【課題】ボールねじ部が曲がることを防ぐことができる免震用回転慣性質量ダンパーを提供する。
【解決手段】上部構造体２と下部構造体３との間に生じるＸ方向（一の方向）の相対振動を低減するためのＸ方向回転慣性質量ダンパー（第１回転慣性質量ダンパー）１０と、上部構造体２と下部構造体３との間に生じるＹ方向（他の方向）の相対振動を低減するためのＹ方向回転慣性質量ダンパー（第２回転慣性質量ダンパー）２０と、を有する。Ｘ方向回転慣性質量ダンパー１０のＸ方向スライダ（第１スライダ）１２とＹ方向回転慣性質量ダンパー２０のＹ方向スライダ（第２スライダ）２２とは鉛直方向に対向し、水平面内において互いに回転可能にピン接合されているとともに、上下方向に相対変位可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ワーク（基板）の大型化に伴い、ワークに生じやすい変形や歪を軽減することが出来るワークチャックを有する露光装置を提供する。
【解決手段】ワークを吸着載置するワークチャックは、そのワーク載置面に複数の吸着領域を設け、各々の吸着領域の内側には領域壁と同一高さの複数のランドを配設し、前記領域壁とランドを除く部分を凹部とし、各々の吸着領域を各々選択的に且つ独立の正、負圧又は大気圧状態に制御する。 （もっと読む）

【課題】ワーク（基板）の大型化に伴い、ワークに生じやすい変形や歪を軽減することが出来るワークチャックを有する露光装置を提供する。
【解決手段】ワークを吸着載置するワークチャックは、そのワーク載置面に複数の吸着領域を設け、各々の吸着領域の内側には領域壁と同一高さの複数のランドを配設し、前記領域壁とランドを除く部分を凹部とし、各々の吸着領域を各々選択的に且つ独立の正、負圧又は大気圧状態に制御する。 （もっと読む）

【課題】ワーク（基板）の大型化に伴い、ワークに生じやすい変形や歪を軽減することが出来るワークチャックを有する露光装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着載置するワークチャックは、そのワーク載置面に複数の吸着領域８１ａ−８１ｄを設け、各々の吸着領域の内側には領域壁と同一高さの複数のランド８１２を配設し、前記領域壁とランドを除く部分を凹部とし、各々の吸着領域を各々選択的に且つ独立の正、負圧又は大気圧状態に制御する。 （もっと読む）

走行音の低減による騒音特性の向上及びスライダ本体の滑らかな作動性を実現するとともに、転動体通過振動の低減による運動制動の向上を図ることが可能な直動案内装置を提供する。ベアリングブロック２Ａの転動体軌道溝１１の端部に、所定の曲率半径Ｒで曲面形状としたクラウニング２４を設けている。このクラウニング２４のクラウニング量Ｃは、転動体転動路１４内で、予圧や外部荷重によって弾性変形している転動体Ｂの最大弾性変形量Ｈ_ｍａｘより大きな値（Ｃ ＞ Ｈ_ｍａｘ）に設定されている。このようにすると、ベアリングブロック２Ａに大きな荷重が作用したり、こじり等で大きな取付け誤差が生じた場合であっても、転動体軌道溝１１の端部側を転動する転動体Ｂの弾性変形量がクラウニング量Ｃより大きくならず転動体Ｂが円滑に転動する。したがって、著しい騒音レベルの悪化や作動性の悪化を防止することができる。
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