【課題】電子ビーム装置の保守が短時間かつ容易に行える電子加速器および電子加速方法
を提供する。
【解決手段】電子ビーム放射窓２４を備える真空チャンバ４６であって、細長い要素の中
に形成されている真空チャンバ４６と、真空チャンバ４６内に配置され、電子を発生する
電子発生器３１と、細長い要素の中に配置され、電子発生器３１に電力を供給する高電圧
コネクタ１２と、高電圧コネクタ１２と真空チャンバ４６とを分離する高電圧絶縁体２８
とを備え、電子発生器３１をハウジングにより囲み、ハウジングにおける電子発生器３１
と電子ビーム放射窓との間に少なくとも１つの開口が形成され、前記ハウジングと電子ビ
ーム放射窓２４間に電圧が供給されたときに、電子を電子発生器３１から電子ビームにし
て真空チャンバ４６に密封されている電子ビーム放射窓２４の外に加速する電子加速器。 （もっと読む）

【課題】照射対象物に均一に分布する電子ビームを照射することができる電子ビーム照射装置およびその方法を提供する。
【解決手段】本発明の電子ビーム照射装置は、電子を発生させる電子発生器２４を備え、電子発生器２４が電子を発生させる少なくとも１つの電子源３０を収容するハウジング２６を有し、電子源３０が所定の幅を有し、ハウジング２６が、電子源３０から距離をあけて配置された電子透過領域３２を有し、電子透過領域３２がハウジング２６に形成され、電子源３０の所定の幅を横断する横断方向に延在する一連の狭く細長いスロットおよびリブを含み、電子源３０によって発生される電子を電子源３０の所定の幅を横断する横断方向に拡散させるように、前記少なくとも１つの電子源に対して構成され、位置決めされている。 （もっと読む）