【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中に発生した機械的振動に起因する見掛けモータ回転制御信号を無視可能とされている。 （もっと読む）

【課題】 調芯終了時の光軸合わせ状態の経時的な劣悪化を払拭可能な調芯装置を提供する
【解決手段】 出力側（入力側）位置決め手段が、出力側（入力側）位置検出手段で検出された位置信号をフィードバックして出力側（入力側）冶具を３次元方向にそれぞれ移動させて各目標位置に位置決め可能に形成し、調芯終了後に検出された当該検出時位置と記憶して置いた調芯終了時位置との間に差が生じた場合に、出力側（入力側）位置決め手段および出力側（入力側）位置検出手段を用いて出力側（入力側）冶具のそれぞれを常に調芯終了時位置に戻すように補正位置決め制御可能に形成されている。 （もっと読む）