ＭＯＣＶＤで使用するための希土類金属前駆体であって、一般式ＯＣＲ^１（Ｒ^２）ＣＨ_２Ｘ（式中、Ｒ^１は水素またはアルキル基を示し、Ｒ^２は任意に置換されたアルキル基を示し、ＸはＯＲ及びＮＲ_２（式中、Ｒはアルキル基または置換アルキル基を示す）から選択される）で表される配位子を有する。また、前駆体の製造方法と前駆体を使用した金属酸化膜の成膜方法も開示する。 （もっと読む）