【課題】 マグネトロン電源装置にあって、高周波で電力を送るインバータ方式を採用する場合、チョークコイルを回路に組み入れると定電流コントロールを行なうことができず不安定となってしまい、系が安定しないという点である。
【解決手段】 パワースイッチとパルストランスを含めたインバータとマグネトロン発振器とを組み入れたマグネトロン電源装置であって、マグネトロン発振器のグランド側もしくは高圧側にコイル素子と、そのコイル素子と並列とした抵抗素子とを組み込んであることとし、前記したコイル素子と抵抗素子にはさらにバリスタを並列に組み込んであることとする。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロン電源装置にあって、インバータ方式を採用しようとする際、チョークコイルを回路に挿入すると、不安定となり、つまり定電流コントロールを行なうことができず、系が安定しないという点である。
【解決手段】 パワースイッチとパルストランスを含めたインバータとマグネトロン発振器とを組み入れたマグネトロン電源装置であって、マグネトロン発振器のグランド側もしくは高圧側に抵抗素子を組み込んであることとし、前記抵抗素子を高圧側に組み込む場合、その抵抗素子を絶縁してあることとする。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロン真空計は一度放電が停止してしまうと再度放電させるまでに長時間を要するという点であり、また、マグネトロン真空計では低真空領域の測定ができず、定電流による測定は陽極を破壊してしまう虞もあり、異常大電流を抑えて単に定電流を流しても非線形となっているため、そのままでの測定はできないという点である。
【解決手段】 熱エネルギーを与え、吸着脱離時間を短縮させ、電子の運動エネルギーを増加させることで放電開始時間を短縮することとし、また、複数種の定電流を切り換えてマグネトロン真空計の両端電圧、周波数及び振幅を測定してその各定電流による測定値データを比較して真空度を表示することとする。 （もっと読む）