【課題】今後更なる需要が高まる半導体やストレージ分野におけるナノメートルオーダーでのパターン形状・パターン配列の測定において、ドリフトによる測定像の歪みにより高精度な測定結果を得ることができない。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡による試料特性の測定領域を測定中のあるタイミングで予め選択されたリファレンスパターン領域の測定を行い、リファレンスパターンの測定像から適宜ＸＹＺ軸方向の位置ずれ量を特定して探針の位置ずれ補正を行う。さらに、特定した位置ずれ量と測定チャンバー内の温度データを用いることによって、試料特性の測定像の歪み補正を行う。 （もっと読む）

【課題】探針ホルダーとナノチューブ探針とをコーティング膜を形成して固着したものでは、電子ビーム堆積によるコーティング膜の染み出しによってコーティング膜が塑性変形してしまい、ナノチューブ探針の曲げが復元しなくなるという問題がある。また染み出し部の境界は走査型電子顕微鏡では確認できないため、ナノチューブの長さを規定することが困難であり、ナノチューブ探針の長さ、剛性が定まらなくなり、探針の個体差が発生し、信頼性が低下するという問題がある。
【解決手段】ナノチューブをコーティング膜によって探針ホルダーに固着させる際に、コーティング膜を探針ホルダーの先端部でナノチューブの周囲に回り込ませて形成する。さらに、コーティング膜の探針側終端面において切断面を形成する。 （もっと読む）

【課題】多層構造を有する半導体デバイスの製造プロセスで、各層の表面形状を製造工程毎に計測し、それらの計測結果を合成し、多層のデータを用いて解析・評価することができる走査型プローブ顕微鏡の立体膜構造測定方法等を提供する。
【解決手段】この走査型プローブ顕微鏡を用いた立体膜構造解析方法は、複数層により形成される構造で、任意の複数の層の層表面形状を、任意の複数の層の各々が形成される度（ステップＳ１１，Ｓ１３）に原子間力顕微鏡等により測定する測定ステップ（Ｓ１２，Ｓ１４）と、層表面上の同一の２次元領域に関して、或る層の層表面形状に係る測定データと他の層の第２層の層表面形状に係る測定データを位置合わせし、層間距離に基づいて３次元的に配置して立体膜構造を作成する測定データ合成ステップ（ステップＳ１６）とを有する方法である。 （もっと読む）

【課題】各配線層を連結するビアのごとき開口寸法が５００ｎｍ〜数ミクロンと比較的に大きくかつ深さは数ミクロンと深くアスペクト比が高い形状の深さ管理と底部の表面粗さを厳密に管理する用途に適した走査型プローブ顕微鏡用探針ユニットを提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用探針ユニットは、一端が固定されかつ他端が自由端であるレバー部１３と、レバー部の自由端に設けられる探針１２とを有する走査型プローブ顕微鏡用探針ユニット１０であり、探針の先端部からレバー部１３との接続部に向かいカーボンナノチューブ１４を沿わせて取り付けると共に、このカーボンナノチューブ１４の先端を探針１２の先端部から突出させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】反射信号のエコー強度のレベル変動に依存せず位相成分を正確に抽出でき、被検査体内の欠陥を常に正確に再現性よく安定して検出できる超音波映像装置を提供する。
【解決手段】超音波映像装置は、反射信号に係るディジタル波形のデータを演算処理する信号演算処理部１６を有し、この信号演算処理部は、ディジタル波形のデータを、超音波探触子の中心周波数を用いて、直交演算して同相成分と直交成分を出力する直交検波部２１と、ローパスフィルタ２２１，２２２と、同相成分と直交成分に基づいてディジタル波形に含まれる周波数成分の位相を算出する位相演算部３３，３４と、位相差を算出する位相差算出部３５を含む。この位相差算部から出力された位相差に基づいて表示装置１７の画面に画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】粘弾性特性を有する粗動Ｚ軸ステージを備えた走査型プローブ顕微鏡による測定で、スループットを下げることなく、クリープに起因する計測誤差を低減できる走査型プローブ顕微鏡、その測定順序決定方法、およびその測定方法を提供する。
【解決手段】この査型プローブ顕微鏡は、粘弾性特性を有する要素を含む粗動用Ｚ軸ステージ４２上に搭載された半導体ウェハ１１の測定エリアに含まれる複数の測定箇所（基端、中央、先端等）のを高さ位置を測定する顕微鏡検査装置（原子間力顕微鏡１０）であり、当該顕微鏡検査装置を完成した後に複数の測定箇所の各々のクリープ状態を事前に測定し、この測定結果に基づきクリープ量の小さい順に従って決められた複数の測定箇所の測定順序に従って測定を実行する制御部３０を備えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】急峻な側壁を有するパターンを測定する場合、探針がパターン側壁に近づくと探針−側壁間に働くファンデルワールス力によって探針が側壁に吸着され、側壁部の測定形状に誤差が生じると共に、探針直径とほぼ同等の溝幅を持つパターンを測定する場合、探針が両側の側壁に吸着されることにより、探針が溝底部に到達できず、溝の深さを測定することができない。
【解決手段】細長探針を用いた微細な高アスペクト比パターンの測定において、探針がパターンの側壁に吸着された場合、探針のパターン側壁への吸着を検知し、探針−試料間の接触力を一時的に増加させることによって、探針を側壁の底まで到達させる。また、パターンの形状データと併せてカンチレバーの捩れ量のデータを取得し、取得した捩れ量のデータから吸着による側壁部の形状誤差の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの長さを数１０ｎｍのオーダーで調節するのに適し、先端部まで円筒型を保ち切削することが可能なカーボンナノチューブ切削方法と切削装置を提供する。
【解決手段】切削しようとするカーボンナノチューブの一端を基材に固定し、このほかにもう１つのカーボンナノチューブを用意して電極に担持し、基材に固定したカーボンナノチューブの他端と電極に担持したカーボンナノチューブの端部とを接触させ、基材と電極との間にコンデンサ放電による電流もしくはパルス電流を流して、２つのカーボンナノチューブの接触部に生じるジュール発熱により基材に固定されたカーボンナノチューブの先端部分を昇華させて切削する。切削を繰り返すことで、カーボンナノチューブの長さを数１０ｎｍの間隔で微調節でき、また、先端部まで円筒型を保つことができる。 （もっと読む）

【課題】ナノチューブ特にカーボンナノチューブをプローブの探針に用いた場合の探針の剛性の確保による測定の信頼性と再現性の向上。
【解決手段】ナノチューブ特にカーボンナノチューブよりなる探針を備えたプローブにおいて、長さを数１０ｎｍの精度で調整し、先端にかけて円筒型を保持する探針を有するプローブを走査型プローブ顕微鏡に応用する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の形状測定で、温度変化による形状測定データの誤差を適切に補正する手法を実現し正確な形状管理を行える形状測定データの補正方法等を提供する。
【解決手段】この形状測定データの補正方法は、原子間力顕微鏡１００等における主走査と副走査から成る探針走査動作に基づく測定によって試料表面の形状測定データを取得するステップＳ１１、形状測定データに基づき複数の主走査ラインについて主走査ライン毎の傾斜データを求めるステップＳ１２、複数の主走査ラインの各々の傾斜を主走査ライン毎の傾斜データに基づき補正し、全ての主走査ラインの傾斜を等しくするステップＳ１３と、形状測定データに基づき複数の主走査ラインの各々の平均高さデータを求めるステップＳ１４と、複数の主走査ラインの各々の平均高さを主走査ライン毎の平均高さデータに基づき補正し、全ての主走査ラインの平均高さを等しくするステップＳ１５とを含む。 （もっと読む）