【課題】分解能を高めた画像処理方法を提供する。
【解決手段】物体を撮像装置に対して相対移動させながら当該撮像装置により得られた、物体の表面の複数の画像に基づく画像処理方法であって、複数の画像から物体の表面における同一箇所に該当する部分を抽出するとともに、当該抽出した部分の信号強度から物体の表面高さを求めて、表面高さの度数分布を求めるステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０２）と、度数分布に基づいて表面高さの確率密度関数を算出し、確率密度関数が最大となる表面高さを表面高さの真値として求めるステップ（Ｓ１０３）とを有している。 （もっと読む）

【課題】短時間のうちに光沢面の表面形状を正確に測定できる形状測定装置およびその形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、顕微鏡用試料台１６に載置された試料１５の表面像を撮像する撮像部２５と、撮像部２５の撮像光学系の光軸に沿って、撮像光学系を試料１５に対して周期的に相対移動させ、移動量を記憶して出力するピエゾ駆動制御装置と、表面像に試料１５の表面の凹凸を反映した試料１５の表面からの反射光の強度ムラを重ねる二光束干渉対物レンズ１４と、ピエゾ駆動制御装置から出力される撮像部２５の移動距離値の中、二光束干渉対物レンズ１４により反射光の強度ムラが重ねられた表面像を撮像する撮像部２５により撮像される複数の表面像の合焦度が最大となる移動距離値に基づいて、試料１５の表面の相対高さを演算して試料１５の表面形状を求める制御用プロセッサ２７とを備える。 （もっと読む）