【課題】より生産性を高め、かつ手頃な価格にすることができるセンサを提供する。
【解決手段】 微細加工集積光−熱センサ（１０）は、高速に強度が変動する、または脈動する光源（１４）、干渉フィルタ（１６）、シャドウ・マスク（１１３）または熱センサから光の反射遮蔽（１９）、または差動動作、検出されるガス（２１）がチャネル（１１４）を介して流入するガス・キャビティ（２０）またはフィルタ、および検出される特定のガスが特定の波長で光を吸収することによって生じるガスの加熱を感知する熱検出器素子を含む。センサの他の型は、２重キャビティのものである。一方のキャビティ（１２１）は検出されるガスを含み、他方のキャビティ（１２２）は周囲環境から密閉され、ガスを含まない。両方のキャビティの検出器からの信号は互いから差し引かれ、結果的に検出器に当たる放射線による固定信号（１２７）が除去される。 （もっと読む）

【課題】 従来技術のコンデンサのようなすべり接点が存在しない、マイクロコンデンサを製作する。
【解決手段】 共通の極板に隣接して配置された様々な幅の梁または極板の組合せを有する、デジタル同調式コンデンサである。極板は、組み合わさって共通の極板に対して前後に直線移動し、調節可能な所望のキャパシタンスを実現する。 （もっと読む）