【課題】高速性と切断容易性を有すると共に、微粒子飛散を抑制した基板分割方法を提供する。
【解決手段】パルス周期Ｔのレーザ光を照射しつつ走査速度Ｖで走査して、分割基点ラインを形成する走査工程と、分割基点ラインに沿ってライン状の外力を基板に直交して基板の裏面から加えて、基板表面の改質領域を開口させて分割する加圧工程と、を有して構成される。レーザ光のパルス幅τは１０〜３０ｐＳｅｃ、パルス周波数Ｆは１００ＫＨｚ〜５０ＭＨｚであって、パルス周波数Ｆと走査速度Ｖとで特定される走査ピッチＶ／Ｆは、レーザ光のビームスポット径Φに対して、Ｖ／Ｆ≦０．７Φに設定される。 （もっと読む）

【課題】 不均一な配光特性を有する発光素子についても、その光量を迅速且つ高精度に測定できる測光装置の提供。
【解決手段】 受信光の受信強度に対応した検出データＩｉを出力するｎ個の受光部と、受信光のスペクトル分布データＰ（λ）を出力する分光分析部と、受光部の感度を特定する分光感度データＰＤｉ（λ）を、ｎ個の受光部に対応して各々記憶する記憶部と、演算動作を実行する制御部と、を有して構成される。制御部は、ｎ個の検出データＩｉと、ｎ個の分光感度データＰＤｉ（λ）と、スペクトル分布データＰ（λ）とに基づいて、発光素子の放射エネルギーのスペクトル分布ＥＧｉ（λ）を算出する第一処理と、スペクトル分布ＥＧｉ（λ）に基づいて放射束ＥＧｉを算出する第二処理と、スペクトル分布ＥＧｉ（λ）と分光視感効率Ｖ（λ）とに基づいて光束Φｉを算出する第三処理とを有する。 （もっと読む）

【課題】高硬度で熱伝導性に優れるため長期間にわたって安定して使用することができる半導体素子の測定用ステージを提供する。
【解決手段】半導体素子を製造する製造工場の検査工程で使用され、半導体素子を所定の温度域に維持した状態で連続的な検査動作を可能にした測定用ステージである。半導体素子が載置される平坦な上面を有する第一板材１と、第一板材の下面に接触する上面を有する第二板材２とが積層されて構成され、第一板材１は、第二板材２より硬度及び熱伝導率に優れたダイヤモンドで構成され、第二板材２は、第一板材１より板厚が厚く、且つ、第一板材との接触面積より広い上面を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査精度を悪化させることなく、作業効率を飛躍的に向上させることができる検査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤバーを分離して構成された複数のＬＤチップ１について、その劈開端面の良否を順次検査する検査装置である。複数のＬＤチップを保持する粘着シート３と、粘着シート３と共に移動する載置台２と、ＬＤチップ１を撮影する捕捉カメラ４と、ＬＤチップ１の劈開端面からの反射光を受ける検査カメラ５と、装置各部の動作を制御する制御部とを有する。捕捉カメラ４からの画像に基づいて、載置台２を移動させてＬＤチップ１を最適位置に位置決めし、最適位置のＬＤチップについて、粘着シート３を通過して劈開端面で反射される反射光に基づいて、劈開端面の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体バーの端面に形成された保護膜を破損することなく、交互に積層されているスペーサと半導体バーを円滑に分離する半導体素子の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】 複数のレーザダイオードが長手方向に連設されて板状に形成されたＬＤバー２０と、ＬＤバー２０より長手方向に長いスペーサ２１とを交互に積層した状態で、ＬＤバー２０とスペーサ２１の露出面への一体的な成膜処理に供する整列治具１と、一体的な成膜処理を終えたＬＤバー２０及びスペーサ２１のうち、スペーサ２１の両端を積層方向に押圧してスペーサ２１を撓ませる分離プッシャー３ａ，３ｂと、分離プッシャー３ａ，３ｂを機能させた後、撓ませたスペーサ２１か、その上側に位置するＬＤバー２０ーを取り出すコレット４，５とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップなどの電子素子が如何に小型化されても、計測プローブの接触状態の良否に拘わらず、確実なケルビン接続を実現できる特性測定装置を提供する。
【解決手段】二つの計測プローブが半導体チップ３にケルビン接続されて構成される特性測定装置ＭＳである。半導体チップ３は、電気的に複数部分に区分された導電性を有する板バネ２ａ〜２ｄの上に配置され、組合せプローブＰＲによる押圧状態下で、その特性が計測される。 （もっと読む）

【課題】頂面を同一面に配置して検査対象載置面を構成する複数の端子を有する端子テーブルを提供する。
【解決手段】検査対象載置面は、載置すべき検査対象の端子接触側面よりも小さい面積であっても良く、複数の端子の頂面間に検査対象吸引穴が設けられていても良い。本端子テーブルは、検査対象の下面側から簡単に２端子で接触可能である。さらに検査対象と測定端子とがより確実に接触し、正確な測定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】発光素子の放射出力や波長特性などを自動的に連続して計測できる測光装置及び測光方法を提供する。
【解決手段】光反射率が高く高拡散性の内壁を有する積分球を、素子保持部１と計測本体部２の分割構成とし、素子保持部１に配置された発光素子からの放射光を、計測本体部２に配置した受光素子で受ける測光装置である。計測動作に先立って、素子保持部１を計測本体部２に向けて移動させて両者を略一体化させる一方、計測動作が完了すると、素子保持部１を計測本体部２から遠ざける搬送部と、素子保持部１を計測本体部２と略一体化させた後、計測動作時に発光素子を発光させ、拡散波を受光素子で受光させる動作制御部と、を有する。搬送部と動作制御部の動作を繰り返すことによって、素子保持部１に保持されて順次搬送されてくる発光素子の光量を連続的に計測する。 （もっと読む）

【課題】真空吸引装置に最適に適合すると共に、小型電子素子の大きさの違いにも適合可能な整列装置を提供する。
【解決手段】動作状態で負圧を形成する吸着面７１Ｐを突出形成してなる真空吸引装置ＷＫと組合せて使用される整列装置ＪＧである。略直方体状のＬＤバーを収容する中央開口１０を有し、吸着面７１Ｐを取り囲むように真空吸引装置ＷＫに載置される平面略ロ字状の下側部材１と、下側部材１に重合されて下側部材１と一体化される平面略ロ字状の上側部材２と、中央開口１０を狭めるよう調整可能な押圧具６と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 光量を迅速且つ高精度に測定できるダイナミックレンジの広い測光装置を提供する。
【解決手段】 発光ダイオードＬＥＤからの放射光を受けて起電流に応じた検出データを出力するフォトダイオードＰＤ及びＰＤアンプ１と、放射光の相対的なスペクトル分布データを出力する分光計２と、検出データ及びスペクトル分布データを受けて測光データを算出する演算部３とを備えた測光装置ＭＥＡである。演算部３には、フォトダイオードＰＤの分光感度データを記憶する第１記憶部ＴＢＬ１が設けられると共に、分光計２から出力されたスペクトル分布データと、第１記憶部ＴＢＬ１から読み出した分光感度データとを、波長毎に積算して、スペクトル分布データを補正する第１手段と、補正されたスペクトル分布データに基づいて、検出データを波長毎の構成要素に分解する第２手段と、が設けられている。 （もっと読む）