【課題】効率よく、かつ低コストで溶液を大型基板上に安全かつ省スペースで塗布する装置を提供する。
【解決手段】溶液塗布装置は、基板Ｓを溶液に浸漬させるための浸漬槽１と、前記溶液を貯留するための貯留槽２と、前記貯留槽から前記浸漬槽に溶液を供給するための溶液供給手段３と、前記浸漬槽から前記貯留槽に溶液を移送するための溶液移送手段４と、を備えていることを特徴とする。 本発明に係る溶液塗布装置によると大型・大面積の基板でも安全かつ省スペースで溶液を塗布することができる。また、乾燥は半密閉された浸漬槽内で行うため基板を動かす必要がなく、ホコリも付着しにくい。 （もっと読む）