【課題】液体あるいは気体中に含まれる微粒子について、不純物濾過用のフィルター上に捕集した汚染物（コンタミネーション）として、その粒子径により数量分類して汚染度を等級表示するための高精度で安価な微粒子計測方式を提供する。
【解決手段】液体あるいは気体中の微粒子をフィルター１に捕集した汚染物として、フラットベッド型スキャナ２を用いて直接読み取る。そして、得られた情報をデジタル信号データとして情報処理手段３に入力し画像解析手段４によって得られた画像データより微粒子径を数量分類し汚染度の等級を判定する汚染等級判定手段５、および計測済みの汚染等級データより計測対象物の交換・浄化時期予測とその処置を促すための警告出力を制御する付加機能としての予測監視手段６を設ける。 （もっと読む）