【課題】超音波振動子にて発生させた超音波振動を効率良く砥石に付与することができる新規な構成の研磨具を提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の下方に環状接続部１２を介して支持板と間隔をあけて平行に支持され、下面に環状の砥石１３が装着された環状砥石装着板１４、および砥石装着板に固定された超音波振動子を備え、上記環状接続部１２の上側環状接続面１２ａの内周縁が下側環状接続面１２ｂの外周縁よりも外周側に位置していて、この接続部１２の上側環状接続面１２ａの内周縁と下側環状接続面１２ｂの外周縁との間に、環状空気相含有帯域１６、１７を接続部１２の径方向に多重に形成してなる環状空気相含有領域１８が、この環状空気相含有領域により超音波振動子から発生される超音波振動が砥石装着板と平行な方向に沿って環状接続部１２の環状空気相含有領域１８よりも外周側の領域に伝達されないように設けられていることを特徴とする研磨具。 （もっと読む）

【課題】 加工精度が高く、かつ信頼性の高い超音波加工する工具ホルダを提供すること。
【解決手段】 超音波工具ホルダ１は、回転軸に取り付けるテーパー状の鋼製のホルダ部２があり、そのホルダ部２の中に顎５そしてマニピュレータ把持用溝６がある。ホルダ部２の円筒形状の空間２３を持つ部分のリアマス１１に複数の貫通するスリット２４を設ける。ホルダ部２のテーパー状の部分と同じくホルダ部２の顎５の間に回転側のフェライト製のロータリートランス８を配置する。そしてその回転側のロータリートランス８を固定するためにメネジを持つ鋼製の固定リング７により締め付け固定する。超音波工具ホルダ１のホルダ部２、リアマス１１、そしてチャック筒３は一体の鋼材で作成する。そしてリアマス１１と鋼製のフロントマス１３の間に圧電セラミック１２ａ、１２ｂ入れ、締め付け一体化する。そして、チャック筒３に焼嵌めにより超硬製の工具４であるエンドミルを接合する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 砥石保持部材２８の外径と内径とのほぼ中間にリング状の支柱３３が設けられる。そして超音波振動子２７ａを砥石保持部材２８の下面あるいは超音波振動子２７ｂをリング状の支柱３３の外周部と超音波振動子２７ｃをリング状の支柱３３の内周部の砥石保持部材２８の下面側に接合する。さらに砥石保持部材２８の上面を回転軸１３ａのフランジ１９に固定保持する。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１０は、上側表面に研磨対象物１１を支持する支持テーブル１２、支持テーブル１２の上方に、支持テーブル１２に対して垂直に配置された回転軸１３、そして回転軸１３の下端部に支持テーブルと平行に接続されている、電源１４に電気的に接続する環状超音波振動子２７を固定した砥石保持部材２８と、砥石保持部材２８の周縁部の下端に備えられた環状の砥石２９とを含む研磨具３３どから構成されている。図面を簡単にするため環状の砥石２９を一体として図示したが実際には２８分割している。また環状の砥石２９は平均直径が約２００ｍｍである。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる研磨具及び研磨装置を提供する。
【解決手段】 研磨装置１０は、上側表面に研磨対象物１１を支持する支持テーブル１２、支持テーブル１２の上方に、支持テーブル１２に対して垂直に配置された回転軸１３ａ、そして回転軸１３ａの下端部に支持テーブル１２と平行に接続されている、電源１４に電気的に接続する環状超音波振動子２７ａ、２７ｂ、２７ｃを固定した砥石保持部材２８と、砥石保持部材２８の周縁部の下端に備えられた環状の砥石２９とを含む研磨具３３などから構成されている。この研磨装置は、砥石保持部材２８の外周部の溝３０ａと内周部の溝３０ｂがあり、その溝３０ａと３０ｂはほぼ等しい深さＴ１、Ｔ２を持つ。溝の無い部分Ｓの中心を振動の節円３２とする溝３０ａ、３０ｂから下部の径方向の振動をさせることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】 機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】 ボルト締めランジュバン型超音波振動子２のリアマス４の端部に接合された支持部品９のフランジ１２は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２の中央部に位置する。支持部品９のフランジ１２をベース台に固定する。ボルト締めランジュバン型超音波振動子２のフロントマス３に設けられたメネジとチタン製のボルトにテーブル１１を接合する。また、テーブル１１とフロントマス３の間にはシリコングリースを薄く塗ってある。 （もっと読む）

【課題】 機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】 フロントマス２の超音波放射面と反対側の面に４組のサポート台７、圧電セラミック４、リアマス３を４本のボルト６により締め付け一体化し、１個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１を構成する。そしてボルト締めランジュバン型超音波振動子１の振動の節を支持する４個のサポート台７をベース台１０に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】 フロントマス２の超音波放射面と反対側の面に４組のサポート台７、圧電セラミック４、リアマス３を４本のボルト６により締め付け一体化し、１個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１を構成する。そしてボルト締めランジュバン型超音波振動子１の振動の節を支持する４個のサポート台７をベース台１０に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】超音波振動テーブル８は、アルミ製のテーブル９、フロントマスがステンレス材料であるＳＵＳ３０３である９個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１そしてベース台１０で構成されている。アルミ製のテーブル９と９個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１は、ネジまたはエポキシ樹脂などで接合する。９個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１のサポート台とステンレスＳＵＳ３０３製のベース台１０はネジで接合する。 （もっと読む）

【課題】 機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】 超音波振動テーブル９は、アルミ製のテーブル１０、フロントマスがステンレス材料であるＳＵＳ３０４である４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄそしてベース台１１で構成されている。アルミ製のテーブル１０と４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１は、ネジまたはエポキシ樹脂などで接合する。４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１と制振合金製のベース台１１はネジで接合する。 （もっと読む）