され、出力信号ＳＣＰがＬＰＦ６を介してＶＣＯ７に出力され、ＶＣＯ７の出力信号ｆvco が比較分周器４に出力されて両信号ｆｒ，ｆｐの周波数及び位相が一致するように動作する。比較分周器４のスワロウカウンタ１０にはメインカウンタ９の分周動作を複数回カウントしたとき該スワロウカウンタ１０の分周動作を開始させる制御回路１３が接続され、プリスケーラ１１にはＶＣＯ７の出力信号ｆvco の周波数を逓倍器１２で制御回路１３のカウント数倍に引き上げて入力される。 （もっと読む）

【目的】本発明はチョッパ型コンパレータの消費電力を低減することを目的とする。
【構成】比較用インバータ回路１ａの入出力端子間にはスイッチ回路Ｓ３が接続され、ゼロオフセット動作時にはスイッチ回路Ｓ３が閉路されるとともにゼロオフセット用容量Ｃに基準電圧Ｖref が入力され、比較動作時にはスイッチ回路Ｓ３が開路されるとともにゼロオフセット用容量Ｃにアナログ入力信号Ｖinが入力され、インバータ回路１ａとインバータ回路１ｂ，１ｃとの間にはゼロオフセット動作時に開路するとともに比較動作時に閉路するスイッチ回路Ｓ４が設けられ、インバータ回路１ｂ，１ｃの入力端子と低電位側電源Ｇとの間にはゼロオフセット動作時に閉路するとともに比較動作時に開路するスイッチ回路Ｓ５が設けられる。 （もっと読む）

【目的】 Ｓｉ有機化合物をアニールしてＳｉＯ₂ とする層間絶縁膜の形成に関し，残留有機成分が少なく，クラックを生じないアニール法を目的とする。
【構成】 基板上に堆積されたシリコンの有機化合物膜の少なくとも一部の有機成分を離脱せしめるアニールにより，有機化合物膜をシリコン酸化物からなる層間絶縁膜とする半導体装置の製造方法において，アニールを，窒素に２０％以下の酸素が混合された常圧乃至１ｍＴｏｏｒの圧力の雰囲気中で，該有機化合物膜が酸素雰囲気中で酸化が急激に進み始める臨界温度以上で４５０℃以下の温度範囲で行うことを特徴として構成する。 （もっと読む）

【目的】 本発明は貫通電流防止回路に関し、貫通電流の発生を防止し、消費電力の増加を抑える貫通電流防止回路を提供することを目的としている。
【構成】 高電位電源Ｖ_DD線と低電位電源Ｖ_SS線との間に、直列に接続してなる、ゲートに第１信号が入力するＰトランジスタＰ１_X、及びゲートに第２信号が入力するＰトランジスタＰ１_C と、並列に接続してなる、ゲートに第２信号が入力するＮトランジスタＮ１_C 、及びゲートに第１信号が入力するＮトランジスタＮ１_X と、を順に接続したノアゲート３と、前記直列接続されたＰトランジスタＰ１_X ，Ｐ１_C と前記並列接続されたＮトランジスタＮ１_C ，Ｎ１_X との接続点を入力端とするインバータ２とを備えるように構成する。 （もっと読む）