【課題】捕集板上に濃淡や縞が生じないようにするとともに、粒子を均一に堆積することができるようにした粒子分粒捕集機構を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１と対向するように配設され、ノズルプレートのノズルを通過した気体を衝突させて浮遊粒子を捕集する捕集板と、捕集板を回転させる回転機構とを備えた粒子分粒捕集機構であって、ノズルプレート１に形成されるノズルが、少なくとも１本の曲線スリット６からなり、捕集板の回転軸を延長した線上にくるノズルプレートの位置をノズルプレートの中心として、ノズルプレート１の中心近傍の円形領域２を除いた円環状領域３内で、この曲線スリット６が当該円環状領域３の内周円４から外周円５に向かう曲線を形成するようにすることで、均一な分布にする。 （もっと読む）