【課題】 めっき膜の膜厚を被めっき面の全面に亘って均一に形成でき、めっき膜の品質を向上できると共に、装置の小型化、簡略化を図ることができるようにする。
【解決手段】 水槽１０内には、陰極３０を下側にして陽極２０を上側にしてこれら陽極２０および陰極３０を互いに平行でかつ水平に配置する。また、水槽１０の側板１０Ｂには、陽極２０および陰極３０を水槽１０内に挿入するための開口１７を設けると共に、開口１７を閉塞する閉塞板４０を設ける。さらに、水槽の側板１０Ｂ，１０Ｃには、陽極２０を水平状態に保つための溝部１８Ａ，１８Ｂを設ける。また、陰極３０は閉塞板４０に対して片持ち支持の状態で取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 被めっき物のうち被めっき面以外の部位がめっきされてしまうのを確実に防止でき、性能、信頼性等を向上できるようにした電気めっき用治具を提供する。
【解決手段】 第１，第２の絶縁板１０，２０、内側シール４０および外側シール５０で取り囲まれた空間部Ｓ内の空気を空気吸込み通路６０を通じてポンプＰで吸い込む。これにより空間部Ｓを負圧状態に保持し、内側シール４０全体を、ウエーハＷに対して均一な押付力（面圧）をもって当接させると共に、外側シール５０全体を第２の絶縁体２０に対して均一な押付力（面圧）をもって当接させる。 （もっと読む）

【課題】均一なめっき膜を形成することができる電気めっき試験器を提供する。
【解決手段】めっき液が注入されるめっき水槽１１と、めっき水槽１１内に設置される陽極８と、めっき水槽１１内に陽極８に平行に設置される被めっき物である陰極１と、陽極８と陰極１との間に電圧を印加させる直流電源とを備え、めっき水槽１１の底面に設けられためっき液の排出口１３と、被めっき物の表面近傍を攪拌するめっき水槽１１の底面に設けられためっき液の噴出孔と、排出口１３からめっき液を吸い込み噴出孔からめっき液を噴出するように接続されためっき液の循環ポンプとを有する電気めっき試験器１を構成した。 （もっと読む）