【課題】本発明は、ウエハ吸着器具において、多数の微細孔を有し、クッション性を有し、かつ、化学的安定性に優れたＰＴＦＥ多孔質体を吸着面とした吸着パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るシリコンウエハ吸着器具の吸着パッドは、シリコンウエハ吸着器具において直径２００ｍｍ以上のシリコンウエハが吸着される面に載置する吸着パッドであって、該吸着パッドが、連続気孔を有し、多孔質体の密度が１．０〜１．５であり、多孔質体の厚みは５ｍｍ〜１５ｍｍのＰＴＦＥ多孔質体であって、ＰＴＦＥ粉末の焼結によって形成してなるものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高品質のフッ素樹脂成形品を製造する方法及び該方法により製造された高品質のフッ素樹脂成形品を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明に係るフッ素樹脂成形品の製造方法は、Ｃ_ｎＦ_２ｎ＋２（ｎ：６〜１２）で表されるパーフルオロアルカン２種を少なくとも含む混和物をＰＴＦＥファインパウダーの成形助剤に使用し、ペースト押出成形によりシート状成形品を製造し、該シート状成形品をカレンダーロールで圧延して厚み２５μ〜１μの未焼成、半焼成又は焼成ポリテトラフルオロエチレンフィルムに成形加工する方法である。 （もっと読む）