【課題】パッケージを効率良く製造すること。
【解決手段】第１基板４０を厚さ方向に貫通し、キャビティの内側とパッケージの外側とを導通する貫通電極を形成する貫通電極形成工程を有し、貫通電極形成工程は、第１基板４０に貫通孔３０、３１を形成する貫通孔形成工程と、平板状の土台部８と、土台部８の表面に立設された芯材部７と、を備える導電性の鋲体９の芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入する鋲体配置工程と、を有し、貫通孔形成工程の際、第１基板４０の第１面４０ａ側から、第１面４０ａとは反対の第２面４０ｂ側に向けて漸次拡径する逆テーパ状に貫通孔３０、３１を形成し、鋲体配置工程の際、第１基板４０の第１面４０ａを上方に向けて第１面４０ａ上で鋲体９を移動させつつ、貫通孔３０、３１を通して第２面４０ｂ側から鋲体９を吸引することで、芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入するパッケージの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 振幅及び位相調整を必要としない正確かつ安定した高い振動速度で高い静粛性を有する余剰パーツの排除も可能な縦振動パーツ整列機。
【解決手段】 電気駆動モータＭ１と、カムシャフト３と、カムシャフト上に並設された１対の円筒形作用面４ａ、４ｂを有する偏芯カム４とで構成された振動発生源を載置されかつ裏側に揺動機構７０が固定された固定テーブル１０、固定テーブルに上方及び下方が固定される弾性伸縮可能な懸架支柱４０、その上端に振動テーブル２０が、下端に共振防止用の重錘Ｗが載せられるウエイトテーブル３０が互に平行に取り付けられている。偏芯カムの各々の中心軸線Ｃ_１，Ｃ_２が、カムシャフトの回転中心軸線Ｃ_０に対して直径方向に相互に同じ距離Ｄ_１、Ｄ_２だけ偏倚しており、一端に偏芯カムを、他端に上記各テーブルのピン５を各々支承するジャーナル軸受７を備えたリンク部材８によって各々接続されており、一方のリンク部材８ｂが、前記固定テーブルを貫通して伸びている。 （もっと読む）