【課題】微小物体の外観検査装置において、微小物体の多様な仕様に対応しつつ、外観の広い領域に亘って高精度な検査を行う。
【解決手段】微小物体５０の外観検査装置１００は、表面に吸着部２２を有し、被検査体を回転搬送する第１ドラム７と、被検査体及び中央部を通る線上の、被検査体及び中央部間の一の領域に配置された撮影手段３１と、当該線上の他の領域に配置された撮影手段３２と、側面に吸着部２３を有し、被検査体を回転搬送する第２ドラム９と、第２ドラムの表側及び裏側にそれぞれ配置された撮影手段３３、３４と、側面に吸着部２４を有し、被検査体を回転搬送する第３ドラム１１と、第３ドラムの表側及び裏側にそれぞれに配置された撮影手段３５、３６と、これら撮影手段によって撮影された画像情報から不具合の有無を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）