【課題】
真空容器内における負に印加したワークを回転させながら周囲より正イオン化した被蒸発材料を同ワークに衝突させて同被蒸発材料による被膜を形成するイオンプレーティング装置よりも、ワークの表面に形成する被膜をより滑らかなものにできるイオンプレーティング装置を提供できるようにした。
【解決手段】
真空容器内にて、負に印加した被処理物に蒸発させかつ正イオン化した被蒸発材料を衝突させて同被蒸発材料による被膜を形成するイオンプレーティング装置において、真空容器１内にセットする被処理物たるワーク２が、正イオン化した蒸発材料９が衝突する衝撃によって少なくとも前後方向に揺動するようにセットできるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】
切断部をフレームに接続する状態で水晶ウェハより切り出された水晶片をフレームごと処理用のトレイに収容してセットすることで、水晶片をフレームより折り取って専用の収容トレイ内に自動で直接収納できる水晶片の折り取り移載装置を提供する。
【解決手段】
切断部をフレーム９に接続する水晶片１０をフレーム９ごとセットする処理用トレイ６、フレームより折り取った水晶片を収納する収納用トレイ８を載置するトレイテーブル２と、処理用トレイ内の水晶片をフレームより折り取る折り取り用ヘッド３と、折り取り用ヘッド３を処理用トレイ６と収納用トレイ８の間を移動させる移動手段より構成し、水晶片１０を折り取り用ヘッド３で吸着支持し、折り取り用ヘッドを所定の方向に移動させて水晶片をフレームより折り取り、折り取り用ヘッドに吸着する同水晶片を収納用トレイに搬送し収容する。 （もっと読む）

【課題】
ワーク側面から接着剤がはみ出してもポケット内壁に接着剤が付着しにくく、かつ付着した接着剤を除去しやすい構成とし、トレイの清浄度を常に高く維持し、ワークのポケットへの出し入れおよび正確な位置決めを円滑に行うことができるようにする。
【解決手段】
複数枚のパネル１０、１１を重ねてなり、第一パネル１０は多数の貫通孔４を有し、該貫通孔の内側面によってポケットにおける電子部品の水平動規制手段４ｂを構成し、第二パネル１１は前記貫通孔に対向する部位に電子部品の底部を支承する支持手段５ａを有し、かつ、前記第一と第二のパネルのうちの少なくとも一方に、前記水平動規制手段よりも外側に拡げられた後退部６を形成したことにより、前記第一と第二パネルとを重ね合わせた際に前記水平動規制手段と前記支持手段との間に前記後退部により横溝部４ｄが構成されるようにした。 （もっと読む）

【課題】
被収容物たるワーク側面から接着剤がはみ出してもポケット内壁に接着剤が付着して残るようなことがまずなく、トレイの清浄度を常に高く維持することができるとともに、ワークのポケットへの出し入れおよび正確な位置決めを円滑に行うことができる電子部品収容用のトレイを提供する。
【解決手段】
上面に電子部品収容用の多数のポケット３を有し、各ポケットは、電子部品２の底部を支承する支持手段６と、ポケット内における電子部品の水平方向の動きを規制する水平動規制手段１２とを備え、この水平動規制手段と前記支持手段との間に横溝部１０を形成した。 （もっと読む）