【課題】外部熱負荷装置の急激な温度変化にも対応できる熱応答性が高くしかも高精度の温度制御が可能な恒温維持装置を提供する。
【解決の手段】恒温維持装置のメインユニット１の冷却側タンク４３から予め定められた温度に調整された低温循環液が供給配管１４によってサブユニット２の三方弁２０に供給される。一方、加熱側タンク４４から予め定められた温度に調整された高温循環液が供給配管１５によって三方弁２０に供給される。低温循環液と高温循環液は三方弁２０において外部熱負荷装置７の温度によって混合割合を調整された後、熱交換室７１に供給されて外部熱負荷装置７の温度を設定温度に維持する。外部熱負荷装置７の温度はプロセスチャンバーに設置された温度センサー７２，恒温循環液供給管に設置された温度センサー２３、恒温循環液戻り管に設置された温度センサー２４の何れかで計測されて、三方弁２０の弁開度をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度制御が可能であるにも拘わらず、熱エネルギーの消費が極めて少なく且つ運転制御の容易な恒温維持装置を提供する。
【解決の手段】温度センサ４１と温度センサ４３との温度差に基づいて冷却器２の運転モードであるアイドリングモードとロードモードの切り換えを行う。運転モードの切替えのための冷却器２の冷却能力の調整は圧縮機２１を駆動するインバータの周波数を変更することによって行う。ロードモードにおける冷却器２の冷却能力の調整は温度センサ４２の温度と加熱器４の設定温度との温度差が一定になるように電子膨張弁２３の開度を調節することによって行う。 （もっと読む）