【課題】耐熱性、耐放射線性及び二次電子放出特性に優れている量子ビームモニタ用電極を提供すること。
【解決手段】本発明の量子ビームモニタ用電極１は、複数のリボン状のカーボングラファイト薄膜２１０が所定間隔おきに一方向に沿って並設されたモニタターゲット２１を備えている。カーボングラファイト薄膜２１０は、厚さが０．５〜１００μｍ、幅が０．０５〜５０ｍｍであることが好ましく、隣接するカーボングラファイト薄膜２１０間の距離は、０．０１〜１００ｍｍであることが好ましい。 （もっと読む）